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公开(公告)号：CN102401854B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201110364699.6
申请日：2011-11-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于微电子机械导热介质填充终端式微波功率传感器，是一种结构简单，操作容易，体积小，工艺容易且便于集成的微波传感器。该传感器以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线1，氮化钽（TaN）电阻2，导热绝缘介质层(BN)3，热电堆4，压焊块5：微波功率传感器通过共面波导传输线输入微波功率信号，终端电阻氮化钽吸收微波功率并转化为热，导热绝缘介质层把热量以热流形式传导给热电堆，然后通过热电堆的Seebeck即热电转化效应，产生直流电压，并从压焊块输出。从而可以检测出输入的微波功率。
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公开(公告)号：CN101788605B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201010103655.3
申请日：2010-02-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法是一种结构非常简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波频率检测系统及其制备方法，该微电子机械微波频率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线(A)、一分三功分器(B)、共面波导传输线(C)、二合一功合器(D)、MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)和MEMS热电式微波功率传感器(F)：然后根据余弦定理就可以确定信号3在经过λ/2长度的共面波导传输线后和信号2的相位差。由于相位差与信号的频率是一一对应的，所以信号的频率也就可以测量出来。
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公开(公告)号：CN101692123B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200910035498.4
申请日：2009-09-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在同时检测直流功率与微波功率时，微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，该装置包括三个完全相同的功率传感器并辅以功率分配器(16)、差分放大器(17)、自动增益控制器(18)；三个完全相同的功率传感器为第一功率传感器(a)、第二功率传感器(b)、第三功率传感器(c)；而且这种结构是基于MEMS技术的，具有MEMS的基本优点，如重量轻、功耗低等。这一系列优点是传统的微波功率检测器无法比拟的，因此它具有很好的研究和应用价值。
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公开(公告)号：CN101692123A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200910035498.4
申请日：2009-09-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在同时检测直流功率与微波功率时，微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，该装置包括三个完全相同的功率传感器并辅以功率分配器(16)、差分放大器(17)、自动增益控制器(18)；三个完全相同的功率传感器为第一功率传感器(a)、第二功率传感器(b)、第三功率传感器(c)；而且这种结构是基于MEMS技术的，具有MEMS的基本优点，如重量轻、功耗低等。这一系列优点是传统的微波功率检测器无法比拟的，因此它具有很好的研究和应用价值。
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公开(公告)号：CN102176535B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201110009440.X
申请日：2011-01-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于微电子机械微波天线及其制备方法是一种结构非常简单，操作容易，方向性可调，且便于集成的微电子机械微波天线及其制备方法，该微电子机械微波天线以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线馈线、微波天线辐射元，MEMS悬臂梁，悬臂梁桥墩，悬臂梁下拉电极，聚酰亚胺牺牲层，SiN介质层：微波天线馈线接收到待发射的微波信号，通过微波天线辐射元和八个相同的MEMS悬臂梁将微波信号发射出去。根据设计要求对悬臂梁下拉电极施加不同的直流偏置电压，产生等效的静电力，使得MEMS悬臂梁产生变形，这样就可以改变微波天线辐射的方向性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102176534A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110009358.7
申请日：2011-01-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械独立下拉电极式微波天线及其制备方法是一种结构非常简单，操作容易，方向性可调，且便于集成的微电子机械微波天线及其制备方法。该微电子机械微波天线以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线馈线、微波天线辐射元，MEMS悬臂梁，悬臂梁桥墩，悬臂梁下拉电极，聚酰亚胺牺牲层，SiN介质层：微波天线馈线接收到待发射的微波信号，通过微波天线辐射元和八个相同的MEMS悬臂梁将微波信号发射出去。根据设计要求可以单独的对八个悬臂梁下拉电极施加不同的直流偏置电压，产生等效的静电力，引起对应的MEMS悬臂梁发生不同程度的形变，从而调节微波天线的方向性。
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公开(公告)号：CN101726661A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910232144.9
申请日：2009-12-02
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械微波频率响应补偿式微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在检测中心频率点下与待测频率点下的相同大小微波功率时，检测出其差异进而实现微波频率响应补偿式微波功率检测的装置。待测微波信号通过功率分配器(16)一分为二其输出端得到两个完全相同的待测微波信号，即第一待测微波功率(P1)和第二待测微波功率(P2)，第一待测微波功率(P1)连接到第二功率传感器(B)的共面波导传输线(1)，第二待测微波功率(P2)连接到第三功率传感器(C)的共面波导传输线(1)，而与第一待测微波功率(P1)和第二待测微波功率(P2)大小相等的中心频率点(10GHz)下的微波功率连接到第一功率传感器(A)的共面波导传输线(1)。
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公开(公告)号：CN102401854A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110364699.6
申请日：2011-11-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于微电子机械导热介质填充终端式微波功率传感器，是一种结构简单，操作容易，体积小，工艺容易且便于集成的微波传感器。该传感器以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线1，氮化钽（TaN）电阻2，导热绝缘介质层(BN)3，热电堆4，压焊块5：微波功率传感器通过共面波导传输线输入微波功率信号，终端电阻氮化钽吸收微波功率并转化为热，导热绝缘介质层把热量以热流形式传导给热电堆，然后通过热电堆的Seebeck即热电转化效应，产生直流电压，并从压焊块输出。从而可以检测出输入的微波功率。
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公开(公告)号：CN101726661B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200910232144.9
申请日：2009-12-02
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械微波频率响应补偿式微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在检测中心频率点下与待测频率点下的相同大小微波功率时，检测出其差异进而实现微波频率响应补偿式微波功率检测的装置。待测微波信号通过功率分配器(16)一分为二其输出端得到两个完全相同的待测微波信号，即第一待测微波功率(P1)和第二待测微波功率(P2)，第一待测微波功率(P1)连接到第二功率传感器(B)的共面波导传输线(1)，第二待测微波功率(P2)连接到第三功率传感器(C)的共面波导传输线(1)，而与第一待测微波功率(P1)和第二待测微波功率(P2)大小相等的中心频率点(10GHz)下的微波功率连接到第一功率传感器(A)的共面波导传输线(1)。
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公开(公告)号：CN102176535A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110009440.X
申请日：2011-01-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于微电子机械微波天线及其制备方法是一种结构非常简单，操作容易，方向性可调，且便于集成的微电子机械微波天线及其制备方法，该微电子机械微波天线以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线馈线、微波天线辐射元，MEMS悬臂梁，悬臂梁桥墩，悬臂梁下拉电极，聚酰亚胺牺牲层，SiN介质层：微波天线馈线接收到待发射的微波信号，通过微波天线辐射元和八个相同的MEMS悬臂梁将微波信号发射出去。根据设计要求对悬臂梁下拉电极施加不同的直流偏置电压，产生等效的静电力，使得MEMS悬臂梁产生变形，这样就可以改变微波天线辐射的方向性。
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