光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置

    公开(公告)号:CN109947141A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910297212.3

    申请日:2019-04-15

    Abstract: 本发明公开的光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置,属于几何量精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学测量模块、光电解调模块、执行机构模块组成。采用光能量及局部干涉调制的频率信息来判定位置的准确信息,所述位置信息用于微纳运动系统的运动中的姿态控制。测量信号中光能量用来保证测量信号的有效区域确定,干涉调制的频率信息用来判断测量区域内的平衡点位置,最终在控制系统模块中运算并驱动执行机构保证微纳运动系统在工作中运动姿态稳定可控。本发明能够克服通常运动系统姿态测量灵敏度低、存在测量漂移等问题,结构相对简单,利于提高运动系统的集成和便携性能,其测量效率高,分辨力好,利于提高姿态控制的实时性和准确性。

    一种用于步距规测量的非接触式测量装置

    公开(公告)号:CN104634255A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510100854.1

    申请日:2015-03-08

    Abstract: 本发明涉及一种用于步距规测量的非接触式测量装置,属于测量技术领域。基体9固定在水平面上,导轨6固定安装于基体9的上表面;工作台8安装于导轨6上;位移机构10的一端固定于基体9上,另一端固定于工作台8上;调整机构5固定于工作台8上,并位于导轨6的正上方,调整机构5的轴线与导轨6平行。激光器1固定在基体9上表面上,其光轴与导轨6平行;桥框7固定于基体9上表面上,并跨在导轨6的两侧;瞄准定位系统2固定于桥框7上。环境传感器3固定于激光器1与被测物步距规40之间一位置。材料传感器11固定于被测物步距规40上。本发明可准确测步距规的工作长度,采用非接触测量,测量值可溯源,测量数据准确可靠。

    动态声光调制光频级次选择方法及装置

    公开(公告)号:CN104600555A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201510031019.7

    申请日:2015-01-21

    Abstract: 本发明涉及一种动态声光调制光频级次选择方法及装置,属于激光测量技术及激光频率调制技术领域。动态声光调制光频级次选择方法及装置,用于有目的地选取声光调制光频指定衍射级次,同时就选定的衍射级次约束其光学输出的方向,包括光源输入模块,声光调整光频选择模块,控制及驱动模块,光源输出模块。本发明采用的光学结构简单,易于实现,能够较好地解决所选高速动态声光调制光频的可控制输出,具有较高的光学方向性,为提高了动态光频调制技术的应用提供了解决方案。

    一种带锁紧功能的球形万向节

    公开(公告)号:CN103671471A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310591327.6

    申请日:2013-11-20

    Abstract: 本发明涉及一种带锁紧功能的球形万向节,属于纳米级测量技术领域。本发明包括固定座、可变形球头、压电陶瓷微位移驱动器、半球形盖板、输出杆和驱动器控制系统;可变形球头的驱动器安装孔内安装压电陶瓷微位移驱动器,且使压电陶瓷微位移驱动器的运动方向与可变形球头的变形方向一致,可变形球头安装在固定座和半球形盖板组成球形空腔内;输出杆的后端穿过半球形盖板与可变形球头的螺纹孔螺纹连接;驱动器控制系统的数据线穿过输出杆中心的数据线通过孔与可变形球头上固定的压电陶瓷微位移驱动器线路连接。本发明的球形万向节既实现了两连接件的万向连接,又能够实现在特定角度的工作姿态锁定。

    一种多路正弦波相位标准信号的产生装置及方法

    公开(公告)号:CN102253254A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110096292.X

    申请日:2011-04-18

    Abstract: 本发明涉及一种多路正弦波相位标准信号的产生装置及方法,属于电子学技术领域。装置包括两个或者两个以上的滤波及放大电路、两个或者两个以上的数模转换电路、两个或者两个以上的波形存储器、逻辑控制电路、地址计数器、计算机、人机接口电路和时钟电路,其中滤波及放大电路、数模转换电路和波形存储器的数量相同,并分别一一对应配套使用。本发明稳定可靠、分辨力高、无漂移,不受噪声、失真等因素影响,可以产生各路通道间相位差值任意可调的多路正弦波相位标准信号,其中的共用地址计数器和控制逻辑电路将避免时基失真、时基抖动、同步延时误差等因素带来的对相位差影响,具有高精度复现相位差量值的特点。

    一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器

    公开(公告)号:CN102155922A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201110053548.9

    申请日:2011-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器,属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成,其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光,包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉,以全息激光元件为核心,提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构,将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来,可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平,同时本传感器具有视频监视功能,可以满足多种场合的现场需要。

    一种判定F-P腔谐振状态的差分方法及装置

    公开(公告)号:CN114624007A

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202210219778.6

    申请日:2022-03-08

    Abstract: 本发明公开的一种判定F‑P腔谐振状态的差分方法及装置,属于几何量精密测量领域。本发明产生两个频率接近、频差固定且已知的两束光,分别在F‑P谐振腔中反射振荡,获取各自的输出光强曲线;当改变光频率或F‑P谐振腔长时,获得的两个输出光强曲线不会同时到达极大值,会存在相位差;较小的频差能够确保两波形存在交叠。利用其输出光强存在相位差的特征,以光强差信号作为判定F‑P腔谐振状态判据,实现F‑P腔谐振状态的判定。本发明还公开一种判定F‑P腔谐振状态的差分装置,主要由分光棱镜、反光镜、声光调制器、F‑P谐振腔、第一光电接收器、第二光电接收器组成。本发明控制模型简单,便于控制系统和测量系统对谐振状态的判断。

    光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置

    公开(公告)号:CN109947141B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN201910297212.3

    申请日:2019-04-15

    Abstract: 本发明公开的光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置,属于几何量精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学测量模块、光电解调模块、执行机构模块组成。采用光能量及局部干涉调制的频率信息来判定位置的准确信息,所述位置信息用于微纳运动系统的运动中的姿态控制。测量信号中光能量用来保证测量信号的有效区域确定,干涉调制的频率信息用来判断测量区域内的平衡点位置,最终在控制系统模块中运算并驱动执行机构保证微纳运动系统在工作中运动姿态稳定可控。本发明能够克服通常运动系统姿态测量灵敏度低、存在测量漂移等问题,结构相对简单,利于提高运动系统的集成和便携性能,其测量效率高,分辨力好,利于提高姿态控制的实时性和准确性。

    一种动态光电显微镜瞄准信号光调制校准方法及装置

    公开(公告)号:CN108007392A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201711306080.3

    申请日:2017-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种动态光电显微镜瞄准信号光调制校准方法及装置,属于光电测量技术领域。方法为:可调控的钟形波电信号加载于发光电子器件之上产生信号光;信号光分为相同的两路,一路信号光经转换变成电信号并传输给上位机;另一路信号光传输给动态光电显微镜,动态光电显微镜输出电信号传输给上位机;两路电信号进行对比,即实现校准。装置包括控制及信息处理模块,调频控制模块,光学输出模块,光学接收模块,动态光电显微镜(校准对象)。用于解决现有动态光电显微镜的瞄准触发动态校准问题,具有较好的适应性和同步测量瞄准测量的评价能力,可以在稳定位置结构的条件下,完成动态光电显微镜瞄准触发信号的动态特性校准。

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