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公开(公告)号：CN110547042B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201880024404.0
申请日：2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括：相互接合的第一基材和第二基材；槽，设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方；以及护套加热器，配置于上述槽的内侧，其中，上述护套加热器包括：金属护套；发热线，以具有间隙的方式配置于上述金属护套内，呈带状，并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置；绝缘材料，配置于上述间隙；以及连接端子，配置于上述金属护套的一端，分别与上述发热线的两端电连接。
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公开(公告)号：CN112673709A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980058340.0
申请日：2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。
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公开(公告)号：CN103137534B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201210480502.X
申请日：2012-11-23
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/68735 , H01L21/68785
Abstract: 本发明提供一种具有高耐电压与高耐热性的金属制的基板支撑装置。本发明的基板支撑装置具备：由金属形成的基板部；连接于平板部且由金属形成的轴部；配置于平板部的内部的发热体；以及通过陶瓷喷镀形成于平板部的与轴部相对置的第一面上的绝缘膜。还可以具有形成于与平板部的第一面大体垂直的第二面上的绝缘膜。
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公开(公告)号：CN103648766B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201280034470.9
申请日：2012-07-11
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: B32B15/04 , B05D1/12 , C04B37/026 , C04B2237/121 , C04B2237/126 , C04B2237/128 , C04B2237/34 , C04B2237/341 , C04B2237/343 , C04B2237/346 , C04B2237/348 , C04B2237/366 , C04B2237/368 , C04B2237/402 , C04B2237/706 , C23C24/04 , C23C28/02 , C23C28/30 , H01L21/4846 , H01L23/3735 , H01L23/498 , H01L2224/291 , H01L2224/32225 , H01L2224/83447 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H05K1/0306 , H05K3/14 , H05K3/38 , H05K2201/0341 , H05K2201/0355 , H05K2203/1344 , Y10T428/12056 , H01L2924/014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供在使用冷喷涂法制作在陶瓷基材上形成有金属被膜的层叠体时陶瓷与金属被膜之间的密合强度高的层叠体、以及此类层叠体的制造方法。该层叠体具备具有绝缘性的陶瓷基材（10）、形成于该陶瓷基材（10）的表面的以金属或合金为主成分的中间层（50）、以及在该中间层（50）的表面形成的金属被膜层（电路层（20）、散热片（40）），所述金属被膜层通过使包含金属或合金的粉末与气体一起加速、并且以固相状态直接喷射并堆积于所述中间层（50）的表面而形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103648766A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280034470.9
申请日：2012-07-11
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: B32B15/04 , B05D1/12 , C04B37/026 , C04B2237/121 , C04B2237/126 , C04B2237/128 , C04B2237/34 , C04B2237/341 , C04B2237/343 , C04B2237/346 , C04B2237/348 , C04B2237/366 , C04B2237/368 , C04B2237/402 , C04B2237/706 , C23C24/04 , C23C28/02 , C23C28/30 , H01L21/4846 , H01L23/3735 , H01L23/498 , H01L2224/291 , H01L2224/32225 , H01L2224/83447 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H05K1/0306 , H05K3/14 , H05K3/38 , H05K2201/0341 , H05K2201/0355 , H05K2203/1344 , Y10T428/12056 , H01L2924/014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供在使用冷喷涂法制作在陶瓷基材上形成有金属被膜的层叠体时陶瓷与金属被膜之间的密合强度高的层叠体、以及此类层叠体的制造方法。该层叠体具备具有绝缘性的陶瓷基材（10）、形成于该陶瓷基材（10）的表面的以金属或合金为主成分的中间层（50）、以及在该中间层（50）的表面形成的金属被膜层（电路层（20）、散热片（40）），所述金属被膜层通过使包含金属或合金的粉末与气体一起加速、并且以固相状态直接喷射并堆积于所述中间层（50）的表面而形成。
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公开(公告)号：CN103180268A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201180051086.5
申请日：2011-10-24
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: C04B35/622 , C04B35/00 , C04B35/581 , C04B35/584 , C23C28/00 , H05B3/74
CPC classification number: H05B3/265 , C04B35/645 , C04B37/025 , C04B37/026 , C04B2237/083 , C04B2237/122 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , C04B2237/368 , C04B2237/40 , C04B2237/60 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , C04B2237/84 , H05B3/18 , H05B3/283 , H05B3/74 , H05B2203/017
Abstract: 提供一种抑制烧结时埋设在内部的耐热性金属材料的碳化、且防止耐热性金属材料的导电性的降低的陶瓷烧结体的制造方法、陶瓷烧结体及陶瓷加热器。本发明的陶瓷烧结体是烧结陶瓷前体而形成的、且在上述烧结时金属皮膜被碳化而形成金属碳化物皮膜(4)的陶瓷烧结体，其中，所述陶瓷前体具备：由耐热性金属材料构成的加热线(2)、形成于加热线(2)的表面且由金属碳化物的标准生成自由能比形成加热线(2)的材料小的金属材料构成的金属皮膜、将形成有金属皮膜的加热线(2)配置到作为陶瓷基体的原材料的粉体中的规定的位置并加压成型而形成的陶瓷成型体。
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公开(公告)号：CN113454761B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080012364.5
申请日：2020-02-25
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/683 , C23C4/129 , C23C4/134
Abstract: 载物台包括：基材，其具有第一面和与第一面相邻的第二面；以及绝缘膜，其包含具有扁平面的多个粒子，扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置，所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面，绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置，延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。
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公开(公告)号：CN113169112B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201980081476.3
申请日：2019-12-03
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的具有流路的板件，其包括：主体部，其形成有使惰性气体流通的流路；以及盖部，其覆盖主体部的流路的形成面，在主体部的流路设置有埋设在该流路的开口的埋设部件，埋设部件包括：埋设部，其固定在流路；以及流通部，其由埋设部保持，使惰性气体从主体部的内部向外部流通，在流通部设置有多个贯通孔，埋设部件与流路通过绝缘性的粘合剂固定，埋设部的外周的直径与包含全部贯通孔的圆中最小的圆的直径的比为1.2以上。
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公开(公告)号：CN112673709B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201980058340.0
申请日：2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。
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