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公开(公告)号：CN113380688A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110207868.9
申请日：2021-02-24
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 片材剥离方法是从在粘接片材(AS)上贴附有被粘接体(CP)的一体物(UP)将该粘接片材(AS)剥离的方法，实施以下工序：片材抵接工序，其使具有形成有多个凸部(12A)的凸部形成面(12B)的片材抵接机构(10)中的该多个凸部(12A)的顶点(12C)抵接于一体物(UP)中的粘接片材(AS)；被粘接体支承工序，其通过被粘接体支承机构(20)对一体物(UP)中的被粘接体(CP)进行支承，并且与使多个凸部(12A)的顶点(12C)抵接于粘接片材(AS)的片材抵接机构(10)一起夹住一体物(UP)；片材吸引工序，其将所夹住的一体物(UP)中的粘接片材(AS)吸引于凸部形成面(12B)。
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公开(公告)号：CN109417045A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780039795.9
申请日：2017-06-20
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/301
Abstract: 提供具备多个能够收纳片状体(CP)的收纳部(101)的调准夹具(100)，该调准夹具(100)的特征在于，收纳部(101)的收纳角部(103)形成为，在使片状体(CP)分别收纳于多个收纳部(101)而使片状体(CP)与收纳部(101)的壁部(102)抵接时，片状体(CP)的片状体角部不与收纳角部(103)接触。
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公开(公告)号：CN105609447B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201510790399.2
申请日：2015-11-17
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 一种整齐排列装置及整齐排列方法。整齐排列装置(10)具有：可由支承面(21A)支承多个片状体(CP)的支承单元(20)；可将间隔部件(35)插入由支承面(21A)支承的多个片状体(CP)之间的间隔单元(350)；使支承面(21A)及间隔部件(35)的至少一方倾斜，并且使各片状体(CP)在支承面(21A)上的规定位置以规定的朝向整齐排列的整齐排列单元(40)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109417045B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201780039795.9
申请日：2017-06-20
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/301
Abstract: 提供具备多个能够收纳片状体(CP)的收纳部(101)的调准夹具(100)，该调准夹具(100)的特征在于，收纳部(101)的收纳角部(103)形成为，在使片状体(CP)分别收纳于多个收纳部(101)而使片状体(CP)与收纳部(101)的壁部(102)抵接时，片状体(CP)的片状体角部不与收纳角部(103)接触。
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公开(公告)号：CN108987322A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810319553.1
申请日：2018-04-11
Applicant: 琳得科株式会社
Inventor： 毛受利彰
IPC: H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种对齐工具及使用该对齐工具的转印装置，其能够切实地使被粘接体对齐为期望的状态。该转印装置具备：保持机构(20)，其将一体物(WK)从被粘接体(CP)侧吸引至保持面(21B)并进行保持，该一体物为在第一粘接片材(AS1)的一个表面上粘贴有多个被粘接体或被分割为多个的被粘接体的一体物；剥离机构(30)，其从保持面(上保持的一体物剥离第一粘接片材(AS1)；对齐工具(40)，其在保持面上保持的被粘接体之间配置抵接部件(42)，使被粘接体(CP)的外壁(CP1)抵接于该抵接部件(42)的侧壁(42C)，使该被粘接体(CP)对齐；移动机构(50)，其使保持机构和抵接部件相对移动，对齐工具(40)在侧壁(42C)具备与被粘接体(CP)的外壁(CP1)点接触或线接触的凸部(42E)。
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公开(公告)号：CN114628284A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202111489668.3
申请日：2021-12-08
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 保持方法实施：从保持对象物(WK)的一个面(WK1)侧利用支承面(12A)支承该保持对象物(WK)的支承工序；在支承工序的前阶段或者后阶段向支承面(12A)供给流体(WT)的流体供给工序；以及固化工序，实施使流体(WT)固化的固化处理而使该流体(WT)固化，并利用支承面(12A)保持保持对象物(WK)，在固化工序中，从隔着流体(WT)支承于支承面(12A)的保持对象物(WK)侧对该流体(WT)实施固化处理。
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公开(公告)号：CN113410173A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110281171.6
申请日：2021-03-16
Applicant: 琳得科株式会社
Abstract: 提供一种定位方法和定位装置，该定位方法利用液体的表面张力将片状体(CP)定位于规定的位置，在该定位方法中，实施以下工序：支承工序，通过支承面(12A)的亲水部(12F)来支承片状体(CP)，其中，在支承面(12A)设有具有亲水性的亲水部(12F)；液体供给工序，向亲水部(12F)供给液体；液体回收工序，从亲水部(12F)回收液体。
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公开(公告)号：CN105609447A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510790399.2
申请日：2015-11-17
Applicant: 琳得科株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 一种整齐排列装置及整齐排列方法。整齐排列装置(10)具有：可由支承面(21A)支承多个片状体(CP)的支承单元(20)；可将间隔部件(35)插入由支承面(21A)支承的多个片状体(CP)之间的间隔单元(350)；使支承面(21A)及间隔部件(35)的至少一方倾斜，并且使各片状体(CP)在支承面(21A)上的规定位置以规定的朝向整齐排列的整齐排列单元(40)。
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