电子器件制造系统及其制造方法

    公开(公告)号:CN100413022C

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200510134562.6

    申请日:2005-12-16

    Inventor: 内山宪治

    CPC classification number: G06Q10/04

    Abstract: 本发明提供能够按每一制品等地收集环境负载数据的电子器件制造系统、电子器件的制造方法、电子器件及电光装置。其具备:处理多个收存有多个工件(26)的批(L),具有:按每批单位计测收存于多个批(L)的各批的多个工件(26)的处理时间的时间计测部(16),计测对应于按每批单位所计测到的多个工件(26)的处理时间的环境信息的环境信息计测部(16),和可以发送接收的通信部(14)的处理单元(80);和对应于多个批(L)的各批而设置,可以与处理单元(80)的通信部(14)进行发送接收,具有接收、存储批(L)的多个工件(26)的处理时间、环境信息的存储部的工件信息管理单元(30)。

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