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公开(公告)号：CN109270340B
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN201811485537.6
申请日：2018-12-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种扩容的翘板式微波功率传感器，包括一衬底、共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极以及翘板式双端悬臂梁，共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极依次固定在衬底上表面，翘板式双端悬臂梁设置于共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极正上方；且第一传感电极和第二传感电极通过金线连接，翘板式双端悬臂梁的两自由端位于第一传感电极和第二传感电极的正上方，形成两个并联的感应电容；共面波导传输线包括设置在衬底上表面中心位置的中心信号线和等距设置在中心信号线两侧的两个地线，且两个地线上设置有用于固定翘板式双端悬臂梁的桥墩；本发明整体结构简单、易于集成，具有良好的可靠性和灵敏度高。
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公开(公告)号：CN110568256B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201910981234.1
申请日：2019-10-16
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明公开了一种基于双层梁结构的在线式微波功率传感器，以高阻硅为衬底，在衬底上设计共面波导传输线、双层悬臂梁结构及传感电极；中间梁和顶层梁以中心信号线为对称轴，上下平行，左右对称分别放置在中心信号线的两侧，通过两个锚区进行固定；顶层梁和中间梁的交叠面积与中间梁和中心信号线的交叠面积相等；中间梁下方设有传感电极；两个锚区以及传感电极分别连接一个压焊块。当微波信号在CPW传输时，对顶层梁施加直流功率，使中间梁上下所受静电力平衡，维持初始水平状态，即中间梁与传感电极形成的电容值恢复到初始值，通过静电力等效的方式实现微波功率与直流功率的转换，从而实现微波功率的直接检测。
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公开(公告)号：CN109524534A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811485775.7
申请日：2018-12-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种双层MEMS热电堆结构，结构包括一由高阻硅构成的衬底，所述衬底上方设有下热偶材料层、测量正电极和测量负电极，且下热偶布料层上覆盖设置有一由Si3N4构成的阻隔层，阻隔层正上方设置有一与下热偶布料层对称的上热偶布料层；上热偶布料层与下热偶布料层均由指定数目的金属和半导体间隔排列构成，上热偶布料层的每一金属连接下热偶布料层的每一半导体或上热偶布料层的每一半导体连接下热偶布料层上的每一金属形成一个热电偶，且每一热电偶串联连接，相连两个热电偶之间形成热电堆；测量正电极连接热电偶的首部，测量负电极连接热电偶的尾部；本发明增加了热电堆的热偶数目，提高热电堆探测器的灵敏度和温度分辨率，且面积小，便于集成。
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公开(公告)号：CN109524534B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN201811485775.7
申请日：2018-12-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种双层MEMS热电堆结构，结构包括一由高阻硅构成的衬底，所述衬底上方设有下热偶材料层、测量正电极和测量负电极，且下热偶布料层上覆盖设置有一由Si3N4构成的阻隔层，阻隔层正上方设置有一与下热偶布料层对称的上热偶布料层；上热偶布料层与下热偶布料层均由指定数目的金属和半导体间隔排列构成，上热偶布料层的每一金属连接下热偶布料层的每一半导体或上热偶布料层的每一半导体连接下热偶布料层上的每一金属形成一个热电偶，且每一热电偶串联连接，相连两个热电偶之间形成热电堆；测量正电极连接热电偶的首部，测量负电极连接热电偶的尾部；本发明增加了热电堆的热偶数目，提高热电堆探测器的灵敏度和温度分辨率，且面积小，便于集成。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN110568256A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910981234.1
申请日：2019-10-16
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明公开了一种基于双层梁结构的在线式微波功率传感器，以高阻硅为衬底，在衬底上设计共面波导传输线、双层悬臂梁结构及传感电极；中间梁和顶层梁以中心信号线为对称轴，上下平行，左右对称分别放置在中心信号线的两侧，通过两个锚区进行固定；顶层梁和中间梁的交叠面积与中间梁和中心信号线的交叠面积相等；中间梁下方设有传感电极；两个锚区以及传感电极分别连接一个压焊块。当微波信号在CPW传输时，对顶层梁施加直流功率，使中间梁上下所受静电力平衡，维持初始水平状态，即中间梁与传感电极形成的电容值恢复到初始值，通过静电力等效的方式实现微波功率与直流功率的转换，从而实现微波功率的直接检测。
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公开(公告)号：CN109270340A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811485537.6
申请日：2018-12-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种扩容的翘板式微波功率传感器，包括一衬底、共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极以及翘板式双端悬臂梁，共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极依次固定在衬底上表面，翘板式双端悬臂梁设置于共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极正上方；且第一传感电极和第二传感电极通过金线连接，翘板式双端悬臂梁的两自由端位于第一传感电极和第二传感电极的正上方，形成两个并联的感应电容；共面波导传输线包括设置在衬底上表面中心位置的中心信号线和等距设置在中心信号线两侧的两个地线，且两个地线上设置有用于固定翘板式双端悬臂梁的桥墩；本发明整体结构简单、易于集成，具有良好的可靠性和灵敏度高。
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公开(公告)号：CN209345035U
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201920355903.X
申请日：2019-03-20
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 一种单晶并联式固支梁压电能量收集器，采用固支梁结构，具有较高的稳定性，容易通过微细加工实现等优点；通过将两块压电材料进行并联，能够实现高电流输出，具有可观的电流输出特性；通过梁上集成，简化外部电路的设计，而固支梁两侧的压电材料层还能够在外电路中实现串联最终形成一个混联电路，同时提升能量收集器的电压和电流输出性能。此外，本实用新型是基于MEMS技术，具有MEMS的基本优点，如体积小、重量轻、功耗低，便于集成等，这一系列优点是传统的微波功率检测器无法比拟的，因此它具有很好的研究和应用价值。
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公开(公告)号：CN209486178U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201920061377.6
申请日：2019-01-15
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/02
Abstract: 一种高热电转换效率的功率传感器，包括中心信号线、地线、负载电阻、石墨烯、热电堆、测试电极；所述功率传感器采用高阻硅作为衬底，所述中心信号线设置在衬底中部，所述地线设置在中心信号线的两侧，所述中心信号线的一端分别与两侧的地线并联一个负载电阻；所述热电堆设置在衬底上，与负载电阻之间填充石墨烯，所述热电堆的两侧端口均连接有测试电极。当微波信号在共面波导传输时，负载电阻产生热能，并通过石墨烯导热层高效率地传递给热电堆热端，热电堆产生温度差，利用Seeback效应产生与微波功率一一对应的电压，通过检测电压，从而实现功率的检测。本实用新型所述的微波功率传感器采用了石墨烯进行热传导，提高了灵敏度且便于集成。
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