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公开(公告)号：CN115725242A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211577200.4
申请日：2022-12-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高效低损伤金刚石研磨液，由以下重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份；反应型增稠剂1‑10份；减粘流平剂0.1‑5份；润滑剂1‑20份；消泡剂0.001‑0.1份；水：10‑90份。该金刚石研磨液用于双面研磨时，可均匀分布于硬质研磨盘面，无返稀或分布缺失问题发生，可减少划伤产生，避免局部温度过高造成几何参数失控；同时其增稠减粘特性，在形成软性缓冲层保障效率抑制划伤的同时，也可实现研磨液的及时更新，稳定研磨加工性能。
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公开(公告)号：CN115096943A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210708047.8
申请日：2022-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提出了一种流体磨具均匀性的无损检测装置及测试方法，分别抽取样品中最大组分原料为xmax样品与最小组分原料为xmin样品，依据xmax样品与xmin样品的检测值计算得到相对标准偏差，随后利用绝对均匀状态与50%不均匀状态下两特征点进行线性回归求出均匀性系数，依次抽取n个被检测产品样品，根据检测结果相对标准偏差Sr与均匀性Hg，实现对产品均匀性的评估。本发明大大提升了检测设备的智能化程度与检测效率，降低了检测人员的工作量，保障产品质量均匀性，为其加工均匀稳定性保驾护航，提升客户工件品质，减少返工返修和报废，在检测过程中实现了样品的无损检测，保证检测后的样本可继续使用，降低了检测成本。
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公开(公告)号：CN115926747B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211571493.5
申请日：2022-12-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14 , C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及一种浓缩型水性研磨助剂，其由以下重量份数的原料组成：去离子水30‑50份，复合型触变剂5‑10份，乳液稳定剂5‑10份，润滑剂20‑30份，杀菌剂1‑5份，消泡剂1‑5份。将本发明浓缩型水性研磨助剂应用于碳化硅、氮化镓晶圆研磨加工，可大大降低直接使用金刚石研磨液成品的加工成本；同时可对金刚石磨料颗粒进行快速分散悬浮，并形成具有触变特性的稳定悬浮液。润滑剂在使用过程中可以有效降低研磨过程中的摩擦阻力，增加润滑性，有效改善研磨表面质量，并大大缩短后道晶圆抛光时间。
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公开(公告)号：CN117186839A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311024548.5
申请日：2023-08-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14 , B01F27/112 , B01F27/192 , B01F27/90 , C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种高粘度研磨液稳定化生产工艺，其包括如下步骤：S1.将高粘度助剂进行溶胀、溶解、活化、真空脱泡预处理，获得浓度≤5%的高粘度助剂溶液，备用；S2.将部分溶剂与全部磨料混合，超声分散，形成分散液；S3.向分散液中加入乳化剂、消泡剂，并补足剩余的溶剂，匀化1‑10min；S4.加入步骤S1预处理后获得的高粘助剂溶液，匀化1‑30min，即得。采用本发明高粘度研磨液稳定化生产工艺及匀化装置，可有效降低批次间的粘度差异，以及长时间放置时的粘度波动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115746789A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211588554.9
申请日：2022-12-12
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种稳定全悬浮研磨用金刚石研磨液，其由下述重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份，密度调节剂1‑50份，悬浮剂0.01‑10份，流动性调节剂0.1‑5份，粘度调节剂0.1‑5份，润滑剂1‑50份，消泡剂0.0001‑0.5份，水10‑90份。相较于现有的半悬浮或无悬浮状态的研磨液，本发明产品具有更好的产品品质观感；将其应用于研磨加工时性能稳定，有更好的加工效率和加工表面质量；应用于研磨抛光液的批量化生产时，无沉降聚集造成灌装不均的隐忧，可实现批量化稳定生产。
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公开(公告)号：CN112592663B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202011523862.4
申请日：2020-12-22
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明公开一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法，属于超精密研磨抛光技术领域，所述抛光液由以下重量份数的原料组成：水50‑85份；金刚石微粉0.5‑15份；分散剂0.1‑5份；悬浮剂0.1‑5份；润滑剂1‑40份；消泡剂0.001‑0.1份,金刚石微粉粒度10‑1000nm，所述金刚石微粉中，耐磨磨粒/圆形磨粒颗粒数比值为1‑15:1，其中，圆度Fc＞0.950为圆形磨粒；0.900≤Fc≤0.950为耐磨磨粒。所述抛光液通过控制金刚石微粉的形貌构成，在耐磨磨粒提高抛光效率的同时，借助圆形磨粒修复表面损伤层和粗糙度，从而实现对抛光划伤的控制。
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公开(公告)号：CN113265224A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110471142.6
申请日：2021-04-29
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14
Abstract: 本发明涉及一种喷雾型金刚石研磨液，其由以下重量份数的原料组成：水50‑85份，金刚石微粉0.5‑15份，复配型乳化分散剂0.1‑5份，复配型液体增粘剂0.2‑5份，保水剂10‑40份，消泡剂0.001‑0.1份。将该研磨液用于喷雾供液系统时，可有效减少雾化飞散液滴的产生，并可加速液滴沉降，在提升研磨液利用率的同时可以显著避免雾化吸入，从而降低对操作人员的身心伤害。
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公开(公告)号：CN112592663A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011523862.4
申请日：2020-12-22
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明公开一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法，属于超精密研磨抛光技术领域，所述抛光液由以下重量份数的原料组成：水50‑85份；金刚石微粉0.5‑15份；分散剂0.1‑5份；悬浮剂0.1‑5份；润滑剂1‑40份；消泡剂0.001‑0.1份,金刚石微粉粒度10‑1000nm，所述金刚石微粉中，耐磨磨粒/圆形磨粒颗粒数比值为1‑15:1，其中，圆度Fc＞0.950为圆形磨粒；0.900≤Fc≤0.950为耐磨磨粒。所述抛光液通过控制金刚石微粉的形貌构成，在耐磨磨粒提高抛光效率的同时，借助圆形磨粒修复表面损伤层和粗糙度，从而实现对抛光划伤的控制。
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公开(公告)号：CN105349046A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510744230.3
申请日：2015-11-04
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明公开了一种水包油乳化型金刚石研磨液及其制备方法，属于精密超精密研磨加工技术领域。该乳化型金刚石研磨液由以下质量份数的组分制成：金刚石磨料0.1～5份，硅烷偶联剂0.1～3份，阴离子表面活性剂0.05～1.5份，两性离子表面活性剂0.05～1.5份，改性聚脲的N-甲基吡咯烷酮1～5份，N-甲基吡咯烷酮0.1～0.5份，C12～C16的饱和烷烃5～10份，乙二醇和/或聚乙二醇10～30份，水43.5～83.6份。该研磨液同时具有水性研磨液良好的冷却性、清洗性以及油性研磨液优越的润滑性。
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