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公开(公告)号:CN119002177A
公开(公告)日:2024-11-22
申请号:CN202410320656.5
申请日:2024-03-20
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 提供一种抗蚀剂面层组合物以及使用所述抗蚀剂面层组合物来形成图案的方法。所述抗蚀剂面层组合物包括共聚物以及溶剂,所述共聚物包含由化学式M‑1表示的第一结构单元、由化学式M‑2表示的第二结构单元及包括由化学式M‑3A、化学式M‑3B、化学式M‑3C及化学式M‑3D表示的结构单元中的至少一者的第三结构单元。
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公开(公告)号:CN108291013B
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN201680070703.9
申请日:2016-10-19
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明揭示一种聚合物,其包含由化学式1表示的结构单元及由化学式2表示的结构单元;包含所述聚合物的有机层组成物;及使用所述有机层组成物形成图案的方法。在化学式1及化学式2中,A1及A2独立地为二价基团,其包含经取代或未经取代的苯环中的至少一者,A3为包含四级碳的二价基团,且*为连接点。
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公开(公告)号:CN106084159B
公开(公告)日:2019-10-01
申请号:CN201610183382.5
申请日:2016-03-28
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明是关于一种聚合物、有机层组合物以及形成图案的方法。所述聚合物包含由化学式1表示的第一部分和包含经取代或未经取代的C6至C60环基、经取代或未经取代的C6至C60杂环基或其组合的第二部分。本发明的聚合物具有良好的溶解度特征以及极好的耐蚀刻性。[化学式1]
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公开(公告)号:CN105646850B
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:CN201510794412.1
申请日:2015-11-18
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C08G61/12 , C08L65/00 , H01L21/027 , G03F1/56
Abstract: 本发明公开一种聚合物、有机层组合物、有机层以及形成图案的方法,具体公开由化学式1表示的部分的聚合物、包含所述聚合物的有机层组合物、由所述有机层组合物形成的有机层以及使用所述有机层组合物形成图案的方法。化学式1表示如下,其中,在化学式1中,A1和A2各自独立地是衍生自含氮原子的芳环基团的二价基团,A3和A4各自独立地是由化学式2表示的二价基团,n是0或1,以及‘*’指示化合物或化合物的部分的连接点。可以提供具有改善的溶解性、耐蚀刻性以及储存稳定性的有机层材料。
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公开(公告)号:CN106046696A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201510919487.8
申请日:2015-12-11
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C08G73/0672 , G03F7/0041 , G03F7/0752 , G03F7/091 , G03F7/094 , H01L51/0018
Abstract: 一种有机层组合物包含:包含由化学式1表示的部分的聚合物、由化学式2表示的单体以及溶剂,还提供一种由所述有机层组合物制造的有机层,和一种使用所述有机层组合物形成图案的方法。所述有机层组合物可以提供同时确保耐蚀刻性、耐热性以及平坦化特征的有机层。化学式1和化学式2的定义与具体实施方式中相同。[化学式1][化学式2]。
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公开(公告)号:CN110780536B
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN201910694739.X
申请日:2019-07-30
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本公开涉及一种包含由化学式1表示的有机金属化合物以及溶剂的半导体抗蚀剂组合物,以及涉及一种使用所述组合物形成图案的方法及系统,其中,在化学式1中,R1是脂族烃基、芳族烃基或‑亚烷基‑O‑烷基,且R2到R4分别独立地选自‑ORa及‑OC(=O)Rb。本公开的半导体抗蚀剂组合物具有改善的耐刻蚀性、灵敏度且易于处置。[化学式1]
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公开(公告)号:CN115916760A
公开(公告)日:2023-04-04
申请号:CN202180040437.6
申请日:2021-09-01
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C07D251/24 , C07D409/04 , C07D405/04 , H10K50/10
Abstract: 本发明涉及一种由化学式1表示的用于有机光电装置的化合物、用于有机光电装置的组成物、包含所述化合物的组成物、有机光电装置及显示装置。化学式1的具体细节如在说明书中所定义。
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