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公开(公告)号：CN112486099B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202011439944.0
申请日：2020-12-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明公开了一种基于模糊PID自整定计算的超精密车床运动控制方法，涉及超精密切削加工技术领域，它主要包括以下步骤：以车床的直线运动导轨为被控对象，获取该直线运动导轨的预设位置信息与实际位置信息，根据预设位置与实际位置的偏差值及偏差值变化率，采用模糊PID控制算法计算出控制输出量，将该控制输出量输入至控制系统中来控制所述直线运动导轨运动。本发明在模糊PID控制中采用了一种论域参数自整定方法，将其引入到模糊PID控制中，能够实现自主学习并提高超精密车床导轨控制系统的静动态性能，进而达到提高超精密切削加工精度的目的。
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公开(公告)号：CN112192765A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011222887.0
申请日：2020-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明涉及机械加工设备技术领域，具体涉及一种超精密单点金刚石飞切刀盘；采用的技术方案是：一种超精密单点金刚石飞切刀盘，包括刀盘本体，所述刀盘本体设有若干叶片，所述叶片绕刀盘本体旋转轴线均布，以通过叶片旋转时产生的气压差下压刀盘本体。本发明在刀盘本体上沿刀盘旋转轴线均布若干叶片，以通过刀盘本体旋转带动叶片旋转，使得叶片旋转时产生的气压差下压刀盘本体。因此本发明由空气作用在叶片上的压力可抑制飞切刀盘在工作中的翘曲变形，使切削量达到预定值，避免因飞切刀盘的翘曲变形带来的加工量的变化，能够减少加工过程中繁琐的调整，使加工量处于可控状态，以减小加工误差，从而确保光学零件表面的加工精度。
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公开(公告)号：CN110421328B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201910694794.9
申请日：2019-07-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种铈镧合金的超精密加工方法，包括以下步骤：1)、表面纳米晶化处理：利用喷嘴采用空化射流气泡对铈镧合金表面进行冲击，晶体产生塑性变形，实现材料表面晶体碎化至纳米量级；2)、超精密单点金刚石切削加工：采用单点金刚石加工刀具和加工工艺对表面经过纳米晶化处理的铈镧合金的表面进行微量切削。本发明所述方法能够提高铈镧合金加工稳定性；同时抑制自燃，降低其在传统精密切削时产生的表面、亚表面损伤；产生致密层，阻碍氧化腐蚀进程，改善其表面洁净度。
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公开(公告)号：CN111156249A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010119092.0
申请日：2020-02-26
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条及滑块，所述滑块与导轨条之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导轨条上侧的第一气膜，还包括电磁铁，所述电磁铁固定在导轨条和/或滑块上，且在电磁铁通电后，电磁铁产生使得导轨条与滑块在竖直方向相互靠拢的磁力。本气浮导轨的结构设计可使得其能够被运用于精密测量仪器或者超精密机床在轻负载时，拥有良好的支承刚度和运动精度和抗干扰的能力，有利于提高气浮导轨的运动精度和动力学性能。
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公开(公告)号：CN111136812A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911267395.0
申请日：2019-12-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种磷锗锌晶体的组合加工方法，包括如下步骤：1)首先采用超精密单点金刚石对磷锗锌晶体表面进行切削；2)然后采用化学机械对磷锗锌晶体切削后的表面进行抛光。本发明的加工方法通过超精密单点金刚石切削，使磷锗锌晶体面型精度快速收敛至亚微米级，表面粗糙度快速收敛至纳米级；通过化学机械抛光，实现磷锗锌晶体全局平坦化，表面粗糙度达到亚纳米级；所述超精密单点金刚石切削，生产效率高，重复性好，能够加工复杂面型光学表面；所述化学机械抛光材料去除量少，抛光过程中化学作用与机械作用同时进行，在化学机械耦合作用下获得高质量的晶体表面，可去除超精密单点金刚石切削过程中产生的原理性刀纹误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110821958A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911242465.7
申请日：2019-12-06
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种轴向可动静压气浮主轴，包括主轴转子、电磁作动器组件及主轴外壳，所述电磁作动器组件包括固定于主轴外壳上的次级铁芯及线圈绕组，所述电磁作动器组件还包括固定于主轴转子上的永磁体，所述永磁体为多块，且永磁体沿着主轴转子的轴线间隔排列；所述永磁体以极性朝向相同的方式排布于主轴转子上；还包括固定于主轴转子上的次级铁芯，所述次级铁芯的数量较永磁体数量多一块；任意相邻两永磁体之间均夹持有一块次级铁芯，各永磁体的两侧均贴合有一块次级铁芯。本气浮主轴的结构设计可使得其能够被运用于精密光学设备加工，如实现具有表面微结构的零部件加工。
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公开(公告)号：CN110421328A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910694794.9
申请日：2019-07-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种铈镧合金的超精密加工方法，包括以下步骤：1)、表面纳米晶化处理：利用喷嘴采用空化射流气泡对铈镧合金表面进行冲击，晶体产生塑性变形，实现材料表面晶体碎化至纳米量级；2)、超精密单点金刚石切削加工：采用单点金刚石加工刀具和加工工艺对表面经过纳米晶化处理的铈镧合金的表面进行微量切削。本发明所述方法能够提高铈镧合金加工稳定性；同时抑制自燃，降低其在传统精密切削时产生的表面、亚表面损伤；产生致密层，阻碍氧化腐蚀进程，改善其表面洁净度。
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公开(公告)号：CN110328549A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910671287.3
申请日：2019-07-24
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: B23Q5/22
Abstract: 本发明的公开了一种用于快刀伺服的圆形柔性铰链。该圆形柔性铰链包含从左到右依次固定的外径相同的柔性铰链Ⅰ、柔性铰链Ⅱ、柔性铰链Ⅲ；柔性铰链Ⅰ为“T”轴对称回转体结构，左侧为大端圆盘，右侧为轴杆；柔性铰链Ⅱ和柔性铰链Ⅲ结构相同，为圆环结构，中心开有中心定位孔；柔性铰链Ⅱ、柔性铰链Ⅲ依次穿入柔性铰链Ⅰ的轴杆，轴杆右侧螺纹段与大螺母联接；三者沿周向外沿均匀分布有对应的装配定位孔和螺钉孔，用于定位和固定。该圆形柔性铰链采用轴对称结构实现了轴向弱刚性、径向各向刚性相同的特性，提高了快刀伺服刀具的性能，扩大了快刀伺服刀具的适用范围，使得快刀伺服刀具具有了加工更多种类的表面微特征的能力。
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公开(公告)号：CN110081082A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910483377.X
申请日：2019-06-04
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明公开了一种静压气浮径向轴承，包括：转子(1)和轴承基体(2)，轴承基体(2)上设有内孔，转子(1)的一端穿过所述内孔，转子的外圆柱表面(3)与轴承基体的内表面(4)之间为气膜(5)；轴承基体(2)上开有若干个第一通孔(6)；第一通孔(6)中镶嵌有圆柱形多孔质结构(7)，圆柱形多孔质结构的上表面(8)与承基体的外表面(9)之间设有供气孔(10)，圆柱形多孔质结构上表面(8)中心向下开设有第二通孔，第二通孔贯通到圆柱形多孔质结构下表面(14)；克服小孔节流刚度于稳定性难以提升，避免了多孔质节流可靠性不足、加工精度要求高的问题，具有成本低、工艺稳定、质量可控优点。
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公开(公告)号：CN111156249B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202010119092.0
申请日：2020-02-26
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条及滑块，所述滑块与导轨条之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导轨条上侧的第一气膜，还包括电磁铁，所述电磁铁固定在导轨条和/或滑块上，且在电磁铁通电后，电磁铁产生使得导轨条与滑块在竖直方向相互靠拢的磁力。本气浮导轨的结构设计可使得其能够被运用于精密测量仪器或者超精密机床在轻负载时，拥有良好的支承刚度和运动精度和抗干扰的能力，有利于提高气浮导轨的运动精度和动力学性能。
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