公开(公告)号：CN112642414B

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN202011454444.4

申请日：2020-12-10

Applicant: 东南大学

Inventor： 于虹 ,  张嘉铭 ,  毛诗涵

IPC: B01J20/28 ,  B01J20/10 ,  B01J20/30 ,  C02F1/28 ,  C02F101/20

Abstract: 本发明公开了一种核酸适体功能化介孔二氧化硅重金属离子吸附材料制备方法和应用，材料以具有多孔特性的氨基功能化介孔二氧化硅为载体，核酸适体通过醛基固定在载体上，形成同时具有吸附活性位点和微细孔道的DNA‑NH2‑MSN。

公开(公告)号：CN114348952A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202210255118.3

申请日：2022-03-16

Applicant: 东南大学

Inventor： 黄晓东 ,  熊强 ,  秦明 ,  韩磊 ,  李伟华 ,  唐洁影 ,  于虹

IPC: B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  G01L1/00

Abstract: 本发明公开了一种MEMS压力传感器封装结构，在外壳的内侧壁上贴合有一组相对设置的金属极板，金属极板在通入电压后会形成电场，根据介电分离效应，在该电场的作用下，渗入密封腔体的外界污物向着金属极板运动和聚集，并在重力作用下落入金属极板的底端的污物收集槽内，解决现有技术中封装气密性随传感器工作时间的增长逐渐下降，导致外界污物进入封装腔体后下沉到MEMS压力传感器芯片表面，从而造成传感器性能下降的问题。此外，盖状波纹膜片及其连接方式能有效提高密封胶装配的封装气密性，减小波纹膜片上的预应力和热应力；波纹膜片采用高韧性陶瓷材料，有助于抑制恶劣工作环境对波纹膜片的腐蚀和破坏。

公开(公告)号：CN108092638A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201711203867.7

申请日：2017-11-27

Applicant: 东南大学

Inventor： 于虹 ,  张浩东

IPC: H03H3/02 ,  H03H3/04 ,  H03H3/007 ,  G01N27/12

Abstract: 本发明公开了一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺，该谐振系统包括衬底及置于衬底上的谐振测试系统，该谐振测试系统包括上极板、下极板以及基座；基座位于衬底上表面，上极板包括三角形质量块和至少两根股梁，股梁与三角形质量块连接点之间加入节胫，股梁另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻，并与基座相连；下极板位于衬底上表面的中央，三角形折叠梁质量块与下极板之间存在空气间隙，两者之间加驱动电压，压阻电阻串联于外接电路中。此系统利用静电力驱动和压阻检测的方法，当三角形折叠梁质量块的质量发生改变时，通过检测股梁的振动频率的变化，表征三角形折叠梁质量块的质量变化，此方法可以广泛应用于纳机电的痕量检测中。

公开(公告)号：CN103673864B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201310609962.2

申请日：2013-11-27

Applicant: 东南大学

Inventor： 雷双瑛 ,  李峄 ,  陈洁 ,  于虹 ,  黄庆安

IPC: G01B7/16 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种硅锗异质结纳米线阵列作为敏感元件的应变计，该应变计包括绝缘体上硅圆片，以及覆盖在绝缘体上硅圆片上的氧化层，绝缘体上硅圆片上开有深槽，且深槽的侧壁和底面均设有氧化层，在深槽相对的两个侧壁上分别设有一个生长纳米线的窗口，该窗口上设有锡纳米颗粒催化剂层，锡纳米颗粒催化剂层上生长硅锗异质结纳米线阵列，两个生长纳米线且相对的窗口通过该硅锗异质结纳米线阵列相连接。该应变计采用硅锗异质结纳米线阵列作为敏感元件，提高敏感源灵敏度，同时，还公开该应变计的制备方法，该制备方法简单，且与现有的集成电路工艺具有兼容性。