公开(公告)号：CN1327271C

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200410004691.9

申请日：2004-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 仓科久树

IPC: G02F1/1333 ,  H01L21/00

CPC classification number: G02F1/136227 ,  G02F1/136209 ,  G02F1/136213

Abstract: 本发明的特征在于：具有分别形成成膜图案的多个成膜层、分别在上述多个成膜层之间形成的层间膜、在上述层间膜中平坦化的层间膜之下的成膜层上形成的多个层间膜下侧布线图案、为了将上述多个层间膜下侧布线图案与上述平坦化的层间膜的上层的成膜图案之间连接而在上述平坦化的层间膜上形成的多个接触孔、以及在上述多个接触孔的下方的多个位置分别在上述多个层间膜下侧布线图案的下层的1个或1个以上的成膜层上形成的控制上述多个层间膜下侧布线图案的表面的位置的1个或1个以上的虚设图案。

公开(公告)号：CN1310067C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200410029496.1

申请日：2004-03-19

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 仓科久树

IPC: G02F1/133

CPC classification number: G02F1/136259

Abstract: 本发明的带检查元件的基板的特征在于，具备：分别形成成膜图案的多个成膜层；分别在上述多个成膜层之间形成的层间膜；由与上述多个成膜层中的至少1个成膜层的各成膜图案相同的材料在检查元件形成区域形成的检查元件图案；在平坦化的最上层的层间膜的上述检查元件形成区域形成的、使与上述检查元件图案连接的多个焊盘露出的开孔部；以及由与上述多个成膜层中的指定的成膜层的各成膜图案相同的材料在上述多个焊盘的下方形成的虚设图案。

公开(公告)号：CN1287214C

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200310103082.4

申请日：2003-10-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 恒川吉文 ,  仓科久树 ,  清水雄一

IPC: G02F1/1362 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/136209 ,  G02F1/136213 ,  G02F1/167

Abstract: 一种电光装置，其具备：在基板上沿第1方向延伸的数据线；沿与上述数据线交叉的第2方向延伸的扫描线；与上述数据线和上述扫描线的交叉区域对应那样设置的像素电极和薄膜晶体管；在比上述薄膜晶体管的半导体层更上层并且比上述像素电极更下层形成的、与像素电位电连接的存储电容；以及被配置在上述数据线和上述像素电极之间的上侧遮光膜；其中，上述上侧遮光膜规定像素开口区域的至少角部；上述扫描线和上述数据线以及上述存储电容被形成于遮光区域。

公开(公告)号：CN1532600A

公开(公告)日：2004-09-29

申请号：CN200410029496.1

申请日：2004-03-19

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 仓科久树

IPC: G02F1/133

CPC classification number: G02F1/136259

Abstract: 本发明的带检查元件的基板的特征在于，具备：分别形成成膜图案的多个成膜层；分别在上述多个成膜层之间形成的层间膜；由与上述多个成膜层中的至少1个成膜层的各成膜图案相同的材料在检查元件形成区域形成的检查元件图案；在平坦化的最上层的层间膜的上述检查元件形成区域形成的、使与上述检查元件图案连接的多个焊盘露出的开孔部；以及由与上述多个成膜层中的指定的成膜层的各成膜图案相同的材料在上述多个焊盘的下方形成的虚设图案。

公开(公告)号：CN1503041A

公开(公告)日：2004-06-09

申请号：CN200310113771.3

申请日：2003-11-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 仓科久树 ,  高原研一 ,  河田英德

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/1343 ,  H01L29/786 ,  G09F9/00

CPC classification number: G02F1/136213 ,  G02F1/136209 ,  G02F1/136227 ,  H01L27/3297

Abstract: 在电光装置中，具备：在基板上在第1方向上延伸的数据线；在与上述数据线交叉的第2方向上延伸的扫描线；被配置为与上述数据线和上述扫描线的交叉区域对应的像素电极和薄膜晶体管；在从上述数据线算起的下层上形成，电连到上述薄膜晶体管和上述像素电极上的存储电容器；在从上述数据线算起的上层上形成的电容器线；把上述存储电容器的像素电位侧电容器电极和上述像素电极间电连起来，与上述数据线在同一层上形成的第1中继层；把上述存储电容器的固定电位侧电容器电极和上述电容器线间电连起来，与上述数据线在同一层上形成的第2中继层。此外，在上述数据线、上述第1中继层、上述第2中继层中，含有氮化膜。

公开(公告)号：CN1499277A

公开(公告)日：2004-05-26

申请号：CN200310103081.X

申请日：2003-10-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 仓科久树 ,  山崎康二 ,  河田英德

IPC: G02F1/1362 ,  H01L29/786 ,  H01L21/00

CPC classification number: G02F1/136227

Abstract: 一种电光装置，在基板上具备：沿第一方向延伸的数据线；沿着与上述数据线交叉的第二方向延伸的扫描线；被配置为与上述数据线及上述扫描线的交叉区域对应的像素电极和薄膜晶体管；电气连接到上述薄膜晶体管和上述像素电极上的存储电容；被配置在上述数据线和上述像素电极之间的屏蔽层；作为上述像素电极的基底配置的层间绝缘膜；以及在上述层间绝缘膜上形成的用于电气连接上述薄膜晶体管和上述像素电极之间的接触孔。并且，在上述接触孔内部的全部区域中具备有填充材料。