互连界面处的有源器件层
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117136435A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202280024942.6

    申请日:2022-03-24

    Abstract: 一种管芯组件,包括:第一部件层,具有绝缘体中的导电穿透连接;第二部件层,包括管芯;以及有源器件层(ADL),在所述第一部件层与所述第二部件层之间的界面处。所述ADL包括:有源元件,电耦合到所述第一部件层和所述第二部件层。所述管芯组件进一步包括:接合层,将所述ADL电耦合到所述第二部件层。在一些实施例中,所述管芯组件进一步包括:另一ADL,在所述第一部件层与同所述界面相对的封装支撑物之间的另一界面处。所述第一部件层可以包括具有穿透衬底通孔(TSV)的另一管芯。所述管芯和所述另一管芯可以是使用不同工艺节点来制造的。

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