公开(公告)号：CN101692155A

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：CN200810185042.1

申请日：2008-12-26

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 洪瑄英 ,  朴弘植 ,  郑锺铉 ,  金俸均 ,  李炳珍 ,  金柄郁 ,  郑宗铉 ,  尹锡壹 ,  辛成健 ,  许舜范 ,  郑世桓 ,  张斗瑛

IPC: G03F7/42 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/425

Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂去除用组合物和用其制造阵列基板的方法，所述光致抗蚀剂去除用组合物包含：a)包含环胺和/或二元胺的胺化合物，b)乙二醇醚类化合物，c)缓蚀剂和d)极性溶剂。所述组合物还包含剥离助剂。

公开(公告)号：CN101676806A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200910166147.7

申请日：2009-08-14

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金柄郁 ,  尹锡壹 ,  郑宗铉 ,  许舜范 ,  辛成健 ,  郑世桓 ,  张斗瑛 ,  朴善周 ,  权五焕

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明涉及一种剥离剂组合物，其在薄膜晶体管液晶显示器的制备工艺中，用于再利用薄膜晶体管液晶显示器的热固性树脂形成过程中产生的不良基板，包括：(a)0.5-15重量份的氢氧化铵或具有碳原子数为1-4个的烷基的烷基氢氧化铵化合物；(b)9-89重量份的具有碳原子数为1-4个的烷基的烷撑二醇醚；(c)10-40重量份的甘醇化合物；(d)0.01-5重量份的防腐剂；以及(e)0.1-5重量份的水。本发明的剥离剂组合物可以在短时间内去除彩色光阻、正性或负性有机绝缘层，并不会使作为下部膜质的无机绝缘层和各种金属布线受损，从而可以再利用滤色器基板和薄膜晶体管基板。

公开(公告)号：CN104272193B

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201380024161.8

申请日：2013-04-18

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 辛成健 ,  金炳郁 ,  尹锡壹 ,  郑宗铉 ,  许舜范 ,  郑世桓 ,  张斗瑛 ,  权五焕 ,  朴善周

IPC: G03F7/42 ,  C11D3/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及一种稀释剂组合物，更具体地说，涉及一种使用于半导体制造用晶片的边缘和后面部位而可在短时间内有效去除多余粘附的光致抗蚀剂，而且提高光致抗蚀剂RRC的性能而能够减少光致抗蚀剂的使用，并对人体的稳定性高、降低界面的段差而可用于多种工序、使半导体制造工序简单化而能够以低成本提高生产收率的稀释剂组合物。

公开(公告)号：CN102103334B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201010594494.2

申请日：2010-12-15

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 辛成健 ,  金柄郁 ,  尹锡壹 ,  郑宗铉 ,  许舜范 ,  郑世桓 ,  张斗瑛 ,  权五焕 ,  朴善周

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明涉及一种抗蚀剂剥离剂组合物，特别涉及一种包含具有环状胺结构的咪唑烷化合物，所以抗蚀剂剥离性能非常优秀，并且对金属的防腐蚀效果突出，从而可以使图案形成过程中元件的金属布线的腐蚀达到最小化的抗蚀剂剥离剂组合物。

公开(公告)号：CN104281017A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410259171.6

申请日：2014-06-11

Applicant: 三星电机株式会社 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 曹恩仁 ,  吴龙洙 ,  李秀兴 ,  孙命赞 ,  池营植 ,  李胎坤 ,  李庚相 ,  郑世桓 ,  金柄郁 ,  尹锡壹 ,  郑宗铉 ,  许舜范 ,  黄钟源

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明涉及一种干膜抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的干膜抗蚀剂的除去方法。本发明的干膜抗蚀剂剥离剂组合物以规定的混合比含有氢氧系化合物、链胺化合物、三唑化合物以及纯水(H2O)，能够完全除去干膜抗蚀剂，同时能够防止金属层的腐蚀，且具有剥离剂可再使用的优点。

公开(公告)号：CN103631103A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201310363319.6

申请日：2013-08-20

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 许舜范 ,  金炳郁 ,  赵泰杓 ,  尹锡壹 ,  郑世桓 ,  张斗瑛 ,  朴善周

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明涉及一种可以替代以往常用的对人体有害的NMP等溶剂类，并包含剥离能力优秀的N,N-二甲基丙酰胺的光致抗蚀剂剥离液组合物。

公开(公告)号：CN102103334A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN201010594494.2

申请日：2010-12-15

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 辛成健 ,  金柄郁 ,  尹锡壹 ,  郑宗铉 ,  许舜范 ,  郑世桓 ,  张斗瑛 ,  权五焕 ,  朴善周

IPC: G03F7/42

Abstract: 本发明涉及一种抗蚀剂剥离剂组合物，特别涉及一种包含具有环状胺结构的咪唑烷化合物，所以抗蚀剂剥离性能非常优秀，并且对金属的防腐蚀效果突出，从而可以使图案形成过程中元件的金属布线的腐蚀达到最小化的抗蚀剂剥离剂组合物。

公开(公告)号：CN101661857A

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：CN200910160899.2

申请日：2009-07-31

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 郑世桓 ,  金柄郁 ,  尹锡壹 ,  郑宗铉 ,  许舜范 ,  辛成健 ,  张斗瑛 ,  朴善周 ,  权五焕

IPC: H01J9/00 ,  H01J17/49

Abstract: 本发明涉及等离子体显示器面板用的介电层及障肋去除剂组合物，特别涉及包含以下物质的去除剂组合物：(a)0.05～10重量％的无机盐化合物；(b)3～30重量％的烷基二元醇或其衍生物；(c)3～30重量％的乙二醇单烷基醚类或其衍生物；(d)0.5～10重量％的沸点等于或者高于160℃的有机胺；及(e)余量的水。该组合物不损坏介电层下部的电极层，且其渗透性及去除性能非常优秀，可以同时去除介电层及障肋。

公开(公告)号：CN101630127A

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200910150246.6

申请日：2009-06-23

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金柄郁 ,  尹锡壹 ,  郑宗铉 ,  许舜范 ,  辛成健 ,  郑世桓 ,  张斗瑛 ,  朴善周 ,  权五焕

IPC: G03F7/42 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368

Abstract: 本发明涉及可适于在液晶显示器的滤色器阵列(color filter on array，COA)制造工艺中使用的光刻胶剥离剂组合物，特别涉及包含1-40重量％的水溶性有机胺化合物、3-40重量％的水、余量的水溶性有机溶剂，从而在制造液晶显示器的滤色器阵列结构时，无滤色器膨胀现象，金属防腐效果及感光膜去除效果均很优秀的光刻胶剥离剂组合物。该组合物可适于在液晶显示器的滤色器阵列制造工艺中使用。