一种强脉冲光治疗仪检测系统

    公开(公告)号:CN118294183B

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410517150.3

    申请日:2024-04-28

    Abstract: 本发明公开了一种强脉冲光治疗仪检测系统,属于光检测领域;包括测试盒、上位机和固定于测试盒上的可翻盖测试罩;治疗头通过固定支架固定在测试盒上方;测试盒顶部设有测试口,用于定位治疗头的发射窗口端;测试盒内部设有能量探测器部分、温度测量部分、光谱/脉冲信号测量部分、主控制器部分、传动机构部分,光源和摄像头;三个测量部分分别通过升降模块固定于传动机构部分;光源用于为测试盒提供照明,测试盒内设有摄像头,用于采集测试盒的视频图像;能量探测器部分输出光的能量信号直接上传上位机;控制器部分用于将采集的温度信号、脉冲信号上传上位机,并控制传动机构部分、升降模块运动。为强脉冲光治疗仪的性能和使用安全提供支持。

    双视场双分辨率融合型广角光学系统及设计方法和装置

    公开(公告)号:CN118068564B

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410482158.0

    申请日:2024-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种双视场双分辨率融合型广角光学系统及设计方法和装置,包括成像接收器、广角镜头,所述成像接收器用于接收广角镜头光线并成像,首先确定设计目标,划分视场区域;根据视场区域建立光学系统随视场变化的局部焦距分布函数和局部F数分布函数;追迹计算采样视场的局部焦距和局部F数;优化控制局部焦距和局部F数,一并控制渐变视场区域优化控制系统像差;优化迭代,确定广角镜头的局部焦距与局部F数,直至满足双视场双分辨率广角光学系统的设计目标。本发明不仅具有成像调控灵活、直接和精准,而且能够适应不同场景的观测需求。

    一种高深宽比微孔槽标准器

    公开(公告)号:CN221037183U

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202420441652.8

    申请日:2024-03-07

    Abstract: 本实用新型属于计量检测技术领域,具体地说是一种高深宽比微孔槽标准器,包括封装罩、标准样板和基底板,标准样板平置于基底板的中央并与其固定相连;标准样板上刻蚀用于表征和溯源的具有高深宽比特征的微孔槽结构和用于快速循迹的定位结构;封装罩采用可拆取结构,能够有效防止标准样板污染;可根据高深宽比三维结构无损测量系统的分辨能力及定位方式,通过参考图案和引导图案的设置,达到各类型测量仪器快速、准确循迹至微孔槽有效测量区域的效果,满足对技术方案各异、工作原理不同的高深宽比微孔槽结构无损测量仪器设备的校准需求,为半导体高深宽比微孔槽无损测量仪器设备的现场校准提供量传实物的载体。

    一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置

    公开(公告)号:CN221037285U

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202420516650.0

    申请日:2024-03-18

    Abstract: 本实用新型属于晶圆面型干涉检测的技术领域,具体地说是一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置,包括刻蚀有映射校准关系的校准槽的透明亚克力板、晶圆测量干涉仪,通过两台晶圆测量干涉仪分别对校准槽结构进行成像,获得每台干涉仪各自的成像畸变;通过分析两台晶圆测量干涉仪之间的空间位置关系和各自的成像畸变,获得两台晶圆测量干涉仪测得的面形数据之间的映射关系,实现映射校准。本实用新型不仅能够实现对双面抛光晶圆测量干涉系统的检验与校准,而且消除了映射误差对晶圆形貌参数的影响,同时能够高精度的一次性获得晶圆的全表面形貌和相关参数信息。

    一种内嵌开口环的近场探头

    公开(公告)号:CN215493979U

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202121359472.8

    申请日:2021-06-18

    Abstract: 本实用新型公开了一种内嵌开口环的近场探头,包括信号线、方环探头、开口方环、介质基板、过孔和地线,所述信号线、方环探头、开口方环设置于介质基板的上表面,所述地线设置于介质基板的下表面,而所述过孔贯穿于介质基板;所述地线包括依次连接的地线长边和地线短边,所述信号线在介质基板下表面投影与地线长边相重合;所述方环探头为开口的方形环状结构,所述方环探头的一端与信号线连接,另一端穿过过孔与地线短边连接;所述开口方环位于方环探头内,且所述方环探头开口边靠近开口方环的封闭边。本实用新型不仅提高了探头的灵敏度,而且也不会增加探头的尺寸。

    一种寄生短截线与内嵌接地开口方环的近场探头

    公开(公告)号:CN215263647U

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202122830762.2

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本实用新型公开了一种寄生短截线与内嵌接地开口方环的近场探头,包括信号线、方环探头和开口方环,所述开口方环设置于方环探头内,所述方环探头为开口的方形环状结构,所述方环探头的一个开口端为信号连接端,另一个开口端为截线连接端,所述截线连接端分别连接有地线和短截线;所述短截线为L型截线,所述L型截线包括相互垂直的截线长边和截线短边,所述截线短边一端与截线连接端连接,另一端与截线长边连接,且所述截线长边与信号线平行;所述开口方环通过接地短线与地线连接。本实用新型不仅降低了探头性能对探头结构尺寸的精度的依赖性,而且灵敏度高。

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