一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法

    公开(公告)号:CN108681626A

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201810384669.3

    申请日:2018-04-24

    Applicant: 苏州大学

    CPC classification number: G06F17/5009 H01J37/32

    Abstract: 本发明公开了一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法,结合射频微波中的能量传输和阻抗匹配理论和等离子体放电的物理机制,通过ADS软件模拟的方式对匹配状态进行预测和计算,根据实际调节元件的参数对匹配箱进行合理设计,从而在进行等离子体放电实验时快速调节阻抗匹配。本发明匹配调节用时短、成本低,具有普适性,对所有放电条件均能够提供调节匹配指导方案,为自动匹配技术提供发展方向。

    一种抑制二次电子发射的器件

    公开(公告)号:CN104241061B

    公开(公告)日:2017-05-03

    申请号:CN201410507722.6

    申请日:2014-09-28

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明涉及一种抑制二次电子发射的材料,包括石墨壁和碳纤维,所述碳纤维垂直均匀分布在所述石墨壁表面上。本发明电子轰击石墨壁产生二次电子,且二次电子从石墨壁表面以不同角度发射出来,经过碳纤维的多次发射与吸收,能够返回真空的数目所剩无几,这样二次电子的发射系数远小于1,接近于零,那么就起到抑制二次电子发射的作用,低二次电子发射明显增加了壁电势,降低了从等离子体到壁的电子热通量,抑制了壁加热、壁蒸发和等离子体冷却,不会改变壁的特性和等离子体性质。

    一种发射探针
    13.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206042496U

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201621066369.3

    申请日:2016-09-21

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种发射探针,包括陶瓷管、一根第一钨丝、第二钨丝组、第三钨丝组和直流电源,第二钨丝组包括多根第二钨丝,第三钨丝组包括多根第三钨丝,陶瓷管沿轴向设置有第一通孔和第二通孔,第一钨丝弯曲后两端分别穿过所述第一通孔、第二通孔,第一钨丝的弯曲部伸出第一通孔或第二通孔的长度为3-8mm,多根第二钨丝插入第一通孔内,多根第三钨丝插入第二通孔内,第一钨丝的一端和多根第二钨丝均与直流电源的正极相连接,第一钨丝的另一端和多根第三钨丝均与直流电源的负极相连接。本实用新型结构简单可靠,提高了探针发射电子的效率,使得I-V特性曲线拐点更明显,第一磁芯和第二磁芯的设置减小了电磁干扰及谐波干扰,使得测量结果更加精确。

    ICP增强多靶磁控溅射装置
    14.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205803587U

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201620802147.7

    申请日:2016-07-28

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种ICP增强多靶磁控溅射装置,包括真空室、设于真空室顶部的三个溅射靶、设于真空室内的ICP线圈和基片台以及与真空室相连通的泵机组,三个溅射靶的直径均为60mm,三个溅射靶的轴线与水平面之间的夹角均为20°-50°,三个溅射靶沿周向均匀间隔分布,三个溅射靶均聚焦于基片台的中心,三个溅射靶分别与第一射频电源、第二射频电源、第三射频电源相连接,ICP线圈设于溅射靶与基片台之间,ICP线圈连接有第四射频电源,基片台连接有直流稳压电源。本实用新型拥有三个溅射靶,三个溅射靶靶位中心聚焦于基片台中心,实现了共聚焦磁控溅射,可获得均匀、较大面积的薄膜,制备出的薄膜致密、纯度高。

    大气压辉光等离子体发生装置及纺织材料处理装置

    公开(公告)号:CN206977777U

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:CN201720745630.0

    申请日:2017-06-26

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种大气压辉光等离子体发生装置,包括沿水平向平行排列的多个石英管,相邻石英管紧密接触,每个石英管内均插入有丝状电极,丝状电极与石英管紧密接触,相邻两个丝状电极分别与高压交流电源、地相连接,处于最边缘的两个丝状电极均与地相连接。本实用新型还涉及一种纺织材料处理装置。本实用新型具有以下有益效果:采用大气压辉光放电模式,产生的等离子体更加均匀,处理效果优于丝状放电的等离子体;特殊结构的双介质DBD放电电极设计,抑制电弧放电效果显著,即使在高电压下也不易击穿,放电间隙小,低电压下也不容易形成丝状的DBD放电,有效的降低了产生辉光放电所需的维持电压;成功产生米量级均匀大气压辉光放电等离子体。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种纺织材料处理机
    16.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207531151U

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201721581568.2

    申请日:2017-11-23

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种纺织材料处理机,包括下腔体、承载板、上腔体以及位于上腔体内的等离子体产生装置,下腔体的左右两侧分别固定有左支撑座、右支撑座,左支撑座、右支撑座上分别安装有左支撑板、右支撑板,左支撑板、右支撑板上分别设置有放卷组件、收卷组件,上腔体的左右两侧分别设置有进料口、出料口,进料口与出料口相对设置,承载板上设置有至少一个过线孔。本实用新型通过上腔体容纳等离子体产生装置,避免石英管的破碎,通过下腔体容纳高压交流电源等部件;将等离子体产生装置产生的臭氧控制在上腔体内,避免臭氧的逸散对操作人员的伤害;在处理过程中,操作人员能够通过上腔体和下腔体观察处理进程,实时掌控处理进程。

    空气等离子体处理汽车尾气的装置

    公开(公告)号:CN206111283U

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201621070340.2

    申请日:2016-09-22

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种空气等离子体处理汽车尾气的装置,包括高压直流电源、相对设置的两个绝缘板,其中一个所述绝缘板上设置有至少一个尾气进口,另一个所述绝缘板上设置有至少一个尾气出口,两个所述绝缘板之间设置有接地电极和多个导电管,所述接地电极与所述高压直流电源的接地端相连接,多个所述导电管均与所述高压直流电源的高压端相连接,多个所述导电管呈环状分布,每个所述导电管沿长度方向均设置有多个钢针。本实用新型可以获得放电密度分布均匀、体积较大的等离子体,获得较大的处理空间;能够快速将本装置安装到汽车排气管上,随时随地方便汽车尾气的处理;能够实现车载化;高效分解且处理能耗低,在汽车尾气处理方面具有极强的应用前景。

    一种磁探针
    18.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206042495U

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201621066372.5

    申请日:2016-09-21

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种磁探针,包括双绞线、骨架、陶瓷套管、支架和传送杆,所述双绞线绕设在骨架上,双绞线的两自由端缠绕在一起并穿过陶瓷套管,所述陶瓷套管呈L形,所述陶瓷套管包括连接的第一套管和第二套管,所述第一套管的一端与所述骨架固定,所述第二套管的一端与所述支架固定,所述支架与所述传送杆固定。本实用新型具有以下有益效果:探头与轴垂直,通过伸缩传送杆和旋转传送杆,不仅能够测出轴向上磁场的变化,还可方便测出环向磁场的变化,从而可分析出等离子体空间分布是否均匀;位置灵活,可测出不同位置处的磁场波动,避免了多个探针测量过程中对等离子体的干扰;尺寸小,杂散面积小,灵敏度较高,并且有较高的信噪比。

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