公开(公告)号：CN103292797A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310061309.7

申请日：2013-02-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: H01L41/1132 ,  G01C19/5621

Abstract: 本发明提供传感器元件、传感器器件以及电子设备，具有优异的检测灵敏度。传感器元件(2)具有：基部(21)；从基部(21)延伸的检测用振动臂(23、24)；以及在检测用振动臂(23、24)上设置的检测部(41～44)，检测部(41～44)分别具有下部电极层、上部电极层以及压电体层，检测部(41、42)的下部电极之间，以及检测部(43、44)的下部电极之间彼此电连接。

公开(公告)号：CN103033175A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210365289.8

申请日：2012-09-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5607 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/113 ,  H01L41/047

CPC classification number: G01C19/5621 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5719

Abstract: 本发明提供传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能简单且可靠发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备：基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸并通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241)，其从基部延伸并随着驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据施加于驱动用振动臂的物理量而输出信号；调节用电极(551、553)，其被设置在调节用振动臂(241)上，且与检测用电极电连接，并随振动臂(241)的振动而输出与检测用电极极性相反的电荷，调节用电极(551)具备：共用部(60)，其与检测用电极电连接；多个分支部(61)，其从共用部(60)分支且沿着调节用振动臂(241)的延伸方向而并排设置。

公开(公告)号：CN107024202A

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201611008275.5

申请日：2016-11-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/5628

CPC classification number: H01L41/0475 ,  G01C19/5607 ,  H01L41/09 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/29 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628

Abstract: 本发明涉及振动装置、振动装置的制造方法、电子设备以及移动体，目的在于对将在被设置于振动臂上的贯穿孔的内侧面的对角的位置处所配置的电极彼此短路的配线的断线进行抑制。振动装置具有第一振动臂(检测臂(3a))，其具有隔着贯穿表面以及背面的贯穿孔(58a)而位于两侧的壁部(3d、3e)，壁部具备两个电极，该两个电极分别被配置在位于贯穿孔的壁部侧的两个内侧面(26h、26i)上，并具有相互不同的电位，且沿着表面以及背面而并排延伸，各个电极中的位于一个内侧面(26i)的表面侧的第一电极(第一检测电极(21a))和位于另一个内侧面(26h)的背面侧的第二电极(第二检测电极(21b))通过被配置在对两个内侧面进行连接的一个端侧面(58c)上的第一配线(25)而被短路。

公开(公告)号：CN104935289A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510119149.6

申请日：2015-03-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/21 ,  H03H9/02 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/21

Abstract: 振动元件、陀螺仪传感器元件、电子器件、电子设备和移动体。为了得到小型化、生产效率高且阻抗低的振动元件，振动元件具有基部以及驱动臂，该驱动臂从基部延伸，设置有贯通孔，其中，驱动臂沿着面内方向振动，并交替地具有面内方向的宽度较大的多个宽幅部以及面内方向的宽度较小的多个窄幅部，贯通孔设置在宽幅部。

公开(公告)号：CN103033176A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210365108.1

申请日：2012-09-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5628

CPC classification number: G01C19/5621

Abstract: 本发明涉及传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备：基部(21)；驱动用振动臂(221、222)；调节用振动臂(241～244)，其随着驱动用振动臂(221、222)的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据被施加于驱动用振动臂(221、222)的物理量而输出电荷；第一调节用电极，其被设置在调节用振动臂(241、242)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出电荷；第二调节用电极，其被设置在调节用振动臂(243、244)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(243、244)的振动而输出与第一调节用电极成为相反极性的电荷。

公开(公告)号：CN102954792A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210279602.6

申请日：2012-08-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生 ,  奥村洋一 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5642

CPC classification number: G01C19/5607

Abstract: 本发明提供一种物理量检测元件、物理量检测装置以及电子设备，其能检测绕X轴、Y轴以及Z轴各个轴的旋转，从而能够用一个振荡电路激励振动。物理量检测元件（1）的特征在于，具备：基部(2)；从基部(2)沿X轴相互向相反方向分别延伸的第一连结部(3a)及第二连结部(3b)；从第一连结部(3a)或第二连结部(3b)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的一对第一驱动振动臂(4a)及第二驱动振动臂(4b)、一对第三驱动振动臂(4c)及第四驱动振动臂(4d)；从第一连结部(3a)倾斜延伸的第一驱动检测振动臂(5a)及第二驱动检测振动臂(5b)；从第二连结部(3b)倾斜延伸的第三驱动检测振动臂(5c)及第四驱动检测振动臂(5d)；从基部(2)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的第一检测振动臂(6a)及第二检测振动臂(6b)。

公开(公告)号：CN103017747B

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201210359359.9

申请日：2012-09-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5628

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5642 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明涉及传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备：驱动用振动臂(221、222)，其通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241、242)，其随着驱动用振动臂(221、222)的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据被施加于驱动用振动臂(221、222)的物理量而输出电荷；第一电极，其被设置于调节用振动臂(241、242)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出电荷；一对第二电极，其被设置于调节用振动臂(241、242)上，且与一对检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出与第一电极成为相反极性的电荷。

公开(公告)号：CN104949666A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510130881.3

申请日：2015-03-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  山口啓一 ,  松尾敦司 ,  市川史生

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5649

CPC classification number: G01L1/162 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5621 ,  G01L1/106 ,  H01L41/094 ,  G01C19/5642 ,  G01C19/5649

Abstract: 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。

公开(公告)号：CN104101339A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201410137013.3

申请日：2014-04-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5719 ,  G01C19/5747

CPC classification number: G01P3/16 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5607

Abstract: 本发明涉及一种振动元件、电子装置、电子设备以及移动体，其中，振动元件具备：基部；支承臂，其从所述基部延伸出；驱动用振动臂，其从所述支承臂起向与所述支承臂的延伸方向交叉的方向延伸出；驱动部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第一电极层、第二电极层以及被设置于所述第一电极层与所述第二电极层之间的第一压电体层，并且所述第一电极层被配置于所述驱动用振动臂侧；监测部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第三电极层、第四电极层以及被设置于所述第三电极层与所述第四电极层之间的第二压电体层，所述第三电极层被配置于所述驱动用振动臂侧，并且所述监测部对所述驱动用振动臂的振动进行检测。

公开(公告)号：CN103424109A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310185370.2

申请日：2013-05-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5628

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C25/00 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明实现了一种对振动臂的振动泄漏进行抑制的振动片。振动片(1)具备：基部(11)；振动臂(20、30)，其从基部起进行延伸；第一驱动部(20a)、第二驱动部(30a)以及第一检测部(20b)、第二检测部(30b)，其被分别设置在振动臂(20、30)上；调节臂(40、50)，其以与振动臂(20、30)并行的方式而从基部(11)起进行延伸；第一调节部(40a)、第二调节部(50a)，其被设置在调节臂(40、50)各自的第一主面(12)上，在第一调节部和第二调节部中，在第一主面(12)上，层压形成有第一电极(60)、压电体层(41、42、51、52)和调节用电极(43、44、53、54)，第一调节部(40a)、第二调节部(50a)的输出信号相对于在振动臂(20、30)上未施加有角速度时由第一检测部(20b)、第二检测部（30b)产生的电荷为反相。