公开(公告)号：CN119470398A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411526507.0

申请日：2024-10-30

Applicant: 精工博研测试技术(河南)有限公司 ,  郑州磨料磨具磨削研究所有限公司

Inventor： 达朝鸿 ,  邢波 ,  肖腾 ,  高艳兵 ,  胡玉静 ,  任冠青 ,  廖小伟 ,  马亚飞

IPC: G01N21/73 ,  G01N1/28 ,  G01N1/44

Abstract: 本发明公开一种同时测定磷酸硼中三氧化二硼和五氧化二磷含量的方法，属于分析测试技术领域。本发明通过微波消解样品，采用电感耦合等离子体发射光谱法可同时对三氧化二硼和五氧化二磷进行测定，方法操作简单，高效，试剂用量小，环境友好，但能准确测定三氧化二硼和五氧化二磷含量，因此利用微波消解‑电感耦合等离子体发射光谱法测定磷酸硼中三氧化二硼和五氧化二磷含量，具有十分重要的意义。

公开(公告)号：CN112592663B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN202011523862.4

申请日：2020-12-22

Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司

Inventor： 徐明艳 ,  代克 ,  豁国燕 ,  冯兵强 ,  马亚飞

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明公开一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法，属于超精密研磨抛光技术领域，所述抛光液由以下重量份数的原料组成：水50‑85份；金刚石微粉0.5‑15份；分散剂0.1‑5份；悬浮剂0.1‑5份；润滑剂1‑40份；消泡剂0.001‑0.1份,金刚石微粉粒度10‑1000nm，所述金刚石微粉中，耐磨磨粒/圆形磨粒颗粒数比值为1‑15:1，其中，圆度Fc＞0.950为圆形磨粒；0.900≤Fc≤0.950为耐磨磨粒。所述抛光液通过控制金刚石微粉的形貌构成，在耐磨磨粒提高抛光效率的同时，借助圆形磨粒修复表面损伤层和粗糙度，从而实现对抛光划伤的控制。

公开(公告)号：CN112592663A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN202011523862.4

申请日：2020-12-22

Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司

Inventor： 徐明艳 ,  代克 ,  豁国燕 ,  冯兵强 ,  马亚飞

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明公开一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法，属于超精密研磨抛光技术领域，所述抛光液由以下重量份数的原料组成：水50‑85份；金刚石微粉0.5‑15份；分散剂0.1‑5份；悬浮剂0.1‑5份；润滑剂1‑40份；消泡剂0.001‑0.1份,金刚石微粉粒度10‑1000nm，所述金刚石微粉中，耐磨磨粒/圆形磨粒颗粒数比值为1‑15:1，其中，圆度Fc＞0.950为圆形磨粒；0.900≤Fc≤0.950为耐磨磨粒。所述抛光液通过控制金刚石微粉的形貌构成，在耐磨磨粒提高抛光效率的同时，借助圆形磨粒修复表面损伤层和粗糙度，从而实现对抛光划伤的控制。