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公开(公告)号：CN102781628A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180011425.7
申请日：2011-03-22
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/24 , H01L21/304
CPC classification number: C08G18/4845 , B24B37/24 , C08G18/4277 , C08G18/4812 , C08G18/797 , C08G2101/00 , C08G2101/0025
Abstract: 本发明提供能够减小在研磨对象物的表面上产生的微小起伏的研磨垫及其制造方法、以及半导体器件的制造方法。所述研磨垫，具有由热固性聚氨酯发泡体构成的研磨层，通过使用含有含活性氢化合物和异氰酸酯成分作为原料成分的热固性聚氨酯发泡体，从研磨面侧测定的所述研磨层的A型显微橡胶硬度的面内偏差为12以下，其中，所述含活性氢化合物100重量份中，含有末端羟基的至少一个为仲羟基、并且羟值为150~1000mgKOH/g的三官能多元醇10~50重量份。
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公开(公告)号：CN101669195B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200880012254.8
申请日：2008-05-09
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , B24B37/12
CPC classification number: B24B37/205
Abstract: 本发明的目的在于提供制造能够防止漏浆、并且光学检测精度优良的研磨垫的方法。本发明的研磨垫制造方法，包括：在研磨层的研磨背面一侧形成用于注入光透过区域形成材料的沟的工序；通过在所述沟内注入光透过区域形成材料并使其固化而形成光透过区域的工序；和通过对研磨层的研磨表面一侧进行抛光而使所述光透过区域在研磨表面露出的工序。
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公开(公告)号：CN101616773B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200880005623.0
申请日：2008-02-29
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , C08J9/30 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/24 , B24D3/32 , B24D18/00 , C08J9/30 , C08J2375/04
Abstract: 本发明的目的在于提供具有近似球状的气泡、厚度精度优良的研磨垫的制造方法。本发明涉及一种研磨垫制造方法，包括：通过机械发泡法制备气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序；在输送面材A(9)的同时从一个排出口将气泡分散的氨基甲酸酯组合物(11)连续地排出到该面材A的宽度方向的近似中央部的工序；在该气泡分散的氨基甲酸酯组合物上层压面材B(14)，之后通过厚度调节工具(15)将气泡分散的氨基甲酸酯组合物的厚度调节均匀的工序；不施加另外的负荷而使前一工序中进行了厚度调节的气泡分散的氨基甲酸酯组合物固化，由此形成包含聚氨酯发泡体的研磨片的工序；和切割研磨片的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101663132B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200880012418.7
申请日：2008-05-15
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24D18/00 , B24B37/205 , Y10T428/24322 , Y10T428/24331 , Y10T428/24364
Abstract: 本发明的目的在于提供制造能够防止从研磨区域与光透过区域的间隙漏浆、并且光学检测精度优良的研磨垫的方法。本发明涉及一种研磨垫制造方法，包括：通过机械发泡法制备气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序；在输送面材的同时或者在使传送带移动的同时，在该面材上或传送带上的预定位置配置光透过区域的工序；将所述气泡分散的氨基甲酸酯组合物连续地排出到未配置所述光透过区域的所述面材上或传送带上的工序；在排出的所述气泡分散的氨基甲酸酯组合物上层压另一面材或传送带的工序；将厚度调节均匀的同时使所述气泡分散的氨基甲酸酯组合物固化，由此形成包含聚氨酯发泡体的研磨区域而制作研磨片的工序；在所述研磨片的单面上涂布包含脂肪族和/或脂环族多异氰酸酯的聚氨酯树脂涂料并使其固化而形成不透水膜的工序；和切割所述研磨片的工序。
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公开(公告)号：CN101511537B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200780033171.2
申请日：2007-04-23
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明的目的在于提供耐久性优异的抛光垫。本发明的抛光垫，在基材层上设有抛光层，其特征在于，上述抛光层由具有平均气泡直径为35～300μm的近似球状的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体形成。
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公开(公告)号：CN101966698A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN201010209210.3
申请日：2007-04-19
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24D18/00 , C08J5/14 , B24B37/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24D11/003 , B24B37/205 , B24B37/22 , B24B37/24 , B24B37/26 , B24D3/32 , B24D18/00 , B29C44/24 , B29C44/308 , B29C44/32 , B29C44/322 , B29C44/326 , B29C44/5654 , C08J9/30 , C08J2375/08 , Y10T156/1052 , Y10T156/1059
Abstract: 本发明的目的在于提供制造工序少、生产率优良的抛光垫制造方法。另外，本发明的目的在于提供制造工序少、生产率优良、抛光层和缓冲层之间不产生剥离的层压抛光垫制造方法。本发明的抛光垫制造方法，包括：通过机械发泡法制备气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序；在送出面材的同时向其上连续地排出气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序；在该气泡分散的氨基甲酸酯组合物上层压另一面材的工序；通过在将厚度调节均匀的同时使气泡分散的氨基甲酸酯组合物固化而形成由聚氨酯发泡体构成的抛光层的工序；通过与面平行地将该抛光层一切为二而同时制造两片由抛光层和面材构成的长抛光层的工序；和切割长抛光层的工序。
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公开(公告)号：CN101616773A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200880005623.0
申请日：2008-02-29
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , C08J9/30 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/24 , B24D3/32 , B24D18/00 , C08J9/30 , C08J2375/04
Abstract: 本发明的目的在于提供具有近似球状的气泡、厚度精度优良的研磨垫的制造方法。本发明涉及一种研磨垫制造方法，包括：通过机械发泡法制备气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序；在输送面材A(9)的同时从一个排出口将气泡分散的氨基甲酸酯组合物(11)连续地排出到该面材A的宽度方向的近似中央部的工序；在该气泡分散的氨基甲酸酯组合物上层压面材B(14)，之后通过厚度调节工具(15)将气泡分散的氨基甲酸酯组合物的厚度调节均匀的工序；不施加另外的负荷而使前一工序中进行了厚度调节的气泡分散的氨基甲酸酯组合物固化，由此形成包含聚氨酯发泡体的研磨片的工序；和切割研磨片的工序。
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公开(公告)号：CN101583464A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200780049906.0
申请日：2007-11-27
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明目的在于提供耐久性优良、并且研磨层与基材层的粘合性良好的研磨垫。本发明的第一发明是在基材层上设置研磨层的研磨垫，其特征在于，所述研磨层包含具有平均气泡直径20～300μm的近似球状的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体，所述聚氨酯发泡体含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物作为原料成分，所述含活性氢化合物含有30～85重量％官能团数2～4、羟值20～100mgKOH/g的高分子量多元醇。
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