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公开(公告)号：CN115096943B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202210708047.8
申请日：2022-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提出了一种流体磨具均匀性的无损检测装置及测试方法，分别抽取样品中最大组分原料为xmax样品与最小组分原料为xmin样品，依据xmax样品与xmin样品的检测值计算得到相对标准偏差，随后利用绝对均匀状态与50%不均匀状态下两特征点进行线性回归求出均匀性系数，依次抽取n个被检测产品样品，根据检测结果相对标准偏差Sr与均匀性Hg，实现对产品均匀性的评估。本发明大大提升了检测设备的智能化程度与检测效率，降低了检测人员的工作量，保障产品质量均匀性，为其加工均匀稳定性保驾护航，提升客户工件品质，减少返工返修和报废，在检测过程中实现了样品的无损检测，保证检测后的样本可继续使用，降低了检测成本。
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公开(公告)号：CN113265224B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110471142.6
申请日：2021-04-29
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14
Abstract: 本发明涉及一种喷雾型金刚石研磨液，其由以下重量份数的原料组成：水50‑85份，金刚石微粉0.5‑15份，复配型乳化分散剂0.1‑5份，复配型液体增粘剂0.2‑5份，保水剂10‑40份，消泡剂0.001‑0.1份。将该研磨液用于喷雾供液系统时，可有效减少雾化飞散液滴的产生，并可加速液滴沉降，在提升研磨液利用率的同时可以显著避免雾化吸入，从而降低对操作人员的身心伤害。
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公开(公告)号：CN105349046B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201510744230.3
申请日：2015-11-04
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种水包油乳化型金刚石研磨液及其制备方法，属于精密超精密研磨加工技术领域。该乳化型金刚石研磨液由以下质量份数的组分制成：金刚石磨料0.1～5份，硅烷偶联剂0.1～3份，阴离子表面活性剂0.05～1.5份，两性离子表面活性剂0.05～1.5份，改性聚脲的N‑甲基吡咯烷酮1～5份，N‑甲基吡咯烷酮0.1～0.5份，C12～C16的饱和烷烃5～10份，乙二醇和/或聚乙二醇10～30份，水43.5～83.6份。该研磨液同时具有水性研磨液良好的冷却性、清洗性以及油性研磨液优越的润滑性。
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公开(公告)号：CN115746789B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202211588554.9
申请日：2022-12-12
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种稳定全悬浮研磨用金刚石研磨液，其由下述重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份，密度调节剂1‑50份，悬浮剂0.01‑10份，流动性调节剂0.1‑5份，粘度调节剂0.1‑5份，润滑剂1‑50份，消泡剂0.0001‑0.5份，水10‑90份。相较于现有的半悬浮或无悬浮状态的研磨液，本发明产品具有更好的产品品质观感；将其应用于研磨加工时性能稳定，有更好的加工效率和加工表面质量；应用于研磨抛光液的批量化生产时，无沉降聚集造成灌装不均的隐忧，可实现批量化稳定生产。
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公开(公告)号：CN117210198A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311192157.4
申请日：2023-09-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种研磨液，其主要由以下重量份数的原料组成：油40‑80份，磨料5‑60份，研磨缓冲增粘剂1‑30份，络合沉淀剂0.01‑5份。本发明还提供了该研磨液产品的制备方法。本发明研磨液具备油性高含量缓冲增粘特性，用于立式曲面对磨加工时可有效解决刚性高温对磨、无承载缓冲、无润滑支撑、难以均匀分布、存留难流失多等问题，降低过程流失率，提升研磨液有效利用率，稳定研磨加工均匀性，降低划伤等不必要缺陷风险。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105440953A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510744226.7
申请日：2015-11-04
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种磨料持续悬浮的水性金刚石研磨液及其制备方法，属于精密、超精密研磨加工技术领域。该研磨液由以下质量份数的组分组成：金刚石磨料0.1～5份，烷基酚聚氧乙烯醚0.01～2份，改性聚脲的N-甲基吡咯烷酮1～5份，N-甲基吡咯烷酮1～5份，有机溶剂30～60份，水23～67.89份。本发明通过表面改性的方法即用烷基酚聚氧乙烯醚改性金刚石磨料，使得改性后的金刚石磨料能稳定吸附在改性聚脲的N-甲基吡咯烷酮的分子链上，二者间的结合力增强，同时利用改性聚脲的N-甲基吡咯烷酮分子的空间网络结构，阻碍金刚石磨料沉降聚集，实现其持续悬浮，节省研磨液在使用前的混匀操作，提高使用的便利性。
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公开(公告)号：CN115725242B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202211577200.4
申请日：2022-12-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高效低损伤金刚石研磨液，由以下重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份；反应型增稠剂1‑10份；减粘流平剂0.1‑5份；润滑剂1‑20份；消泡剂0.001‑0.1份；水：10‑90份。该金刚石研磨液用于双面研磨时，可均匀分布于硬质研磨盘面，无返稀或分布缺失问题发生，可减少划伤产生，避免局部温度过高造成几何参数失控；同时其增稠减粘特性，在形成软性缓冲层保障效率抑制划伤的同时，也可实现研磨液的及时更新，稳定研磨加工性能。
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公开(公告)号：CN113267425A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110708474.1
申请日：2021-06-25
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N11/12
Abstract: 本发明提出了一种半固体挤压磨料流软硬度的测试装置及其测试方法，用以解决现有生产中缺乏统一的半固体挤压磨料流产品的软硬度的检测器具和检测方法以及产品合格率较低、加工一致性和加工精度难以控制的技术问题。本发明包括夹持机构、温度控制机构、测试棒、试样筒和计时测量机构；夹持机构固定连接在温度控制机构上，测试棒通过导向机构设置在夹持机构上，测试棒上端与夹持机构相连接，试样筒固定在温度控制机构内，测试棒下端与试样筒相匹配，计时测量机构与夹持机构相连接，计时测量机构与测试棒相匹配。本发明能够为挤压磨料流产品的生产和应用提供可靠性指导，提升挤压磨料流产品质量，改善加工的一次合格率，减少返工返修和报废。
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公开(公告)号：CN105440953B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201510744226.7
申请日：2015-11-04
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种磨料持续悬浮的水性金刚石研磨液及其制备方法，属于精密、超精密研磨加工技术领域。该研磨液由以下质量份数的组分组成：金刚石磨料0.1～5份，烷基酚聚氧乙烯醚0.01～2份，改性聚脲的N‑甲基吡咯烷酮1～5份，N‑甲基吡咯烷酮1～5份，有机溶剂30～60份，水23～67.89份。本发明通过表面改性的方法即用烷基酚聚氧乙烯醚改性金刚石磨料，使得改性后的金刚石磨料能稳定吸附在改性聚脲的N‑甲基吡咯烷酮的分子链上，二者间的结合力增强，同时利用改性聚脲的N‑甲基吡咯烷酮分子的空间网络结构，阻碍金刚石磨料沉降聚集，实现其持续悬浮，节省研磨液在使用前的混匀操作，提高使用的便利性。
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公开(公告)号：CN115926747A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211571493.5
申请日：2022-12-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14 , C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及一种浓缩型水性研磨助剂，其由以下重量份数的原料组成：去离子水30‑50份，复合型触变剂5‑10份，乳液稳定剂5‑10份，润滑剂20‑30份，杀菌剂1‑5份，消泡剂1‑5份。将本发明浓缩型水性研磨助剂应用于碳化硅、氮化镓晶圆研磨加工，可大大降低直接使用金刚石研磨液成品的加工成本；同时可对金刚石磨料颗粒进行快速分散悬浮，并形成具有触变特性的稳定悬浮液。润滑剂在使用过程中可以有效降低研磨过程中的摩擦阻力，增加润滑性，有效改善研磨表面质量，并大大缩短后道晶圆抛光时间。
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