公开(公告)号：CN107783280A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201710707612.8

申请日：2017-08-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 阿尔蒂·托尔凯利

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08

Abstract: 本公开内容涉及扫描微机电反射器系统。通过将致动器的移动端固定至使反射器从框架悬挂下来的悬挂件来机械地放大使用MEMS反射镜系统中的弯曲压电致动器获得的致动范围。固定点位于悬挂件的两个端部之间的某个地方。致动器和悬挂件一起形成其制动范围比致动器通过其自身可以获得的致动范围大的致动器单元。在一个实施方式中，悬挂件是刚性杆。在另一实施方式中，悬挂件是另一弯曲致动器，使得可以从第二致动器的致动运动获得致动范围的额外增加。

公开(公告)号：CN107667067A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201680027941.1

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安蒂·伊霍拉 ,  阿尔蒂·托尔凯利 ,  维尔-佩卡·吕特克宁 ,  马蒂·柳库

IPC: B81B3/00

Abstract: 本发明涉及一种微机械器件，其包括仅包含均质硅材料的多层微机械结构。器件层包括至少一转子和至少两个定子。来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第一表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度，并且来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第二表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度。

公开(公告)号：CN107305288A

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：CN201710244998.3

申请日：2017-04-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 阿尔蒂·托尔凯利 ,  塔帕尼·拉克索宁

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC classification number: B81B3/0054 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2207/07 ,  B81B2207/095 ,  B81C1/0019 ,  B81C2203/0109 ,  G02B1/11 ,  G02B5/0825 ,  G02B7/1821 ,  G02B26/0816 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/105 ,  G02B26/085 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明涉及扫描反射镜装置及其制造方法，涉及一种由反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片形成的光学装置。反射镜薄片包括导电材料的第一层、导电材料的第二层和位于第一层与第二层之间的电绝缘材料的第三层。反射镜元件由反射镜薄片的第二层形成，并且具有在开放至至少第一层的腔的底部中的反射表面。当反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片彼此接合时，可以利用良好的光学质量的平坦玻璃薄片来包围反射镜元件。