公开(公告)号：CN108573842B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201711143287.3

申请日：2017-11-17

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 西村一平 ,  丹羽雄一 ,  小野田正敏 ,  立道润一

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。

公开(公告)号：CN109516106A

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201711143720.3

申请日：2017-11-17

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 丹羽雄一 ,  西村一平 ,  小野田正敏 ,  立道润一

IPC: B65G35/00 ,  B65G47/24

Abstract: 本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。

公开(公告)号：CN105575754B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201510548657.6

申请日：2015-08-31

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 立道润一 ,  土肥正二郎 ,  西村一平

IPC: H01J49/20

CPC classification number: H01J49/30 ,  H01J37/05 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3171 ,  H01J49/20 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。

公开(公告)号：CN104103554B

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201310567012.8

申请日：2013-11-14

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 小野田正敏 ,  立道润一 ,  松本武

IPC: H01L21/67 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67757 ,  H01J37/185 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32412 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67754

Abstract: 本发明提供能量线照射系统和工件输送机构，能大幅度改善生产率，并且有助于有效地利用能量线。能量线照射系统包括能量线射出机构、以及把照射所述能量线的工件（W）在规定的工件交接区域和能量线的照射区域（AR）之间输送的工件支架（21），把所述工件交接区域设置在隔着通过所述照射区域（AR）的虚拟直线（C）相对的两个部位，并且作为所述工件支架（21）设置有：第一工件支架（21（1）），在一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动；以及第二工件支架（21（2）），在另一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动。

公开(公告)号：CN104103554A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201310567012.8

申请日：2013-11-14

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 小野田正敏 ,  立道润一 ,  松本武

IPC: H01L21/67 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67757 ,  H01J37/185 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32412 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67754

Abstract: 本发明提供能量线照射系统和工件输送机构，能大幅度改善生产率，并且有助于有效地利用能量线。能量线照射系统包括能量线射出机构、以及把照射所述能量线的工件（W）在规定的工件交接区域和能量线的照射区域（AR）之间输送的工件支架（21），把所述工件交接区域设置在隔着通过所述照射区域（AR）的虚拟直线（C）相对的两个部位，并且作为所述工件支架（21）设置有：第一工件支架（21（1）），在一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动；以及第二工件支架（21（2）），在另一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动。