复杂的带穿孔的微机械部件

    公开(公告)号:CN102627254B

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201210024520.7

    申请日:2012-02-03

    CPC classification number: B81C99/0085 B81B2201/035

    Abstract: 本发明涉及一种在单块材料上制造微机械部件(11,31,41)的方法。根据本发明,所述方法包括以下步骤:a)形成衬底(1,21),该衬底包括用于待制造的所述微机械部件的凹腔(3,23);b)在所述衬底(1,21)的一部分上形成牺牲层(5,25);c)在所述衬底(1,21)上沉积用于形成萌发点的颗粒(6,26);d)移走所述牺牲层(5,25),以选择性地使所述衬底(1,21)的一部分没有任何颗粒(6,26);e)通过化学气相沉积沉积第一材料(7,27)层,使得所述第一材料只在所述颗粒(6,26)保留的地方沉积;f)移走衬底(1,21),以释放在所述凹腔中形成的微机械部件(11,31,41)。

    用于电铸法的模具以及制造该模具的方法

    公开(公告)号:CN101831672B

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201010133985.7

    申请日:2010-03-12

    CPC classification number: C25D1/10 B81B2201/035 B81C99/009 C25D17/00

    Abstract: 本发明涉及一种用于制造模具(39,39’,39”)的方法(3),包括以下步骤:a)提供(10)具有顶层(21,21’)和底层(23,23’)的基材(9,9’),所述顶层和底层由可微机械加工的导电材料制成并且通过电绝缘的中间层(22,22’)相互连接;b)在所述顶层中刻蚀(11,12,14,2,4)至少一个图案(26,26’,27’)直至中间层,以便在所述模具中形成至少一个凹腔(25,25’);c)用电绝缘涂层(30,30’)涂覆(6,16)所述基材的顶部部分;d)定向刻蚀(8,18)所述涂层和中间层,以便专门在形成于所述顶层中的各垂直壁(31,31’,33)处限制其存在。本发明涉及微机械部件尤其是钟表机芯的领域。

    用于电铸法的模具以及制造该模具的方法

    公开(公告)号:CN101831672A

    公开(公告)日:2010-09-15

    申请号:CN201010133985.7

    申请日:2010-03-12

    CPC classification number: C25D1/10 B81B2201/035 B81C99/009 C25D17/00

    Abstract: 本发明涉及一种用于制造模具(39,39’,39”)的方法(3),包括以下步骤:a)提供(10)具有顶层(21,21’)和底层(23,23’)的基材(9,9’),所述顶层和底层由可微机械加工的导电材料制成并且通过电绝缘的中间层(22,22’)相互连接;b)在所述顶层中刻蚀(11,12,14,2,4)至少一个图案(26,26’,27’)直至中间层,以便在所述模具中形成至少一个凹腔(25,25’);c)用电绝缘涂层(30,30’)涂覆(6,16)所述基材的顶部部分;d)定向刻蚀(8,18)所述涂层和中间层,以便专门在形成于所述顶层中的各垂直壁(31,31’,33)处限制其存在。本发明涉及微机械部件尤其是钟表机芯的领域。

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