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公开(公告)号:CN113108599A
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN202110022398.9
申请日:2021-01-08
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种清洁热处理装置,将上层部(13)、中层部(14)和下层部(15)分离,在中层部设置处理部(30),在从导入部(31)将处理用气体引导至载置于旋转工作台(32)并旋转的被处理物(x)并对其进行处理之后,将该气体从导出部(35)引导至上层部或下层部,另一方面,在上层部和下层部中的任一方设置利用热风用风扇(23)对被加热装置(21)加热后的气体进行送风的加热部(20),在另一方设置利用冷风用风扇(44)对被冷却装置(43)冷却后的气体进行送风的冷却部(40),并且在加热部和冷却部中的任一方设置过滤器(F)。