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公开(公告)号:CN101511536A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200780033122.9
申请日:2007-04-23
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , C08G18/00 , H01L21/304
CPC classification number: C08G18/4277 , B24B37/24 , B24D3/26 , B24D11/001 , C08G18/4072 , C08G18/632 , C08G18/6607 , C08G2101/00 , C08G2101/0008
Abstract: 本发明的目的在于提供能廉价且容易地制造耐久性优异的抛光垫的方法。本发明的抛光垫的制造方法包括:利用机械发泡法制备气泡分散聚氨酯组合物的工序;在基材层上涂布气泡分散聚氨酯组合物的工序;使气泡分散聚氨酯组合物固化而形成具有近似球状的连续气泡的聚氨酯发泡层的工序;以及将聚氨酯发泡层的厚度调节至均匀的工序。
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公开(公告)号:CN101511537B
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200780033171.2
申请日:2007-04-23
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明的目的在于提供耐久性优异的抛光垫。本发明的抛光垫,在基材层上设有抛光层,其特征在于,上述抛光层由具有平均气泡直径为35~300μm的近似球状的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体形成。
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公开(公告)号:CN101511537A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200780033171.2
申请日:2007-04-23
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明的目的在于提供耐久性优异的抛光垫。本发明的抛光垫,在基材层上设有抛光层,其特征在于,上述抛光层由具有平均气泡直径为35~300μm的近似球状的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体形成。
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