公开(公告)号：CN208240501U

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201690001386.0

申请日：2016-12-01

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 芦峰智行 ,  进藤智 ,  竹岛裕

IPC: H01G4/33 ,  H01G4/12

Abstract: 本实用新型涉及薄膜器件。在绝缘基板与薄膜缓冲层之间形成扩散层，防止薄膜缓冲层的剥离。薄膜器件(1)具备：绝缘基板(2)；薄膜电容器(5)，隔着层叠于该绝缘基板的一个主面上的薄膜缓冲层(4)而设置于绝缘基板；绝缘保护层(6)，层叠于绝缘基板的一个主面以覆盖薄膜电容器；从薄膜电容器引出的引出电极(7a及7b)；外部电极(8a及8b)；以及表面覆盖层(9)，覆盖薄膜器件的表面。在绝缘基板与薄膜缓冲层之间形成有扩散层(3)。另外，外部电极与薄膜电容器经由引出电极电连接。扩散层是在绝缘基板的表面的SiO2氧化膜与薄膜缓冲层之间SiO2氧化膜和薄膜缓冲层的构成元素中的至少一种元素分别扩散而形成的非晶层。

公开(公告)号：CN205959773U

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201590000246.7

申请日：2015-08-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 进藤智 ,  竹岛裕

IPC: H01G4/33 ,  H01G4/40 ,  H01L21/768 ,  H01L21/822 ,  H01L23/522 ,  H01L27/04

CPC classification number: H01G4/33 ,  H01L23/293 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/528 ,  H01L27/016 ,  H01L28/20 ,  H01L28/40 ,  H01L28/60 ,  H01L2224/13 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本实用新型提供具备薄膜电容器与薄膜电路元件且可减小作用于薄膜电容器的应力的复合电子部件。复合电子部件(1)具备：在一方主面形成有薄膜(3)的绝缘基板(2)；覆盖薄膜电容器(4)并与薄膜电容器(3)连接的第1引出配线(7a)；层叠于绝缘保护层(4)的第1树脂层部(5a)；设置于第1树脂层部(5a)的第1、第2薄膜电阻(9a、9b)；形成为沿厚度方向贯通第1树脂层部(5a)并使第1引出配线(7a)可见的第3贯通孔(6c)；形成于第1树脂层部(5a)，且经由第2贯通孔(6c)与第1引出配线(7a)连接的第1再配线(8a)；层叠于第1树脂层部(5a)的第2树脂层部(5b)，在第3贯通孔(6c)内填充第2树脂层部(5b)的树脂，第3贯通孔(6c)形成于俯视观察相对于薄膜电容器(3)偏移的位置。(3)地层叠的绝缘保护层(4)；形成于绝缘保护层

公开(公告)号：CN207572353U

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201690000755.4

申请日：2016-03-23

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 芦峰智行 ,  进藤智 ,  竹岛裕

IPC: H01L21/822 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L27/04

CPC classification number: H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L21/822 ,  H01L23/522 ,  H01L27/04

Abstract: 本实用新型的目的在于提供防止由于树脂层膨胀产生的应力而薄膜电阻元件破损且可靠性高的薄膜器件。在电阻薄膜(12)中的俯视时与第一金属薄膜(15a～15c)重叠的部分，由第一金属薄膜(15a～15c)将电阻薄膜(12)压向基板(1)，所以能够缓和由于在高温状态下树脂层(3)膨胀而施加给薄膜电阻元件(R1、R2)的弯曲应力等，由于在电阻薄膜(12)中的俯视时不与第一金属薄膜(15a～15c)重叠的部分形成有第一加强用薄膜(12a)，所以能够防止由于树脂层(3)膨胀产生的应力等而薄膜电阻元件(R1、R2)破损，能够得到可靠性高的带薄膜电阻元件(R1、R2)的薄膜器件(100)。