公开(公告)号：CN118328907B

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202410766217.7

申请日：2024-06-14

Applicant: 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心)

Inventor： 李新 ,  刘辉 ,  唐迅捷 ,  郭根威

IPC: G01B11/26

Abstract: 本发明公开了一种梯形活塞环梯形角的分段式测量系统及方法，包括以下步骤：通过上光谱共焦位移传感器、下光谱共焦位移传感器、水平方向光栅位移传感器上上轮廓的测量坐标点序列，进而得到上下轮廓斜率序列，通过轮廓斜率变化阈值，进而确定为0斜率与第一个轮廓斜率超出轮廓斜率变化阈值的斜率的斜率个数，选择一半此斜率个数的斜率均在轮廓斜率变化阈值内的连续点作为上轮廓斜率均值取值点；并确定轮廓斜率均值取值点的第一个斜率位置，建立轮廓斜率均值模型，得到上下轮廓斜率均值；然后建立梯形活塞环梯形角模型，得到梯形活塞环梯形角。本发明梯形活塞环梯形角测量精度高。

公开(公告)号：CN118068564A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202410482158.0

申请日：2024-04-22

Applicant: 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心)

Inventor： 陈露 ,  刘辉 ,  封志明 ,  李新 ,  肖亮 ,  马涛

IPC: G02B27/00 ,  G02B13/06 ,  G02B13/18

Abstract: 本发明公开了一种双视场双分辨率融合型广角光学系统及设计方法和装置，包括成像接收器、广角镜头，所述成像接收器用于接收广角镜头光线并成像，首先确定设计目标，划分视场区域；根据视场区域建立光学系统随视场变化的局部焦距分布函数和局部F数分布函数；追迹计算采样视场的局部焦距和局部F数；优化控制局部焦距和局部F数，一并控制渐变视场区域优化控制系统像差；优化迭代，确定广角镜头的局部焦距与局部F数，直至满足双视场双分辨率广角光学系统的设计目标。本发明不仅具有成像调控灵活、直接和精准，而且能够适应不同场景的观测需求。

公开(公告)号：CN214373058U

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202120732225.1

申请日：2021-04-12

Applicant: 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心)

Inventor： 李新 ,  陈力 ,  李冰莹 ,  唐讯捷 ,  马涛 ,  秦洁

IPC: G01L5/16 ,  G01M99/00 ,  B25J13/08 ,  B25J19/00

Abstract: 本实用新型提供一种工业机器人静态柔顺性测量的辅助加载装置，给工业机器人的末端施加作用力，包括机械接口、传感器组件、三轴电控滑台机构和电控系统，传感器组件包括连接固定的三维力传感器和传感器底座，机械接口分别连接被测工业机器人末端和三维力传感器，传感器底座连接三轴电控滑台机构，电控系统连接三维力传感器和三轴电控滑台机构；实现快速转换测量方向，装置体积小，便于现场使用，作用力可以任意调整。

公开(公告)号：CN221037285U

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202420516650.0

申请日：2024-03-18

Applicant: 江苏省计量科学研究院(江苏省能源计量数据中心)

Inventor： 陈露 ,  刘辉 ,  封志明 ,  杨慧敏 ,  李新 ,  钱征宇

IPC: G01B9/02055

Abstract: 本实用新型属于晶圆面型干涉检测的技术领域，具体地说是一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，包括刻蚀有映射校准关系的校准槽的透明亚克力板、晶圆测量干涉仪，通过两台晶圆测量干涉仪分别对校准槽结构进行成像，获得每台干涉仪各自的成像畸变；通过分析两台晶圆测量干涉仪之间的空间位置关系和各自的成像畸变，获得两台晶圆测量干涉仪测得的面形数据之间的映射关系，实现映射校准。本实用新型不仅能够实现对双面抛光晶圆测量干涉系统的检验与校准，而且消除了映射误差对晶圆形貌参数的影响，同时能够高精度的一次性获得晶圆的全表面形貌和相关参数信息。