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公开(公告)号：CN109283358B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201811424353.9
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及制造方法。本发明所述的基于柔性螺旋电感结构的风速传感器包括聚对苯二甲酸类（PET）衬底，螺旋电感线圈，位于所述PET衬底上表面，螺旋电感接触块与螺旋电感线圈两端连接，金属连接线，位于PET衬底中并贯穿衬底，位于衬底下表面且与螺旋电感接触块正对应的接触块，位于衬底下表面的金属导线,位于衬底下表面边缘处、连接下表面金属导线的测试接触块。同时还公开基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的制备方法。此结构利用柔性电感在不同风速时产生弯曲应变下电感值的变化，使风速与电感值之间存在对应关系。本发明的风速传感器结构轻便，响应速度快，电感自身热损耗小，降低了传感器功耗。
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公开(公告)号：CN109580981A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811423034.6
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，涉及MEMS器件，属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构，所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔，硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块，结构轻便，响应速度快，利用伯努利效应及线圈互感效应实现风速检测，电感自身热损耗小，降低了传感器功率。
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公开(公告)号：CN109283358A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811424353.9
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及制造方法。本发明所述的基于柔性螺旋电感结构的风速传感器包括聚对苯二甲酸类（PET）衬底，螺旋电感线圈，位于所述PET衬底上表面，螺旋电感接触块与螺旋电感线圈两端连接，金属连接线，位于PET衬底中并贯穿衬底，位于衬底下表面且与螺旋电感接触块正对应的接触块，位于衬底下表面的金属导线,位于衬底下表面边缘处、连接下表面金属导线的测试接触块。同时还公开基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的制备方法。此结构利用柔性电感在不同风速时产生弯曲应变下电感值的变化，使风速与电感值之间存在对应关系。本发明的风速传感器结构轻便，响应速度快，电感自身热损耗小，降低了传感器功耗。
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公开(公告)号：CN109580981B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201811423034.6
申请日：2018-11-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了基于柔性电感‑硅基电感结构的风速传感器，涉及MEMS器件，属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构，所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔，硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块，结构轻便，响应速度快，利用伯努利效应及线圈互感效应实现风速检测，电感自身热损耗小，降低了传感器功率。
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