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公开(公告)号：CN1974216A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610163145.9
申请日：2006-11-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1631 , B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明提供一种可使喷嘴高密度化且可防止喷嘴间的压力干涉的液滴喷出头及其制造方法。该液滴喷出头为四层结构，其具备：喷嘴衬底(1)，其具有多个喷嘴孔(11)；腔衬底(3)，其具有与各喷嘴孔(11)连通且在室内产生压力从而从所述喷嘴孔(11)喷出液滴的多个独立的喷出室(31)；储藏室衬底(2)，其具有与所述喷出室(31)共同连通的储藏室(23)，其中，设有使储藏室衬底(2)的一部分薄壁化的隔膜部(25)，所述隔膜部(25)构成了形成储藏室(23)的壁面。
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公开(公告)号：CN1824508A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200610004142.0
申请日：2006-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2002/14411 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种能够实现喷嘴等的多列化，且体积小、耐久性优良的液滴喷出头等。该液滴喷出头具有：形成有多个喷嘴孔(16)的喷嘴基板(5)；腔室基板(3)，其由底壁形成振动板(11)，并形成了成为喷出室(12)的凹部(12a)；电极基板(2)，其形成有与振动板(11)相对置的分立电极(7)；贮液槽基板(4)，其具有凹部(13a)、贯通孔(14)、和喷嘴连通孔(15)；和向分立电极(7)供给驱动信号的驱动IC(20)，在腔室基板(3)上设有第1孔部(21)，在贮液槽基板(4)上设有第2孔部(23)，通过连通第1孔部(21)和第2孔部(23)而形成收纳部(24)，驱动IC(20)被收纳在收纳部(24)内。
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公开(公告)号：CN1820947A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610004250.8
申请日：2006-02-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种静电激励器，具备：构成一方的电极的振动板(12)、和形成与振动板(12)隔着间隙(20)对置的对置电极(17)的电极基板(3)，对置电极(17)在形成于电极基板(3)上的平面形状为大致长方形的槽部(19)中形成，且静电激励器形成为随着向槽部(19)的长边方向的中央部，间隙(20)变大的多段的面。这样便提供一种以很低的驱动电压便可驱动的静电激励器以及其制造方法、应用该静电激励器的液滴喷头以及其制造方法、搭载该液滴喷头的液滴喷吐装置、搭载所述静电激励器的设备。
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公开(公告)号：CN112114426A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010560459.2
申请日：2020-06-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 提供在抑制可靠性降低的同时能够实现小型化的波长可变干涉滤波器。波长可变干涉滤波器具备设置有第一反射镜及第一电极的第一基板、设置有与第一反射镜对应的第二反射镜及与第一电极相对的第二电极的第二基板及接合第一基板和第二基板的接合部，第一基板包括用于配置第一反射镜的可动部、以使可动部能够在Z方向上移动的方式保持可动部的膜片部和设置于膜片部的外侧的外周部，膜片部包括厚度均匀的平坦部和在Z方向上的厚度从平坦部朝向外周部逐渐增大的第一倾斜部，第一电极以从平坦部遍及到第一倾斜部的方式射置，第一电极的为与第一反射镜为相反侧的边缘的外侧边缘位于第一倾斜部，接合部以从第一倾斜部的一部分遍及到外周部的方式设置。
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公开(公告)号：CN105467577B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201510628093.7
申请日：2015-09-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率下降的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。光学滤波器器件(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有彼此相对的一对反射膜和作为设有一对反射膜中任一反射膜的基板的固定基板(51)；底座(620)，固定基板(51)固定于底座(620)；以及固定部件(624)，将固定基板(51)的一处固定于底座(620)，其中，固定基板(51)的表面中的除被固定部件(624)固定以外的面与底座(620)隔着间隙(间隙(CL1))而配置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102135662B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201110025457.4
申请日：2011-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松野靖史
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/51 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备，该光滤波器具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。
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公开(公告)号：CN104865694A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510087877.3
申请日：2015-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J1/0214 , G01J1/0271 , G01J1/0488 , G01J1/32 , G01J3/0291 , G01J3/26 , G01J3/506 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及光学模块以及电子设备。光学模块(3)具备：电路基板(33)，具有凹部(331)及平面部(332)；光传感器(34)，设置在空间(S)内；及光学滤波器装置(600)，在内部收纳有波长可变干涉滤波器(5)，并具有基座(620)及第一玻璃部件(627)，基座(620)具有来自波长可变干涉滤波器(5)的出射光所通过的光通过孔(623)并接合于平面部(332)，第一玻璃部件(627)设置于光通过孔(623)并位于空间(S)内，第一玻璃部件(627)与光传感器(34)的距离(L3)被设定为从波长可变干涉滤波器(5)射出的光在第一玻璃部件(627)与光传感器(34)之间不发生干涉的距离。
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公开(公告)号：CN103941315A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410030614.4
申请日：2014-01-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B27/0006 , G01J3/0229 , G01J3/0291 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B5/284 , G02B7/008 , G02B26/001 , H01L27/14618 , H01L27/14621 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 提供一种光学元件收纳用包装、光学模块及滤波器装置、电子设备。该光学元件收纳用包装（100）具有收纳光学元件（标准具（1））的收纳部（2），还具备：基部（10），其构成所述收纳部（2）的底部；侧壁部（20），与所述基部（10）一体成形并构成所述收纳部（2）的侧面部；以及第一盖部（30），接合至所述侧壁部（20）以覆盖收纳部（2），构成与收纳部（2）的底部相对的顶部，并密封所述顶部，其中，所述第一盖部（30）由透光性部件构成。
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公开(公告)号：CN102902059A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210251682.4
申请日：2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0208 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G01J3/32 , G01J3/44 , G01J3/51 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，形成于固定基板的与可动基板相对的面；第二反射膜，设置于可动基板，并与第一反射膜有间隙地对置；第一电极，设置于固定基板的与可动基板相对的面；第二电极，设置于可动基板，并与第一电极相对；接合部，设置于固定基板和可动基板互相对置的面，接合固定基板与可动基板；以及槽部，设置于固定基板和可动基板彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间与外部经由槽部连通。
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公开(公告)号：CN102798972A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210144872.6
申请日：2012-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J1/04 , G01J1/0488 , G01J3/26 , G01J2003/1247 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器模块以及光分析装置，该滤光器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，设置在固定基板的与可动基板相对的面上；第二反射膜，设置在可动基板上，隔着间隙与第一反射膜相对；第一电极，覆盖所述第一反射膜，延伸至第一反射膜的外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在可动基板的与固定基板相对的面上，并与第一电极的一部分相对，其中，第一电极由透光性材料形成，第一电极与第二反射膜电连接，处于等电位。
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