分离装置以及分离方法
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108933085B

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN201810533974.4

    申请日:2018-05-29

    Abstract: 一种分离装置,对粘接片(AS)上的板状部件(WF)施加四个方向的张力而扩大由板状部件(WF)形成的多个片状体(CP)的间隔。分离装置(10)具备:多个保持机构(20),其由多个保持部件(21)保持粘接片(AS);伸长机构(30A、30B),其使保持部件(21)向四个方向中针对每个保持机构(20)而不同的一个方向移动,并且使该保持部件(21)向该一个方向的交叉方向移动而使粘接片(AS)伸长;控制机构(40),其对保持部件(21)基于伸长机构(30A,30B)的移动进行控制;控制机构(40)根据片状体(CP)的尺寸和间隔的目标值来计算粘接片(AS)的伸长量的目标值,使保持部件(21)在伸长机构(30A、30B)上移动,以使粘接片(AS)的伸长量成为其目标值。

    加工检查对象物的加热剥离方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110998799A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201880051111.1

    申请日:2018-08-08

    Abstract: 本发明提供具有以下的工序(I)及(II)的加工检查对象物的加热剥离方法。工序(I):将多个加工检查对象物粘贴于粘合片的粘合剂层(X1)的粘合表面的工序,所述粘合片具有包含树脂及热膨胀性粒子的非粘合性的热膨胀性基材、和粘合剂层(X1);工序(II):将所述热膨胀性基材的一部分加热至所述热膨胀性粒子发生膨胀的温度以上,将所述多个加工检查对象物中的一部分选择性剥离的工序。

    半导体装置的制造方法
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111295739B

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN201880070770.X

    申请日:2018-11-07

    Abstract: 本发明涉及一种半导体装置的制造方法,该方法依次具有下述工序(1)~(3),且在工序(3)之后使粘合片(A)的膨胀性粒子膨胀而将粘合片(A)从被粘附物分离。工序(1):将具有基材(Y2)及粘合剂层(X2)的粘合片(B)拉伸而扩大载置于粘合片(B)的粘合剂层(X2)上的多个芯片彼此间的间隔的工序;工序(2):将粘合片(A)的粘合剂层(X1)粘贴于所述多个芯片的与和粘合剂层(X2)相接触的面相反侧的面的工序;工序(3):将粘贴于粘合片(A)的所述多个芯片与粘合片(B)分离的工序。

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