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公开(公告)号：CN113108599A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110022398.9
申请日：2021-01-08
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种清洁热处理装置，将上层部(13)、中层部(14)和下层部(15)分离，在中层部设置处理部(30)，在从导入部(31)将处理用气体引导至载置于旋转工作台(32)并旋转的被处理物(x)并对其进行处理之后，将该气体从导出部(35)引导至上层部或下层部，另一方面，在上层部和下层部中的任一方设置利用热风用风扇(23)对被加热装置(21)加热后的气体进行送风的加热部(20)，在另一方设置利用冷风用风扇(44)对被冷却装置(43)冷却后的气体进行送风的冷却部(40)，并且在加热部和冷却部中的任一方设置过滤器(F)。
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公开(公告)号：CN104979239A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410386624.1
申请日：2014-08-07
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 西尾勤
IPC: H01L21/67
Abstract: 一种基板处理装置及基板保持构件，能够缩短基板的搬运时间。对基板进行处理的基板处理装置(10)的特征是，包括：基板保持构件(5)，该基板保持构件(5)对基板进行保持；处理部，该处理部包括对基板进行处理的多个处理单元；以及搬运元件(11)，该搬运元件(11)对基板进行搬运，搬运元件(11)构成为在基板保持构件(5)保持有基板的状态下，将基板保持构件(5)在各处理单元之间水平地搬运，各所述处理单元从上方和/或下方接近基板保持构件(5)。
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公开(公告)号：CN102992642A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210327831.0
申请日：2012-09-06
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 一种基板供给装置（1），能在短时间内更换基板，其包括：多个臂部（4），这些臂部（4）设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台（6），这些小平台（6）分别被支承成与臂部（4）之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台（7），该主平台（7）利用臂部（4）的旋转及升降来载置小平台（6），且包括在游隙的范围内对小平台（6）进行定位并保持的平台保持机构（9、10）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101574685B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200910004741.6
申请日：2009-02-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布装置，使基板与涂布器之间的间隙稳定，对每块基板逐一进行速度控制，可进行边缘涂装，且不会在基板的背面上产生损伤。本发明的涂布装置包括：在基板(P)上涂布涂布液的涂布器(3a、3b)；可旋转驱动地配置在涂布器(3a、3b)的下方、在外周上具有吸引孔(7)、并一边吸引基板(P)一边进行搬运的承压滚筒(5)；在承压滚筒(5)的上游侧和下游侧配置在比承压滚筒(5)低的位置上、一边吸引基板(P)一边进行搬运的搬运辊(6a、6b)；配置在上游侧的搬运辊(6a)的上游侧、将基板(P)朝承压滚筒5搬入的搬入输送机(15)；以及配置在下游侧的搬运辊(6b)的下游侧、将基板(P)从承压滚筒(5)搬出的搬出输送机(16)。
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公开(公告)号：CN101209444B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200710307339.6
申请日：2007-12-27
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05C11/10
Abstract: 一种涂布液供给装置，该涂布液供给装置能可靠防止从涂布液收容部件漏出的涂布液到达外部。所述涂布液供给装置包括：收容涂布液、具有涂布液流动部(18)的涂布液收容部件(5)；以及插入在涂布液收容部件(5)内、通过涂布液流动部(18)将收容在涂布液收容部件(5)内的涂布液向外部输出的涂布液压出部件(6)。涂布液收容部件(5)在涂布液压出部件(6)的插入部(9)上具有涂布液回收部(22)，该涂布液回收部(22)用于回收经由插入部(9)漏出的涂布液。
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公开(公告)号：CN101229540B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200810003322.6
申请日：2008-01-16
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明的涂布液供给装置能实现密封的稳定性的提高、吸引时间的缩短等。在注射泵(2)的缸盖(9)的内表面(9a)中的凹部底部(9e)上，在同一个圆周上设置有供应口(18a、18b)和吐出口(19)。在设于切换杆(24)前端的阀板(26)上设置有与供应口(18a、18b)和吐出口(19)对应的贯通孔(27a、27b)。切换杆(24)由旋转式驱动器(23)驱动而旋转，受到螺旋弹簧(48)朝着将阀板(26)推压在缸盖(9)的凹部底部(9e)上的方向的弹性施力。
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公开(公告)号：CN101229540A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810003322.6
申请日：2008-01-16
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明的涂布液供给装置能实现密封的稳定性的提高、吸引时间的缩短等。在注射泵(2)的缸盖(9)的内表面(9a)中的凹部底部(9e)上，在同一个圆周上设置有供应口(18a、18b)和吐出口(19)。在设于切换杆(24)前端的阀板(26)上设置有与供应口(18a、18b)和吐出口(19)对应的贯通孔(27a、27b)。切换杆(24)由旋转式驱动器(23)驱动而旋转，受到螺旋弹簧(48)朝着将阀板(26)推压在缸盖(9)的凹部底部(9e)上的方向的弹性施力。
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公开(公告)号：CN101209444A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710307339.6
申请日：2007-12-27
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05C11/10
Abstract: 一种涂布液供给装置，该涂布液供给装置能可靠防止从涂布液收容部件漏出的涂布液到达外部。所述涂布液供给装置包括：收容涂布液、具有涂布液流动部(18)的涂布液收容部件(5)；以及插入在涂布液收容部件(5)内、通过涂布液流动部(18)将收容在涂布液收容部件(5)内的涂布液向外部输出的涂布液压出部件(6)。涂布液收容部件(5)在涂布液压出部件(6)的插入部(9)上具有涂布液回收部(22)，该涂布液回收部(22)用于回收经由插入部(9)漏出的涂布液。
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