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公开(公告)号：CN107063966A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710191983.5
申请日：2017-03-28
Applicant: 东南大学
CPC classification number: G01N15/08 , G01N2015/084 , G01N2015/0853 , G08C17/02
Abstract: 本发明公开了一种实时监控空气滤芯受污染程度的无线传感器，包括LC谐振器、读数线圈（5），其中，所述LC谐振器由电感线圈（2）和平面叉指电容（3）串联组成，且所述LC谐振器设置在空气滤芯的过滤层之间；所述读数线圈（5）与电感线圈（2）之间通过磁场耦合。读数器通过读数线圈（5）发送激励信号至LC谐振器，并根据其反馈的调幅信号解析出LC谐振器谐振频率的变化，最终推算出过滤层（1、4）吸附杂质量的多少。本发明结构简单，能够实现实时监控空气滤芯受污染情况的目的，对于提醒用户及时更换滤芯、保护用户健康具有积极作用。
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公开(公告)号：CN109580981A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811423034.6
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，涉及MEMS器件，属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构，所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔，硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块，结构轻便，响应速度快，利用伯努利效应及线圈互感效应实现风速检测，电感自身热损耗小，降低了传感器功率。
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公开(公告)号：CN109283358A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811424353.9
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及制造方法。本发明所述的基于柔性螺旋电感结构的风速传感器包括聚对苯二甲酸类（PET）衬底，螺旋电感线圈，位于所述PET衬底上表面，螺旋电感接触块与螺旋电感线圈两端连接，金属连接线，位于PET衬底中并贯穿衬底，位于衬底下表面且与螺旋电感接触块正对应的接触块，位于衬底下表面的金属导线,位于衬底下表面边缘处、连接下表面金属导线的测试接触块。同时还公开基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的制备方法。此结构利用柔性电感在不同风速时产生弯曲应变下电感值的变化，使风速与电感值之间存在对应关系。本发明的风速传感器结构轻便，响应速度快，电感自身热损耗小，降低了传感器功耗。
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公开(公告)号：CN107817058A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710886409.1
申请日：2017-09-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明是一种电感悬臂梁无线无源温度传感器，其中，绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)自下而上由第一金属膜(51)和第二金属膜(52)组成；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路。本发明利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率，无需温度敏感介质，重复性和可靠性更好且加工更简单；本发明无需引线和电池供电，能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行温度测量。
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公开(公告)号：CN109253757B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201811123851.X
申请日：2018-09-26
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器，该集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器，从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层，上金属层包括湿度敏感电容，中间金属层包括压力敏感电容，叉指电容式湿度传感器包括湿度敏感薄膜、湿度敏感电容与柔性基板，叉指电容式压力传感器包括柔性基板、压力敏感电容、介质层、下金属层与封装层。上述集成传感器通过将湿度敏感电容、压力敏感电容、两个平板电容与电感连接形成双谐振电路，实现对湿度、压力两个参数的实时无线监测，且两个频率信号互不干扰，测量精度高，能够适应更多环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109580981B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201811423034.6
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了基于柔性电感‑硅基电感结构的风速传感器，涉及MEMS器件，属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构，所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔，硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块，结构轻便，响应速度快，利用伯努利效应及线圈互感效应实现风速检测，电感自身热损耗小，降低了传感器功率。
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公开(公告)号：CN109253757A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201811123851.X
申请日：2018-09-26
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器，该集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器，从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层，上金属层包括湿度敏感电容，中间金属层包括压力敏感电容，叉指电容式湿度传感器包括湿度敏感薄膜、湿度敏感电容与柔性基板，叉指电容式压力传感器包括柔性基板、压力敏感电容、介质层、下金属层与封装层。上述集成传感器通过将湿度敏感电容、压力敏感电容、两个平板电容与电感连接形成双谐振电路，实现对湿度、压力两个参数的实时无线监测，且两个频率信号互不干扰，测量精度高，能够适应更多环境。
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公开(公告)号：CN107894293A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201711096376.7
申请日：2017-11-09
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/14
CPC classification number: G01L1/148
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的柔性无源无线压力传感器，包括两个线圈电极，位于线圈电极之间的介质层与位于线圈电极之外的封装层，线圈电极、介质层与封装层采用绝缘柔性的高分子聚合物材料制成；所述的线圈电极为带有平板电极的螺旋电感，上下平板电极之间构成平行板电容器，与电感并联形成LC谐振电路；所述的介质层经微处理设有对应的凸起结构。并公布了该传感器的制作方法。相比现有技术，本发明提供一种由柔性材料制成、结构简单、灵敏度与可靠性高的压力传感器。
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公开(公告)号：CN109283358B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201811424353.9
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及制造方法。本发明所述的基于柔性螺旋电感结构的风速传感器包括聚对苯二甲酸类（PET）衬底，螺旋电感线圈，位于所述PET衬底上表面，螺旋电感接触块与螺旋电感线圈两端连接，金属连接线，位于PET衬底中并贯穿衬底，位于衬底下表面且与螺旋电感接触块正对应的接触块，位于衬底下表面的金属导线,位于衬底下表面边缘处、连接下表面金属导线的测试接触块。同时还公开基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的制备方法。此结构利用柔性电感在不同风速时产生弯曲应变下电感值的变化，使风速与电感值之间存在对应关系。本发明的风速传感器结构轻便，响应速度快，电感自身热损耗小，降低了传感器功耗。
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公开(公告)号：CN107121444A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710192633.0
申请日：2017-03-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01N22/04
CPC classification number: G01N22/04
Abstract: 本发明公开了一种基于雷达散射截面探测的无源无线湿度传感器，包括介质基板（3），印刷在基板表面的折线形金属谐振器（2），以及涂覆于谐振器（2）表面的湿度敏感材料（1）。当环境湿度发生变化时，谐振器的谐振频率发生剧烈变化，传感器的雷达散射截面随之发生改变。本发明利用雷达散射截面变化来探测传感数据，具有传输距离远、结构简单、成本低廉的优点。
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