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公开(公告)号：CN114264678A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111656100.6
申请日：2021-12-30
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/20008 , H01J37/20 , H01J37/26
Abstract: 本发明提供一种原位透射电镜加热芯片及其制备方法，原位透射电镜加热芯片包括：基底，中部开设有通孔，外周设置有多个定位孔；薄膜绝缘层，薄膜绝缘层对应通孔的外周设置有隔热凹槽；加热电阻层，设置于薄膜绝缘层的顶部，加热电阻层盘绕在通孔的边缘。本发明提供的原位透射电镜加热芯片及其制备方法，通过设置通孔，减少了加热电阻层的加热体积，降低了原位透射电镜加热芯片的加热功率，减少了加热过程中芯片产生的热漂移，使得透射电镜成像更加稳定清晰；超大视场范围用于试验观察，制样更加简单、方便；隔热凹槽有效约束了加热电阻层的温度扩散，使温度尽可能集中，减少加热电阻层在加热过程中对外部电镜配件的热影响。
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公开(公告)号：CN110299274A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201910459264.6
申请日：2019-05-29
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01J37/20 , G01N23/02 , G01N23/20025 , G01N23/2005
Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法，多悬臂热双金属驱动器包括本体，本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区；主动区开设第一开口，每个被动区开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁；第一开口与所述第二开口通过连接通道相连通；每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置；本发明结构简单、制备方便，便于批量化生产，实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验，还可根据需要灵活设计驱动器结构，满足不同的驱动需求。
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公开(公告)号：CN111017866B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202010028237.6
申请日：2020-01-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及高温微纳实验力学装置技术领域，公开了一种力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法，其中力热耦合微机电系统包括基体、T形加热端、C形加热端、内部温度约束结构和驱动端温度约束结构，T形加热端的横杆部间隔地嵌套于C形加热端中，以形成样品搭载区；纵杆部伸出C形加热端的开口侧并连接于内部温度约束结构，内部温度约束结构安装于凹槽的槽底；C形加热端连接于驱动端温度约束结构，驱动端温度约束结构安装于凹槽的槽口。该力热耦合微机电系统通过设置相互配合的T形加热端和C形加热端，可以减少加热区域热质，降低功率，减小热漂移，可以实现样品拉压、剪切等力学加载同时结合加热升温的原位原子分辨的力热耦合测试。
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公开(公告)号：CN109975348B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201910172947.3
申请日：2019-03-07
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明实施例提供一种原位热电性能测试装置、制备方法及系统，在包括中空结构的基底上依次设有器件层和功能层，功能层和器件层中设有贯穿功能层和器件层并与中空结构连通的长槽；功能层的上表面位于长槽的两侧分别设有对称的第一加热电阻和第二加热电阻，能对样品的两端分别进行独立的温度控制；器件层中，第一加热电阻下方设有第一方形微孔，在第二加热电阻下方设有第二方形微孔，使得加热高温能聚集在装置的中空加热区域，降低装置功率；通过测量样品两端的电势差和样品的电阻率，可获取样品的塞贝克系数以及电导率随温度的变化情况，将样品的微纳米结构与测得的热电性能参数变化对应，可获取样品的微纳米结构与热电性能参数变化的直接关系。
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公开(公告)号：CN110246735B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910417905.1
申请日：2019-05-20
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01J37/20 , G01N23/2005 , G01N1/28
Abstract: 本发明涉及材料显微实验设备技术领域，提供了一种转移微纳样品的结构及制备方法及使用方法，该结构包括载物板、挡板以及基体；载物板与挡板连接呈“L”型，载物板的一端与基体相连；载物板上沿靠近基体的方向依次为样品区、过渡区以及粘接区；样品区用于搭载待测材料块，粘接区用于与目标载体进行连接。本发明实施例提供的转移微纳样品的结构，可以避免样品转移过程中受到离子束辐照产生的轰击、注入和溅射损伤和粘接沉积时的污染；通过设置过渡区还可以避免切削和沉积时的溅射损伤和污染；由于样品区的形状可以根据待测材料块的形状进行设置，有利于基于MEMS芯片的透射电镜原位力学平台实现更多加载功能，应用到更广泛的材料领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110243679B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN201910459279.2
申请日：2019-05-29
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法，热双金属拉伸驱动器包括本体和第一开口、第二开口；本体包括主动区和设置在主动区两侧的被动区；主动区上开设第一开口，每个被动区上开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁，且第一搭载梁与第二搭载梁并行连接；主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置；本发明结构简单、制备方便，通过一体式结构设计，便于批量化生产，并实现了在不同温度下进行TEM原位拉伸实验，同时可根据需要灵活设计驱动器的结构，满(56)对比文件韩晓东;张泽.原子点阵分辨率下的原位力学性能实验.电子显微学报.2010,(第03期),全文.金钦华;王跃林;李铁;李昕欣;许钫钫.用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究.中国科学(E辑:技术科学).2009,(第05期),全文.
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公开(公告)号：CN114636714A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202210151623.3
申请日：2022-02-18
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/20033 , G01N23/20008
Abstract: 本发明提供了一种透射电镜原位气相温差芯片，包括上芯片和下芯片；所述上芯片和下芯片之间的四周封闭形成中空腔体；在所述中空腔体内，所述下芯片的上表面设有呈一字形依次排列的气体出口、第一加热区、第二加热区、第三加热区和气体进口；任一所述加热区内设有观察窗口，所述观察窗口下方设有贯穿所述下芯片的电子束视窗，所述电子束视窗内设有下薄膜窗口，所述上芯片中设有与所述下薄膜窗口相对应的上薄膜窗口。该透射电镜原位气相温差芯片的加热控温精准，成功与高压气场相耦合，多个加热区共同加热实现精准温度梯度的加载，同时能控制温度的快速响应，能够在气热双载荷下对透射电镜样品进行原位反应的高分辨率测量。
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公开(公告)号：CN111017866A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN202010028237.6
申请日：2020-01-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及高温微纳实验力学装置技术领域，公开了一种力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法，其中力热耦合微机电系统包括基体、T形加热端、C形加热端、内部温度约束结构和驱动端温度约束结构，T形加热端的横杆部间隔地嵌套于C形加热端中，以形成样品搭载区；纵杆部伸出C形加热端的开口侧并连接于内部温度约束结构，内部温度约束结构安装于凹槽的槽底；C形加热端连接于驱动端温度约束结构，驱动端温度约束结构安装于凹槽的槽口。该力热耦合微机电系统通过设置相互配合的T形加热端和C形加热端，可以减少加热区域热质，降低功率，减小热漂移，可以实现样品拉压、剪切等力学加载同时结合加热升温的原位原子分辨的力热耦合测试。
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公开(公告)号：CN110031295A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910217214.7
申请日：2019-03-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/08 , G01N3/02 , G01N23/04 , G01N23/2251
Abstract: 本发明实施例涉及透射/扫描电子显微镜气体环境力学技术领域，提供的气体环境原位应力应变测量实验平台，包括由下至上依次连接的底座模块、力学加载与测量模块和顶部窗口模块；力学加载与测量模块包括具有的力学加载与测量模块本体，用于放置样品、为样品施加力与位移约束和获取样品的实时应力应变数据；底座模块和顶部窗口模块之间为气体存储空间，用于为不同的环境气体提供反应空间；顶部窗口模块用于密封样品气氛环境，并使电子束穿透样品，从而得到样品的透射电子显微镜图像。该气体环境原位应力应变测量实验平台在原位施加应力载荷状态下，调控样品所处气氛环境，研究样品在不同气氛环境下的力学状态。
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公开(公告)号：CN209961599U
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201920253494.2
申请日：2019-02-28
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本实用新型实施例涉及材料原位微纳实验力学技术领域，提供的透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台，包括：样品杆本体、倾转台、驱动模块和用于获取样品在温度-应力耦合条件下的应力-应变信息的微机电系统一体化测试器件；样品杆本体内部安装有直线步进电机和驱动杆，倾转台的连接部与样品杆本体转动连接；直线步进电机与驱动杆连接，用于使驱动杆沿样品杆本体的长度方向往复直线运动，从而实现倾转台的安装部的旋转；驱动模块安装于倾转台的安装部，用于对微机电系统一体化测试器件上的样品进行力学加载。该透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台，可实现对微纳米尺度样品的定量化高温力学测试，并通过双轴倾转实时获得最佳观察角度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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