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公开(公告)号：CN109524534A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811485775.7
申请日：2018-12-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种双层MEMS热电堆结构，结构包括一由高阻硅构成的衬底，所述衬底上方设有下热偶材料层、测量正电极和测量负电极，且下热偶布料层上覆盖设置有一由Si3N4构成的阻隔层，阻隔层正上方设置有一与下热偶布料层对称的上热偶布料层；上热偶布料层与下热偶布料层均由指定数目的金属和半导体间隔排列构成，上热偶布料层的每一金属连接下热偶布料层的每一半导体或上热偶布料层的每一半导体连接下热偶布料层上的每一金属形成一个热电偶，且每一热电偶串联连接，相连两个热电偶之间形成热电堆；测量正电极连接热电偶的首部，测量负电极连接热电偶的尾部；本发明增加了热电堆的热偶数目，提高热电堆探测器的灵敏度和温度分辨率，且面积小，便于集成。
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公开(公告)号：CN108540921A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810309262.4
申请日：2018-04-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H04R31/00
Abstract: 本发明提供了一种多组合阵列石墨烯发声器，包括石墨烯阵列和电极，石墨烯阵列与电极通过导线电连接，电极包括设置在石墨烯阵列上方的正电极和设置在石墨烯阵列下方的负电极，石墨烯阵列包括第一石墨烯单元、第二石墨烯单元、第三石墨烯单元中的至少一种，且石墨烯阵列以数量相同或不同的第一石墨烯单元、第二石墨烯单元及第三石墨烯单元为基础，进行阵列组合而成。本发明的多组合阵列石墨烯发声器，可以实现至少十种石墨烯阵列的排布，由此构成的石墨烯发声器体积小、质量轻，结构简单、操作简便，可根据具体的设计需求及使用工况进行灵活组合并集成，输出性能范围变大，使用范围较广。
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公开(公告)号：CN109524534B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN201811485775.7
申请日：2018-12-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种双层MEMS热电堆结构，结构包括一由高阻硅构成的衬底，所述衬底上方设有下热偶材料层、测量正电极和测量负电极，且下热偶布料层上覆盖设置有一由Si3N4构成的阻隔层，阻隔层正上方设置有一与下热偶布料层对称的上热偶布料层；上热偶布料层与下热偶布料层均由指定数目的金属和半导体间隔排列构成，上热偶布料层的每一金属连接下热偶布料层的每一半导体或上热偶布料层的每一半导体连接下热偶布料层上的每一金属形成一个热电偶，且每一热电偶串联连接，相连两个热电偶之间形成热电堆；测量正电极连接热电偶的首部，测量负电极连接热电偶的尾部；本发明增加了热电堆的热偶数目，提高热电堆探测器的灵敏度和温度分辨率，且面积小，便于集成。
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