公开(公告)号：CN106800272B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201710087018.3

申请日：2017-02-17

Applicant: 烟台睿创微纳技术股份有限公司

Inventor： 王宏臣 ,  杨水长 ,  陈文礼 ,  甘先锋 ,  孙传彬 ,  牟晓宇

IPC: B81C1/00 ,  B81C99/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS晶圆切割清洗及释放方法，包括以下步骤：晶圆正面涂光刻胶，背面减薄处理；键合，晶圆背面和玻璃底座的正面同UV胶键合；切割，采用台阶切割，两步切割连续完成；清洗和甩干晶圆；结构释放，将晶圆及玻璃底座整体放入去胶设备中进行结构释放；解键合：使用UV照射机降低晶圆与玻璃底座之间的UV胶的粘性；对晶圆进行扩膜；利用芯片拾取设备将芯片从UV膜取下放入托盘中；裂片和扩膜；光学检测机封装测试；不需要两次对位，保证了两次切割位置的精准性，实现了晶圆级的结构释放和测试，效率较高。

公开(公告)号：CN211847141U

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201922072681.3

申请日：2019-11-25

Applicant: 烟台睿创微纳技术股份有限公司

Inventor： 孙传彬 ,  陈文礼 ,  陈文祥 ,  公衍刚 ,  战毅 ,  董国强 ,  牟晓宇 ,  于晓辉

IPC: B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本实用新型公开了一种MEMS传感器，在封盖晶圆朝向传感器晶圆一侧表面设置有吸气剂；吸气剂位于封盖晶圆与传感器晶圆之间的空腔内，封盖晶圆设置有对应空腔的电极通孔，电极通孔内设置有激活电极，激活电极与吸气剂相接触，封盖晶圆对应任一所述空腔设置有至少两个电极通孔。在MEMS传感器外侧可以通过位于电极通孔内的激活电极向吸气剂供电，在电流流过吸气剂时会将电能转换为热能从而激活吸气剂，从而避免激活吸气剂时对传感器结构造成的影响。通过设置激活电极，可以多次激活吸气剂，以保证MEMS传感器内的真空度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利