一种共光路外差式激光干涉测量系统

    公开(公告)号:CN105783949A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610366359.X

    申请日:2016-05-28

    CPC classification number: G01D5/266 G01B11/02 G01H9/00

    Abstract: 本发明涉及一种适用于液体介质中位移与振动测量的外差式激光干涉测量系统,属于计量测试领域。本发明包括光源分系统、差频分系统、干涉分系统以及探测分系统。经典的激光干涉测量系统在测量水等液体介质中运动目标时,液体介质与空气之间的界面及相关窗口的运动给测量带来很大的误差,而本发明的一种共光路外差式激光干涉测量系统恰恰填补了以上传统激光干涉测量系统在上述测量过程中对于测量误差惊醒修正的空白,从而较好解决了对水下振动测试、液体动态压力计量、水声计量、水下目标探测实验室以及工业现场试验测试过程中存在的液体介质中目标运动或介质折射率静动态的测量误差的修正问题。

    一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器

    公开(公告)号:CN102155922A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201110053548.9

    申请日:2011-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器,属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成,其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光,包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉,以全息激光元件为核心,提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构,将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来,可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平,同时本传感器具有视频监视功能,可以满足多种场合的现场需要。

    一种动态光电显微镜瞄准信号光调制校准方法及装置

    公开(公告)号:CN108007392B

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201711306080.3

    申请日:2017-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种动态光电显微镜瞄准信号光调制校准方法及装置,属于光电测量技术领域。方法为:可调控的钟形波电信号加载于发光电子器件之上产生信号光;信号光分为相同的两路,一路信号光经转换变成电信号并传输给上位机;另一路信号光传输给动态光电显微镜,动态光电显微镜输出电信号传输给上位机;两路电信号进行对比,即实现校准。装置包括控制及信息处理模块,调频控制模块,光学输出模块,光学接收模块,动态光电显微镜(校准对象)。用于解决现有动态光电显微镜的瞄准触发动态校准问题,具有较好的适应性和同步测量瞄准测量的评价能力,可以在稳定位置结构的条件下,完成动态光电显微镜瞄准触发信号的动态特性校准。

    一种由多个线圈组成的差动变压器式电感位移传感器

    公开(公告)号:CN104697427B

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201510003647.4

    申请日:2015-01-05

    Abstract: 本发明属于精密测量领域,具体涉及一种由多个线圈组成的差动变压器式电感位移传感器。由线圈组(1)、移动磁芯(2)、磁套(3)、非导磁输出杆(4)和位移粗测系统组成。线圈组(1)由多个参数完全一致的漆包线圈组成;位移粗测系统的作用是对移动磁芯(2)的位置进行粗测,作为切换线圈组(1)中相应线圈的依据。位移粗测系统得到移动磁芯(2)所处的大致位置,选择临近的线圈作为主线圈和副线圈,形成一个电感位移传感器。改变主线圈与副线圈的位置,在不同的位置形成差动变压器式电感位移传感器,就可以延长电感位移传感器的测量范围。这种结构即保留电感传感器的高精度优点,也克服了其工作范围较小的缺点。

    一种适用于低速平稳运行的压电陶瓷直线马达

    公开(公告)号:CN103166499A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201110421730.5

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 本发明涉及一种适用于低速平稳运行的压电陶瓷直线马达,是对运动执行结构的改进。其连接关系为:前压电陶瓷微位移驱动器与后压电陶瓷微位移驱动器通过输出支点连接;前压电陶瓷微位移驱动器的另一端连接前支点,后压电陶瓷微位移驱动器的另一端连接后支点;其中,前支点与后支点的连接关系为:压电陶瓷微位移驱动器上下各与一个陶瓷端部相连接;本发明模仿人汲水的运动过程,通过前后两个支点将两个压电陶瓷微位移驱动器的运动进行叠加,使整个压电陶瓷直线马达保留了压电陶瓷微位移驱动器的高运动分辨率、可超低速运行的优点,同时扩展了其运动范围,使其运动范围只受U型导轨的长度尺寸的限制;则本发明能够实现大范围的低速平稳运行。

    一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器

    公开(公告)号:CN102155922B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110053548.9

    申请日:2011-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器,属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成,其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光,包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉,以全息激光元件为核心,提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构,将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来,可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平,同时本传感器具有视频监视功能,可以满足多种场合的现场需要。

    一种多轴同步运行控制系统

    公开(公告)号:CN102176139B

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201110058421.6

    申请日:2011-03-11

    Abstract: 本发明涉及一种多轴同步运行控制系统,属于几何量计量技术领域。包括光电角度编码器信号处理电路、限位零位信号接收电路、数字信号处理器、USB通信接口电路、控制输出继电器和控制输出电路,其外围设备为多轴支撑的一维变姿态精密运动平台。本发明的一种多轴同步运动控制系统,通过与一维变姿态精密运动平台配合,实现了工作台的高精度、大范围运行,并能够根据指令调整工作台的空间姿态,使运动平台具有几十毫米的平动范围、纳米级的运动分辨率、并具有空间滚动姿态调整功能,具备秒级的姿态调整精度;本发明可以控制一维变姿态精密运动平台恢复到一个事先设定的“零姿态”;解决了上电过程中控制输出电路的输出失控问题。

    一种应用相位偏移干涉技术的姿态修正系统

    公开(公告)号:CN102230825A

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN201110053561.4

    申请日:2011-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种应用相位偏移干涉技术的姿态修正系统,属于精密测量及修正技术领域。由X轴平面相位偏移干涉仪、Y轴平面相位偏移干涉仪、姿态调整机构、测量角镜和控制系统组成;X轴平面相位偏移干涉仪和Y轴平面相位偏移干涉仪通过测量角镜绕直角坐标系X、Y、Z三轴的角度变化来获取被测运动系统的姿态变化,并将三个角度变化值变为电压信号送入控制系统,控制系统对三个角度变化值进行坐标变换计算并按照计算结果控制姿态调整机构动作,实现对被测运动系统的姿态修正。本发明结构简单,操作方便,成本低,测量及控制精度高,采用两台平面相位偏移干涉仪即可同时测量三个坐标轴的转角变化值,并能够实现姿态修正。

    一种基于仿生原理的精密运动驱动装置

    公开(公告)号:CN102122901A

    公开(公告)日:2011-07-13

    申请号:CN201110053525.8

    申请日:2011-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种基于仿生原理的精密运动驱动装置,属于几何量计量技术领域。由前吸盘、前压电陶瓷微位移驱动元件、运动输出支点、后压电陶瓷微位移驱动元件、后吸盘组成,其外围设备为固定驱动装置用的铁质软磁导磁平板;通过协调前吸盘和后吸盘的吸附动作,以及前压电陶瓷微位移驱动元件和后压电陶瓷微位移驱动元件的伸缩动作,推动运动输出支点实现大运动范围内的纳米级精确定位驱动。本发明结构简单,发热量低,运动过程无顿挫;具有高运动分辨率和大运动范围,其运动范围只受铁质软磁导磁平板尺寸的限制;可以实现精确运动,适用于需要进行低速运行的场合。

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