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公开(公告)号：CN102781628A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180011425.7
申请日：2011-03-22
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/24 , H01L21/304
CPC classification number: C08G18/4845 , B24B37/24 , C08G18/4277 , C08G18/4812 , C08G18/797 , C08G2101/00 , C08G2101/0025
Abstract: 本发明提供能够减小在研磨对象物的表面上产生的微小起伏的研磨垫及其制造方法、以及半导体器件的制造方法。所述研磨垫，具有由热固性聚氨酯发泡体构成的研磨层，通过使用含有含活性氢化合物和异氰酸酯成分作为原料成分的热固性聚氨酯发泡体，从研磨面侧测定的所述研磨层的A型显微橡胶硬度的面内偏差为12以下，其中，所述含活性氢化合物100重量份中，含有末端羟基的至少一个为仲羟基、并且羟值为150~1000mgKOH/g的三官能多元醇10~50重量份。
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公开(公告)号：CN104937735B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201380070289.8
申请日：2013-12-06
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: H01L41/193 , C08G18/61 , H01L41/09 , H02N11/00
CPC classification number: H01L41/193 , C08G18/61
Abstract: 本发明提供一种聚合物致动器，其具有优良的柔韧性和伸长率，弹性模量等特性的温度依赖性小，并且具有高绝缘击穿强度，而且其即使在低电场中也可以驱动。本发明涉及一种聚合物致动器，其特征在于，按照动态粘弹性测定在频率1Hz、温度20℃下测定的储能弹性模量E’(20℃)为0.5MPa以下，按照动态粘弹性测定在频率1Hz、温度-20℃下测定的储能弹性模量E’(-20℃)相对于E’(20℃)的比[E’(-20℃)/E’(20℃)]为5.0以下，按照动态粘弹性测定在频率1Hz、温度40℃下测定的储能弹性模量E’(40℃)相对于E’(20℃)的比[E’(40℃)/E’(20℃)]为0.5以上。
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公开(公告)号：CN104937735A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201380070289.8
申请日：2013-12-06
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: H01L41/193 , C08G18/61 , H01L41/09 , H02N11/00
CPC classification number: H01L41/193 , C08G18/61
Abstract: 本发明提供一种聚合物致动器，其具有优良的柔韧性和伸长率，弹性模量等特性的温度依赖性小，并且具有高绝缘击穿强度，而且其即使在低电场中也可以驱动。本发明涉及一种聚合物致动器，其特征在于，按照动态粘弹性测定在频率1Hz、温度20℃下测定的储能弹性模量E’(20℃)为0.5MPa以下，按照动态粘弹性测定在频率1Hz、温度-20℃下测定的储能弹性模量E’(-20℃)相对于E’(20℃)的比[E’(-20℃)/E’(20℃)]为5.0以下，按照动态粘弹性测定在频率1Hz、温度40℃下测定的储能弹性模量E’(40℃)相对于E’(20℃)的比[E’(40℃)/E’(20℃)]为0.5以上。
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公开(公告)号：CN102781628B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201180011425.7
申请日：2011-03-22
Applicant: 东洋橡胶工业株式会社
IPC: B24B37/24 , H01L21/304
CPC classification number: C08G18/4845 , B24B37/24 , C08G18/4277 , C08G18/4812 , C08G18/797 , C08G2101/00 , C08G2101/0025
Abstract: 本发明提供能够减小在研磨对象物的表面上产生的微小起伏的研磨垫及其制造方法、以及半导体器件的制造方法。所述研磨垫，具有由热固性聚氨酯发泡体构成的研磨层，通过使用含有含活性氢化合物和异氰酸酯成分作为原料成分的热固性聚氨酯发泡体，从研磨面侧测定的所述研磨层的A型显微橡胶硬度的面内偏差为12以下，其中，所述含活性氢化合物100重量份中，含有末端羟基的至少一个为仲羟基、并且羟值为150~1000mgKOH/g的三官能多元醇10~50重量份。
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