超声波清洗装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1712144A

    公开(公告)日:2005-12-28

    申请号:CN200510082384.7

    申请日:2005-06-24

    CPC classification number: H01L21/67051 B08B3/12 Y10S134/902

    Abstract: 本发明提供的超声波清洗装置,利用超声波授予头对被清洗物的被清洗面上的清洗液授予超声波并清洗所述被清洗面,所述超声波授予头具备:与所述被清洗面对向配置的、在位于所述被清洗面侧的第1面上具有曲面部的超声波传输部件,设置在位于所述超声波传输部件的第1面的相反侧的第2面上的、在振荡超声波的同时通过所述超声波传输部件将该超声波授予被清洗面上的清洗液的超声波振动器,以及设置在所述超声波传输部件上的、防止授予所述清洗液的超声波由所述被清洗面反射并通过所述超声波传输部件入射到所述超声波振动器的防止部。

    超声波清洗装置
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1712144B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200510082384.7

    申请日:2005-06-24

    CPC classification number: H01L21/67051 B08B3/12 Y10S134/902

    Abstract: 本发明提供的超声波清洗装置,利用超声波授予头对被清洗物的被清洗面上的清洗液授予超声波并清洗所述被清洗面,所述超声波授予头具备:与所述被清洗面对向配置的、在位于所述被清洗面侧的第1面上具有曲面部的超声波传输部件,设置在位于所述超声波传输部件的第1面的相反侧的第2面上的、在振荡超声波的同时通过所述超声波传输部件将该超声波授予被清洗面上的清洗液的超声波振动器,以及设置在所述超声波传输部件上的、防止授予所述清洗液的超声波由所述被清洗面反射并通过所述超声波传输部件入射到所述超声波振动器的防止部。

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