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公开(公告)号：CN104596490B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201410601623.4
申请日：2014-10-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松尾敦司
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明涉及一种振动片及其制造方法、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片具有检测部，所述检测部在检测时沿着压电体的厚度方向进行振动。检测部具有：第一主面(11)以及第二主面(12)，其在厚度方向Z上对置；外侧面；槽部，其在从被形成于第一主面上的开口起的深度方向上于第一主面与第二主面之间的位置处具有槽底；外侧面电极，其被形成于外侧面上；内侧面电极，其被形成于与外侧面对置的内侧面上。外侧面电极包括在厚度方向上位于第二主面侧的端面。在外侧面中的至少一个上，于从端面到第二主面的区域内，具有未形成有外侧面电极的电极非形成区域。
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公开(公告)号：CN104949666B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201510130881.3
申请日：2015-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5649
CPC classification number: G01L1/162 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01C19/5621 , G01L1/106 , H01L41/094
Abstract: 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。
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公开(公告)号：CN105789140A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610018706.X
申请日：2016-01-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L23/053 , G01C19/56
Abstract: 本发明提供一种振动元件的制造方法、振动元件、电子装置、电子设备及移动体。并提供一种提高振动元件的成品率和生产率而使制造成本下降的制造方法。作为振动元件的陀螺仪元件(100)的制造方法为，对水晶基板(10)进行加工而形成具有振动臂的陀螺仪元件(100)的外形以及在振动臂上形成凹部(58a、58b)的方法，且包括：外形形成工序，通过干蚀刻而从水晶基板(10)的一个面形成陀螺仪元件(100)的外形；凹部形成工序，通过湿蚀刻而形成凹部(58a、58b)。
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公开(公告)号：CN117639712A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311100870.1
申请日：2023-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件，降低支承应力对振动的影响，抑制主振动的泄漏。振动器件具有：振动片；容器，其收纳振动片；以及粘接部件，其将振动片与容器接合，振动片具有：振动部，其包含设置有第一激励电极的第一主面、设置有第二激励电极且与第一主面处于正反关系的第二主面、以及在沿着通过第一激励电极和第二激励电极激励出的厚度剪切振动的移位方向的第一方向上延伸的侧面，将与第一方向交叉的方向即第二方向作为长度方向；连结臂，其从振动部的侧面向第二方向延伸；以及支承部，其包含从连结臂向第一方向延伸的第一支承臂，沿着第一方向延伸，经由粘接部件与容器接合。
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公开(公告)号：CN117478095A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310927250.9
申请日：2023-07-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件和振动器件，能够抑制振动特性的劣化。振动元件具有：振动部、支承部和连结部，并且振动元件具有：第一激励电极，其设置于第一主面；第二激励电极，其设置于第二主面，与第一激励电极一起激励沿着X方向移位的厚度剪切振动；第一支承电极，其设置于支承部，与第一激励电极电连接；第二支承电极，其设置于支承部，与第二激励电极电连接；第一引出布线，其从第一激励电极沿着Z方向引出，将第一激励电极与第一支承电极电连接；以及第二引出布线，其从第二激励电极沿着Z方向引出，将第二激励电极与第二支承电极电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117478070A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310931028.6
申请日：2023-07-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动片、振动装置以及振动片的制造方法，能够提高强度。具备：振动部，其具有第一主面、第二主面、第一侧面和第二侧面；支承部，其与振动部分离配置，具有与振动部的第一侧面对置配置的第一支承侧面和在与第一支承侧面所延伸的方向交叉的方向上延伸的第二支承侧面；以及连结部，其具有与第一侧面及第一支承侧面连接的第一连结面和与第二侧面及第二支承侧面连接的第二连结面，第一连结面在与第一侧面连接的第一部分以及与第一支承侧面连接的第二部分中的至少一方具有曲面。
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公开(公告)号：CN116781028A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310743336.6
申请日：2020-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件以及振荡器，该振动元件以及振荡器的温度检测精度高。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部和第2振动部；一对第1激励电极，它们在第1振动部处形成在石英基板的两个主面上；以及一对第2激励电极，它们在第2振动部处形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成在相对于两个主面中的至少一个主面倾斜的倾斜面上。
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公开(公告)号：CN110176913B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201910121671.6
申请日：2019-02-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松尾敦司
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，减少了与激励电极连接的引出电极的损伤。振动元件具有：第1电极，其配设在基板的正反面中的一个主面的振动部上；以及第2电极，其配设在另一个主面的振动部上，在俯视观察所述基板时，所述基板的外形包含第1侧面和第2侧面，该第1侧面和第2侧面在沿着振动方向的第1方向上延伸，并且在与第1方向交叉的第2方向上排列，将两个主面连接起来，第1侧面和第2侧面具有相对于基板的主面倾斜的倾斜面，第1电极具有配设在第1侧面的倾斜面上的第1引出电极，第2电极具有配设在第2侧面的倾斜面上的第2引出电极，倾斜面与主面所成的角度为52度以上且62度以下。
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公开(公告)号：CN113691227A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110538570.6
申请日：2021-05-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件和振荡器。能够进行高精度的温度补偿。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部、第2振动部和第3振动部；一对第1激励电极，它们形成于石英基板的两个主面；一对第2激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部；以及一对第3激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第3振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第1倾斜面，一对第3激励电极中的至少一个所述第3激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第2倾斜面，第2倾斜面相对于第1倾斜面倾斜。
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公开(公告)号：CN112688654A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011107392.3
申请日：2020-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件以及振荡器，该振动元件以及振荡器的温度检测精度高。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部和第2振动部；一对第1激励电极，它们在第1振动部处形成在石英基板的两个主面上；以及一对第2激励电极，它们在第2振动部处形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成在相对于两个主面中的至少一个主面倾斜的倾斜面上。
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