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公开(公告)号：CN110686869A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910842648.6
申请日：2019-09-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种等厚离轴抛物面反射镜特征参量的高精度测量方法，本发明采用的检测系统包括激光干涉仪，离轴抛物面反射镜，标准平面反射镜，基准十字分划板，小平面基准反射镜，经纬仪以及带光栅尺的导轨。采用光学非接触式的高精度测量方法，能同时实现等厚离轴抛物面反射镜离轴量、离轴角、等厚角以及焦距的关键特征参量高精度测量，为离轴反射曝光系统的高精度加工及装调奠定了基础。
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公开(公告)号：CN110682185A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910856844.9
申请日：2019-09-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于脉冲压缩光栅制作的高精度曝光透镜加工方法，该方法包括搭建自准直干涉检测装置、曝光透镜非球面的铣磨加工、研抛、精密抛光和平滑处理，并在研抛、精密抛光和平滑处理过程采用所述的自准直干涉检测装置对待加工曝光透镜的透过波前进行干涉仪测量，保障每一步都达到各自的要求。该方法避免补偿镜引入的自身误差以及装调误差，采用高效高精度数控加工工艺，解决了曝光透镜数控加工全频段误差问题，最终提高了曝光波长下的全频段波面质量，为高精度脉冲压缩光栅的制作奠定了基础。
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公开(公告)号：CN106649916B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201610817186.9
申请日：2016-09-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种条形束斑离子束抛光的面形重构及扫描路径规划方法，使条形束斑离子束适用于复杂曲面抛光，提高了离子束抛光效率和节省加工成本。根据本发明公开的表面材料去除量空间分布表示方法，可将任意连续光滑曲面分解为一系列一维分布的正弦波曲面，这样可极大减小了后续驻留时间算法中问题求解的计算复杂度，也可显著简化离子束抛光的扫描路径。
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公开(公告)号：CN110133845A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910341927.4
申请日：2019-04-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种用于激光系统的自由曲面波前补偿元件的设计方法，其中，该方法包括：通过畸变波前探测器探测激光系统输出的畸变波前，并将测量得到畸变波前的离散斜率数据(Sx，Sy)传输至计算机；采用多参数优化设计方法，以数值化正交多项式为基函数，拟合离散斜率数据，利用模式法进行曲面重构，获得畸变波前表征多项式W；根据波前相位互补原理，计算补偿激光系统畸变波前所需的自由曲面波前补偿元件面形表征多项式W*，实现激光系统畸变波前的校正。所述方法可用于复杂形状波前，且拟合精度高，具有很好的热稳定性，适合大功率激光系统畸变波前补偿。
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公开(公告)号：CN109141287A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811197087.0
申请日：2018-10-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于空间光调制器的点光源阵列发生器包括激光器、扩束镜、准直镜、起偏器、空间光调制器、计算机和成像透镜；及点光源阵列获得方法，包括计算点光源阵列发生器所需离轴抛物面镜结构和光学参数，设计对应灰度图；将设计灰度图通过计算机加载到空间光调制器上，激光器发出的光经扩束准直系统及起偏器后，形成平行光入射到二维空间光调制器上，经空间光调制器调制后，在透镜焦平面处获得二维点光源阵列。本发明易实现，灵活性高，获得的点源阵列参数精度高，通用性强，符合倾斜波面非零位干涉系统点光源阵列发生器需求。
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