振动元件及其制造方法、电子装置、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN105789140A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610018706.X

    申请日:2016-01-12

    Abstract: 本发明提供一种振动元件的制造方法、振动元件、电子装置、电子设备及移动体。并提供一种提高振动元件的成品率和生产率而使制造成本下降的制造方法。作为振动元件的陀螺仪元件(100)的制造方法为,对水晶基板(10)进行加工而形成具有振动臂的陀螺仪元件(100)的外形以及在振动臂上形成凹部(58a、58b)的方法,且包括:外形形成工序,通过干蚀刻而从水晶基板(10)的一个面形成陀螺仪元件(100)的外形;凹部形成工序,通过湿蚀刻而形成凹部(58a、58b)。

    振动元件及其制造方法、电子装置、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN105789140B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201610018706.X

    申请日:2016-01-12

    Abstract: 本发明提供一种振动元件的制造方法、振动元件、电子装置、电子设备及移动体。并提供一种提高振动元件的成品率和生产率而使制造成本下降的制造方法。作为振动元件的陀螺仪元件(100)的制造方法为,对水晶基板(10)进行加工而形成具有振动臂的陀螺仪元件(100)的外形以及在振动臂上形成凹部(58a、58b)的方法,且包括:外形形成工序,通过干蚀刻而从水晶基板(10)的一个面形成陀螺仪元件(100)的外形;凹部形成工序,通过湿蚀刻而形成凹部(58a、58b)。

    振荡器的制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116915184A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310397668.3

    申请日:2023-04-13

    Inventor: 山田洋平

    Abstract: 振荡器的制造方法。以低成本高效地制造容器尺寸、形状以及振荡器的输出特性互不相同的多种振荡器。振荡器的制造方法是包括第1振荡器以及第2振荡器的多种振荡器的制造方法,包括:准备振动器件,该振动器件包括振动元件、与振动元件电连接的振荡电路以及存储振荡电路的特性设定信息的存储电路;将振动器件收纳于第1容器而制造第1振荡器;将振动器件收纳于与第1容器不同种类的第2容器而制造第2振荡器;以及在存储电路中设定特性设定信息,收纳于第1容器的振动器件以及收纳于第2容器的振动器件是同一种类的振动器件。

Patent Agency Ranking