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公开(公告)号：CN113265224B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110471142.6
申请日：2021-04-29
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14
Abstract: 本发明涉及一种喷雾型金刚石研磨液，其由以下重量份数的原料组成：水50‑85份，金刚石微粉0.5‑15份，复配型乳化分散剂0.1‑5份，复配型液体增粘剂0.2‑5份，保水剂10‑40份，消泡剂0.001‑0.1份。将该研磨液用于喷雾供液系统时，可有效减少雾化飞散液滴的产生，并可加速液滴沉降，在提升研磨液利用率的同时可以显著避免雾化吸入，从而降低对操作人员的身心伤害。
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公开(公告)号：CN115926747B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211571493.5
申请日：2022-12-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14 , C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及一种浓缩型水性研磨助剂，其由以下重量份数的原料组成：去离子水30‑50份，复合型触变剂5‑10份，乳液稳定剂5‑10份，润滑剂20‑30份，杀菌剂1‑5份，消泡剂1‑5份。将本发明浓缩型水性研磨助剂应用于碳化硅、氮化镓晶圆研磨加工，可大大降低直接使用金刚石研磨液成品的加工成本；同时可对金刚石磨料颗粒进行快速分散悬浮，并形成具有触变特性的稳定悬浮液。润滑剂在使用过程中可以有效降低研磨过程中的摩擦阻力，增加润滑性，有效改善研磨表面质量，并大大缩短后道晶圆抛光时间。
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公开(公告)号：CN117186839A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311024548.5
申请日：2023-08-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14 , B01F27/112 , B01F27/192 , B01F27/90 , C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种高粘度研磨液稳定化生产工艺，其包括如下步骤：S1.将高粘度助剂进行溶胀、溶解、活化、真空脱泡预处理，获得浓度≤5%的高粘度助剂溶液，备用；S2.将部分溶剂与全部磨料混合，超声分散，形成分散液；S3.向分散液中加入乳化剂、消泡剂，并补足剩余的溶剂，匀化1‑10min；S4.加入步骤S1预处理后获得的高粘助剂溶液，匀化1‑30min，即得。采用本发明高粘度研磨液稳定化生产工艺及匀化装置，可有效降低批次间的粘度差异，以及长时间放置时的粘度波动。
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公开(公告)号：CN115746789A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211588554.9
申请日：2022-12-12
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种稳定全悬浮研磨用金刚石研磨液，其由下述重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份，密度调节剂1‑50份，悬浮剂0.01‑10份，流动性调节剂0.1‑5份，粘度调节剂0.1‑5份，润滑剂1‑50份，消泡剂0.0001‑0.5份，水10‑90份。相较于现有的半悬浮或无悬浮状态的研磨液，本发明产品具有更好的产品品质观感；将其应用于研磨加工时性能稳定，有更好的加工效率和加工表面质量；应用于研磨抛光液的批量化生产时，无沉降聚集造成灌装不均的隐忧，可实现批量化稳定生产。
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公开(公告)号：CN113265224A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110471142.6
申请日：2021-04-29
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14
Abstract: 本发明涉及一种喷雾型金刚石研磨液，其由以下重量份数的原料组成：水50‑85份，金刚石微粉0.5‑15份，复配型乳化分散剂0.1‑5份，复配型液体增粘剂0.2‑5份，保水剂10‑40份，消泡剂0.001‑0.1份。将该研磨液用于喷雾供液系统时，可有效减少雾化飞散液滴的产生，并可加速液滴沉降，在提升研磨液利用率的同时可以显著避免雾化吸入，从而降低对操作人员的身心伤害。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115725242B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202211577200.4
申请日：2022-12-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高效低损伤金刚石研磨液，由以下重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份；反应型增稠剂1‑10份；减粘流平剂0.1‑5份；润滑剂1‑20份；消泡剂0.001‑0.1份；水：10‑90份。该金刚石研磨液用于双面研磨时，可均匀分布于硬质研磨盘面，无返稀或分布缺失问题发生，可减少划伤产生，避免局部温度过高造成几何参数失控；同时其增稠减粘特性，在形成软性缓冲层保障效率抑制划伤的同时，也可实现研磨液的及时更新，稳定研磨加工性能。
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公开(公告)号：CN115746789B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202211588554.9
申请日：2022-12-12
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种稳定全悬浮研磨用金刚石研磨液，其由下述重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份，密度调节剂1‑50份，悬浮剂0.01‑10份，流动性调节剂0.1‑5份，粘度调节剂0.1‑5份，润滑剂1‑50份，消泡剂0.0001‑0.5份，水10‑90份。相较于现有的半悬浮或无悬浮状态的研磨液，本发明产品具有更好的产品品质观感；将其应用于研磨加工时性能稳定，有更好的加工效率和加工表面质量；应用于研磨抛光液的批量化生产时，无沉降聚集造成灌装不均的隐忧，可实现批量化稳定生产。
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公开(公告)号：CN117210198A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311192157.4
申请日：2023-09-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种研磨液，其主要由以下重量份数的原料组成：油40‑80份，磨料5‑60份，研磨缓冲增粘剂1‑30份，络合沉淀剂0.01‑5份。本发明还提供了该研磨液产品的制备方法。本发明研磨液具备油性高含量缓冲增粘特性，用于立式曲面对磨加工时可有效解决刚性高温对磨、无承载缓冲、无润滑支撑、难以均匀分布、存留难流失多等问题，降低过程流失率，提升研磨液有效利用率，稳定研磨加工均匀性，降低划伤等不必要缺陷风险。
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公开(公告)号：CN115926747A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211571493.5
申请日：2022-12-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14 , C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及一种浓缩型水性研磨助剂，其由以下重量份数的原料组成：去离子水30‑50份，复合型触变剂5‑10份，乳液稳定剂5‑10份，润滑剂20‑30份，杀菌剂1‑5份，消泡剂1‑5份。将本发明浓缩型水性研磨助剂应用于碳化硅、氮化镓晶圆研磨加工，可大大降低直接使用金刚石研磨液成品的加工成本；同时可对金刚石磨料颗粒进行快速分散悬浮，并形成具有触变特性的稳定悬浮液。润滑剂在使用过程中可以有效降低研磨过程中的摩擦阻力，增加润滑性，有效改善研磨表面质量，并大大缩短后道晶圆抛光时间。
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公开(公告)号：CN115725242A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211577200.4
申请日：2022-12-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高效低损伤金刚石研磨液，由以下重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份；反应型增稠剂1‑10份；减粘流平剂0.1‑5份；润滑剂1‑20份；消泡剂0.001‑0.1份；水：10‑90份。该金刚石研磨液用于双面研磨时，可均匀分布于硬质研磨盘面，无返稀或分布缺失问题发生，可减少划伤产生，避免局部温度过高造成几何参数失控；同时其增稠减粘特性，在形成软性缓冲层保障效率抑制划伤的同时，也可实现研磨液的及时更新，稳定研磨加工性能。
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