一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺

    公开(公告)号:CN108092638A

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201711203867.7

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 于虹 张浩东

    Abstract: 本发明公开了一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺,该谐振系统包括衬底及置于衬底上的谐振测试系统,该谐振测试系统包括上极板、下极板以及基座;基座位于衬底上表面,上极板包括三角形质量块和至少两根股梁,股梁与三角形质量块连接点之间加入节胫,股梁另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻,并与基座相连;下极板位于衬底上表面的中央,三角形折叠梁质量块与下极板之间存在空气间隙,两者之间加驱动电压,压阻电阻串联于外接电路中。此系统利用静电力驱动和压阻检测的方法,当三角形折叠梁质量块的质量发生改变时,通过检测股梁的振动频率的变化,表征三角形折叠梁质量块的质量变化,此方法可以广泛应用于纳机电的痕量检测中。

    一种双层复用型三角形折叠梁质量块谐振系统及其痕量检测方法

    公开(公告)号:CN108225544B

    公开(公告)日:2020-02-18

    申请号:CN201711204428.8

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 于虹 张浩东

    Abstract: 本发明公开了一种双层复用型三角形折叠梁质量块谐振系统及检测方法,系统包括衬底以及对称置于衬底上、下表面结构相同的第一和第二谐振测试系统;第一和第二谐振测试系统均包括位于衬底上的基座、支撑于基座上的上极板以及位于衬底表面中央的下极板;上极板包括三角形质量块和与其连接的至少两根股梁;三角形质量块与股梁连接点之间加入节胫,股梁的另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻,并与基座连接;下极板和三角形折叠梁质量块之间存在空气间隙;驱动电压一端与第一和第二谐振测试系统的下极板连接,另一端分别与第一和第二三角形折叠梁质量块连接。本发明利用外接电路检测两个输出信号,排除温度、湿度变化对频率检测的影响,提高测量精度。

    一种基于物理场解析的MEMS器件宏模型构建方法

    公开(公告)号:CN117494640A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311553391.5

    申请日:2023-11-20

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种基于物理场解析的MEMS器件宏模型构建方法,属于计算、推算或计数的技术领域。该方法将MEMS器件的多个物理场效应拆解分离,选择与MEMS器件的机械结构耦合程度最深的物理场作为主物理场,通过基于阶跃响应的系统辨识法对主物理场进行降阶,获得主物理场的状态空间模型。再通过行为方程对MEMS器件的其它物理场分别构建行为模型,最后利用Verilog‑A对状态空间模型与各行为模型进行描述和组装,最后获得MEMS器件的宏模型。本发明以二极管型MEMS皮拉尼真空传感器宏模型建模过程为例,介绍基于物理场解析的MEMS器件宏模型建模方法,其他类型器件也可进行相同的分析与建模。

    一种双层复用型三角形折叠梁质量块谐振系统及其痕量检测方法

    公开(公告)号:CN108225544A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201711204428.8

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 于虹 张浩东

    Abstract: 本发明公开了一种双层复用型三角形折叠梁质量块谐振系统及检测方法,系统包括衬底以及对称置于衬底上、下表面结构相同的第一和第二谐振测试系统;第一和第二谐振测试系统均包括位于衬底上的基座、支撑于基座上的上极板以及位于衬底表面中央的下极板;上极板包括三角形质量块和与其连接的至少两根股梁;三角形质量块与股梁连接点之间加入节胫,股梁的另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻,并与基座连接;下极板和三角形折叠梁质量块之间存在空气间隙;驱动电压一端与第一和第二谐振测试系统的下极板连接,另一端分别与第一和第二三角形折叠梁质量块连接。本发明利用外接电路检测两个输出信号,排除温度、湿度变化对频率检测的影响,提高测量精度。

    一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺

    公开(公告)号:CN108092638B

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN201711203867.7

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 于虹 张浩东

    Abstract: 本发明公开了一种三角形折叠梁质量块谐振系统、检测方法及制作工艺,该谐振系统包括衬底及置于衬底上的谐振测试系统,该谐振测试系统包括上极板、下极板以及基座;基座位于衬底上表面,上极板包括三角形质量块和至少两根股梁,股梁与三角形质量块连接点之间加入节胫,股梁另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻,并与基座相连;下极板位于衬底上表面的中央,三角形折叠梁质量块与下极板之间存在空气间隙,两者之间加驱动电压,压阻电阻串联于外接电路中。此系统利用静电力驱动和压阻检测的方法,当三角形折叠梁质量块的质量发生改变时,通过检测股梁的振动频率的变化,表征三角形折叠梁质量块的质量变化,此方法可以广泛应用于纳机电的痕量检测中。

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