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公开(公告)号：CN104689692B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201510144834.4
申请日：2015-03-31
Applicant: 苏州大学
IPC: B01D53/32
Abstract: 本发明涉及一种空气等离子体处理废气的装置，包括高压交流电源、壳体、安装在所述壳体上的两个第一介质板以及设置在所述壳体内的接地电极，所述壳体的两端分别设置有废气进口和废气出口，每个所述第一介质板上均安装有高压电极，所述高压电极包括导电管、一端伸入所述导电管内的毛细管，所述导电管的至少一端设置有空气进口，所述导电管与所述高压交流电源的高压端相连接，所述接地电极与所述高压交流电源的接地端相连接，所述毛细管的另一端与所述壳体相通。本发明还涉及一种空气等离子体处理废气的方法。使用本发明的装置及方法，具有高效分解且处理能耗低的特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
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公开(公告)号：CN104689692A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510144834.4
申请日：2015-03-31
Applicant: 苏州大学
IPC: B01D53/32
Abstract: 本发明涉及一种空气等离子体处理废气的装置，包括高压交流电源、壳体、安装在所述壳体上的两个第一介质板以及设置在所述壳体内的接地电极，所述壳体的两端分别设置有废气进口和废气出口，每个所述第一介质板上均安装有高压电极，所述高压电极包括导电管、一端伸入所述导电管内的毛细管，所述导电管的至少一端设置有空气进口，所述导电管与所述高压交流电源的高压端相连接，所述接地电极与所述高压交流电源的接地端相连接，所述毛细管的另一端与所述壳体相通。本发明还涉及一种空气等离子体处理废气的方法。使用本发明的装置及方法，具有高效分解且处理能耗低的特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
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公开(公告)号：CN105338723B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201510645834.2
申请日：2015-10-09
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种高压高频源驱动的DBD等离子体放电装置，包括高压电源、地电极、支架、进气管、多个放电管和高压电极，高压电源包括驱动电路、辅助电源以及依次电连接的整流电路、逆变电路和变压器，驱动电路与逆变电路电连接，辅助电源给驱动电路供电，支架包括中空的筒体、依次间隔设于筒体内且与筒体密封连接的第一支板、第二支板、第三支板，进气管穿过第三支板、第二支板，放电管包括同心圆式的外石英管和内石英管，外石英管的一端穿过第一支板，进气管与外石英管连通，内石英管的一端穿过第二支板，高压电极包括极板、与极板连接的多个铜棒，极板与变压器的输出端相连接，铜棒穿过第三支板插入内石英管内。本发明放电效率高、稳定、均匀。
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公开(公告)号：CN106246296A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610839872.6
申请日：2016-09-22
Applicant: 苏州大学
IPC: F01N3/01
CPC classification number: F01N3/01
Abstract: 本发明涉及一种空气等离子体处理汽车尾气的装置，包括高压直流电源、相对设置的两个绝缘板，其中一个所述绝缘板上设置有至少一个尾气进口，另一个所述绝缘板上设置有至少一个尾气出口，两个所述绝缘板之间设置有接地电极和多个导电管，所述接地电极与所述高压直流电源的接地端相连接，多个所述导电管均与所述高压直流电源的高压端相连接，多个所述导电管呈环状分布，每个所述导电管沿长度方向均设置有多个钢针。本发明还涉及一种空气等离子体处理汽车尾气的方法。本发明可以获得较大的处理空间；能够快速将本装置安装到汽车排气管上，随时随地方便汽车尾气的处理；能够实现车载化；高效分解且处理能耗低。
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公开(公告)号：CN108681626B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201810384669.3
申请日：2018-04-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法，结合射频微波中的能量传输和阻抗匹配理论和等离子体放电的物理机制，通过ADS软件模拟的方式对匹配状态进行预测和计算，根据实际调节元件的参数对匹配箱进行合理设计，从而在进行等离子体放电实验时快速调节阻抗匹配。本发明匹配调节用时短、成本低，具有普适性，对所有放电条件均能够提供调节匹配指导方案，为自动匹配技术提供发展方向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106048531A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610604584.2
申请日：2016-07-28
Applicant: 苏州大学
CPC classification number: C23C14/352 , C23C14/083 , C23C14/358
Abstract: 本发明涉及一种ICP增强多靶磁控溅射装置，包括真空室、设于真空室顶部的三个溅射靶、设于真空室内的ICP线圈和基片台以及与真空室相连通的泵机组，三个溅射靶的直径均为60mm，三个溅射靶的轴线与水平面之间的夹角均为20°‑50°，三个溅射靶沿周向均匀间隔分布，三个溅射靶均聚焦于基片台的中心，三个溅射靶分别与第一射频电源、第二射频电源、第三射频电源相连接，ICP线圈设于溅射靶与基片台之间，ICP线圈连接有第四射频电源，基片台连接有直流稳压电源。本发明还涉及一种使用该装置制备TiO2薄膜的方法。本发明拥有三个溅射靶，三个溅射靶靶位中心聚焦于基片台中心，实现了共聚焦磁控溅射，可获得均匀、较大面积的薄膜，制备出的薄膜致密、纯度高。
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公开(公告)号：CN104241061A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410507722.6
申请日：2014-09-28
Applicant: 苏州大学
IPC: H01J1/14
Abstract: 本发明涉及一种抑制二次电子发射的材料，包括石墨壁和碳纤维，所述碳纤维垂直均匀分布在所述石墨壁表面上。本发明电子轰击石墨壁产生二次电子，且二次电子从石墨壁表面以不同角度发射出来，经过碳纤维的多次发射与吸收，能够返回真空的数目所剩无几，这样二次电子的发射系数远小于1，接近于零，那么就起到抑制二次电子发射的作用，低二次电子发射明显增加了壁电势，降低了从等离子体到壁的电子热通量，抑制了壁加热、壁蒸发和等离子体冷却，不会改变壁的特性和等离子体性质。
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公开(公告)号：CN106246296B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201610839872.6
申请日：2016-09-22
Applicant: 苏州大学
IPC: F01N3/01
Abstract: 本发明涉及一种空气等离子体处理汽车尾气的装置，包括高压直流电源、相对设置的两个绝缘板，其中一个所述绝缘板上设置有至少一个尾气进口，另一个所述绝缘板上设置有至少一个尾气出口，两个所述绝缘板之间设置有接地电极和多个导电管，所述接地电极与所述高压直流电源的接地端相连接，多个所述导电管均与所述高压直流电源的高压端相连接，多个所述导电管呈环状分布，每个所述导电管沿长度方向均设置有多个钢针。本发明还涉及一种空气等离子体处理汽车尾气的方法。本发明可以获得较大的处理空间；能够快速将本装置安装到汽车排气管上，随时随地方便汽车尾气的处理；能够实现车载化；高效分解且处理能耗低。
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公开(公告)号：CN107124812A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710492001.6
申请日：2017-06-26
Applicant: 苏州大学
CPC classification number: H05H1/2406 , D06M10/025
Abstract: 本发明涉及一种大气压辉光等离子体发生装置，包括沿水平向平行排列的多个石英管，相邻石英管紧密接触，每个石英管内均插入有丝状电极，丝状电极与石英管紧密接触，相邻两个丝状电极分别与高压交流电源、地相连接，处于最边缘的两个丝状电极均与地相连接。本发明还涉及一种纺织材料处理装置。本发明具有以下有益效果：采用大气压辉光放电模式，产生的等离子体更加均匀，处理效果优于丝状放电的等离子体；特殊结构的双介质DBD放电电极设计，抑制电弧放电效果显著，即使在高电压下也不易击穿；放电间隙小，低电压下也不容易形成丝状的DBD放电，有效的降低了产生辉光放电所需的维持电压；成功产生米量级均匀大气压辉光放电等离子体。
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公开(公告)号：CN105338723A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510645834.2
申请日：2015-10-09
Applicant: 苏州大学
CPC classification number: H05H1/2406 , H02M5/458 , H05H1/46 , H05H2001/2431
Abstract: 本发明涉及一种高压高频源驱动的DBD等离子体放电装置，包括高压电源、地电极、支架、进气管、多个放电管和高压电极，高压电源包括驱动电路、辅助电源以及依次电连接的整流电路、逆变电路和变压器，驱动电路与逆变电路电连接，辅助电源给驱动电路供电，支架包括中空的筒体、依次间隔设于筒体内且与筒体密封连接的第一支板、第二支板、第三支板，进气管穿过第三支板、第二支板，放电管包括同心圆式的外石英管和内石英管，外石英管的一端穿过第一支板，进气管与外石英管连通，内石英管的一端穿过第二支板，高压电极包括极板、与极板连接的多个铜棒，极板与变压器的输出端相连接，铜棒穿过第三支板插入内石英管内。本发明放电效率高、稳定、均匀。
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