公开(公告)号：CN108681626A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810384669.3

申请日：2018-04-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 葛鸿宇 ,  胡一波 ,  吴雪梅

IPC: G06F17/50 ,  H01J37/32

CPC classification number: G06F17/5009 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明公开了一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法，结合射频微波中的能量传输和阻抗匹配理论和等离子体放电的物理机制，通过ADS软件模拟的方式对匹配状态进行预测和计算，根据实际调节元件的参数对匹配箱进行合理设计，从而在进行等离子体放电实验时快速调节阻抗匹配。本发明匹配调节用时短、成本低，具有普适性，对所有放电条件均能够提供调节匹配指导方案，为自动匹配技术提供发展方向。

公开(公告)号：CN108681626B

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN201810384669.3

申请日：2018-04-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 葛鸿宇 ,  胡一波 ,  吴雪梅

IPC: G06F30/20 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明公开了一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法，结合射频微波中的能量传输和阻抗匹配理论和等离子体放电的物理机制，通过ADS软件模拟的方式对匹配状态进行预测和计算，根据实际调节元件的参数对匹配箱进行合理设计，从而在进行等离子体放电实验时快速调节阻抗匹配。本发明匹配调节用时短、成本低，具有普适性，对所有放电条件均能够提供调节匹配指导方案，为自动匹配技术提供发展方向。