公开(公告)号：CN102155922B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110053548.9

申请日：2011-03-07

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 朱振宇 ,  王霁 ,  任冬梅 ,  李华丰 ,  焦小康 ,  张文军

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成，其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光，包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉，以全息激光元件为核心，提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构，将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来，可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平，同时本传感器具有视频监视功能，可以满足多种场合的现场需要。

公开(公告)号：CN102155922A

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN201110053548.9

申请日：2011-03-07

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 朱振宇 ,  王霁 ,  任冬梅 ,  李华丰 ,  焦小康 ,  张文军

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成，其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光，包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉，以全息激光元件为核心，提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构，将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来，可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平，同时本传感器具有视频监视功能，可以满足多种场合的现场需要。