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公开(公告)号：CN109283358A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811424353.9
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及制造方法。本发明所述的基于柔性螺旋电感结构的风速传感器包括聚对苯二甲酸类（PET）衬底，螺旋电感线圈，位于所述PET衬底上表面，螺旋电感接触块与螺旋电感线圈两端连接，金属连接线，位于PET衬底中并贯穿衬底，位于衬底下表面且与螺旋电感接触块正对应的接触块，位于衬底下表面的金属导线,位于衬底下表面边缘处、连接下表面金属导线的测试接触块。同时还公开基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的制备方法。此结构利用柔性电感在不同风速时产生弯曲应变下电感值的变化，使风速与电感值之间存在对应关系。本发明的风速传感器结构轻便，响应速度快，电感自身热损耗小，降低了传感器功耗。
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公开(公告)号：CN105486884A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510882324.7
申请日：2015-12-03
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/02
CPC classification number: G01P5/02
Abstract: 本发明公开了一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计，该传感器包括衬底，共面波导传输线、微机械耦合器、终端电阻、半导体热电偶以及测试块部分。共面波导传输线生长在衬底表面上，悬臂梁耦合器悬于共面波导传输线的上方，中间为绝缘介质层和空气，与共面波导的信号线形成微机械耦合器。悬臂梁的锚区位于另外一段共面波导的中心信号线上，将悬臂梁耦合的微波信号传输到两个终端电阻。该结构可以实现风速检测，不仅结构简单，灵敏度高，更无需消耗直流功耗。
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公开(公告)号：CN103840744B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410058341.4
申请日：2014-02-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明是一种物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器，由一组尺寸相同的固支梁并排排列构成，固支梁的锚区分别固定在砷化镓衬底上，固支梁的底层是氮化硅层，氮化硅层上面是下极板，下极板上面是压电材料，压电材料上面是上极板，在固支梁下表面制作有天线结构，在固支梁周围环绕有竖立的MEMS热电堆，在固支梁上的中间设有ZnO/p-Si纳米级异质结，在ZnO/p-Si纳米级异质结的两侧的固支梁部分设有圆孔。本发明能够同时收集光能，热能，电磁能和振动能，有效降低射频收发组件的功耗，同时通过对热能、电磁能和振动能的收集，改善了射频收发组件的散热问题和电磁兼容问题，抑制了射频收发组件工作中的抖动，能有效的保证射频收发组件工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN105319387A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510883889.7
申请日：2015-12-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法，该传感器包括砷化镓衬底，生长在砷化镓衬底表面上的用于产生热量的发热电阻和用于感知温差的半导体热电偶。将四个风速传感器进行正交排列，形成交流自加热式风速风向传感器。其检测方法为发热电阻产生热量，当风吹过时，会改变半导体热电偶冷、热两端形成的温差，改变冷、热两端产生的直流电压，通过检测四个直流电压的大小最终实现风速风向的同时检测。
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公开(公告)号：CN102735932A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210204219.4
申请日：2012-06-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01R25/00
Abstract: 本发明公开了一种基于微机械砷化镓基固支梁的相位检测器及检测方法，该相位检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置；该方法包括如下步骤：在第一下拉电极（81）和第二下拉电极（82）加载直流偏置时，固支梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，待测微波信号同时加载到栅极（4）上，从而改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流大小；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现相位的测量。本发明体积较小，结构简单，易于测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101788605B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201010103655.3
申请日：2010-02-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法是一种结构非常简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波频率检测系统及其制备方法，该微电子机械微波频率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线(A)、一分三功分器(B)、共面波导传输线(C)、二合一功合器(D)、MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)和MEMS热电式微波功率传感器(F)：然后根据余弦定理就可以确定信号3在经过λ/2长度的共面波导传输线后和信号2的相位差。由于相位差与信号的频率是一一对应的，所以信号的频率也就可以测量出来。
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公开(公告)号：CN115575661B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202211251664.6
申请日：2022-10-13
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种二维电容差分式MEMS风速风向传感器，所述传感器包括衬底、刚性支撑柱、柔性感风柱、刚性连接体、可动电极板、固定电极板、金属引出电极；可动电极板与两个对称的固定电极板构成一组电容差分对，四组电容差分对围绕柔性感风柱在衬底上成中心对称分布；风吹动柔性感风柱带动可动电极板产生位移，可动电极板与固定电极板的间距相应改变，从而导致四组电容差分对差值发生变化，测量四组电容差分对的差值可以获取风速和风向信息。本发明提出的二维电容差分式风速风向传感器结构，可提高传感器的可靠性和灵敏性，并降低功耗。
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公开(公告)号：CN112645279B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202011539473.0
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及MEMS器件封装技术领域，尤其是一种MEMS风速风向传感器的封装方法，包括如下步骤，将芯片阵列粘接在刚性基板上；芯片衬底之间填充塑封材料；去除刚性基板；对芯片阵列进行切割成单个的塑封成型芯片；塑封成型芯片上粘接软边带；连接软边带与芯片的金属引脚；粘接盖板将芯片封装在盖板中。本发明通过用塑封基板来代替传统封装中的陶瓷基板，可以有效降低器件的功耗。利用激光划片或机械划片来对芯片阵列进行切割，使芯片位于塑封基板的中心位置，能够减小芯片的偏移，使得测量结果更为精确。
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公开(公告)号：CN116231254A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310235187.2
申请日：2023-03-13
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS移相器的血糖无损检测方法，通过MEMS工艺在衬底上制备出接地平面波导结构，电磁波信号沿着中间导体传输。将一定浓度的葡萄糖溶液放置于波导结构上方，当微波信号传输通过葡萄糖溶液时，会对波端口阻抗产生影响，从而使得S11系数产生相移，且葡萄糖溶液浓度不同，产生相移影响不同，通过分析S11相位系数即可得到葡萄糖溶液浓度变化，为实现血糖浓度无损检测提供了一种新的方法和思路。
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公开(公告)号：CN112645279A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011539473.0
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及MEMS器件封装技术领域，尤其是一种MEMS风速风向传感器的封装方法，包括如下步骤，将芯片阵列粘接在刚性基板上；芯片衬底之间填充塑封材料；去除刚性基板；对芯片阵列进行切割成单个的塑封成型芯片；塑封成型芯片上粘接软边带；连接软边带与芯片的金属引脚；粘接盖板将芯片封装在盖板中。本发明通过用塑封基板来代替传统封装中的陶瓷基板，可以有效降低器件的功耗。利用激光划片或机械划片来对芯片阵列进行切割，使芯片位于塑封基板的中心位置，能够减小芯片的偏移，使得测量结果更为精确。
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