-
公开(公告)号：CN103072069A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210553510.2
申请日：2012-12-19
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明是一种磁流变效应粘弹性夹持的电瓷基片柔性研抛装置及方法。包括有研磨头主轴、基板、具有与超薄硬脆材料基片的形状及大小一致的磁性套、高磁感应强度磁性体、研磨盘修整套、研磨盘、研磨盘主轴，其中固定螺钉将布置有高磁感应强度磁性体的基板镶嵌固定在磁性套上形成柔性研磨抛光头，研磨盘固定在研磨盘主轴上，研磨盘修整套置于研磨盘上，磁流变工作液通过循环管加入到研磨盘的上表面。本发明的基于磁流变效应的电子陶瓷基片柔性研磨抛光装置能对厚度小，翘曲变形大，研磨加工中易破碎、装夹困难的超薄硬脆材料基片进行研磨抛光,设计合理，方便实用。本发明磁流变效应粘弹性夹持的电瓷基片柔性研抛方法操作简单。
-
公开(公告)号：CN101791235A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200910215990.X
申请日：2009-12-31
Applicant: 广东工业大学
IPC: A61B17/14
Abstract: 本发明是一种具有冷却系统的骨科手术锯片，骨科手术锯片(1)包括有安装接头(11)、具有微冷却系统的锯本体(19)，锯本体(19)的端部上做出有锯齿(191)，其中锯本体(19)靠近安装接头(11)方向具有设有液体接收槽(12)，且锯本体(19)在锯齿(191)与液体接收槽(12)之间设有与液体接收槽(12)相通的通孔(16)。本发明由于采用在锯本体的锯齿与液体接收槽之间设有与液体接收槽相通的通孔的结构，因此，骨科手术锯片在进行手术时，可以方便地将放在液体接收槽内的冰盐水等冷却液或消毒液通过锯本体所设的通孔传输到锯齿上，以实现锯齿的冷却，可延长锯片的使用寿命，保证手术的切割精度，避免骨细胞在手术过程中被烧伤或烧死，保护骨细胞的生物性能，能促进患者手术后的复原。本发明设计合理，方便实用。
-
公开(公告)号：CN116833900B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202310946782.7
申请日：2023-07-31
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明是一种适用于半导体晶片化学机械抛光的磁流变弹性抛光垫，该抛光垫同时实现高效磁控抛光、高效芬顿反应，通过有机硅改性聚氨酯预聚体形成有机硅‑聚氨酯基体，结合了有机硅柔软、耐水解、耐酸碱腐蚀性和聚氨酯优异的物理机械性能的特点，具有高柔性、优异的综合力学性能。抛光垫中的CIP@Fe3O4复合磁性颗粒，可以使磁流变弹性抛光垫表现出高磁流变效应，该颗粒表面的纳米级Fe3O4具有比表面积大、催化活性高，可以实现高效芬顿反应，产生的·OH可以氧化半导体晶片表面生成硬度较低、结合力较小的氧化层，降低了磨料和抛光垫机械作用下的材料去除难度，可以实现高效材料去除、获得高质量表面。
-
公开(公告)号：CN113770816B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202111058349.7
申请日：2021-09-09
Applicant: 广东工业大学
IPC: B24B1/00 , B24B31/14 , B24B31/112 , C09G1/02 , C09K3/14
Abstract: 本发明公开了一种磁流变弹性体及其制备方法和应用。磁流变弹性体，按重量分数计，包括如下组分：聚氨酯预聚体30～70份，磁性粒子30～60份，磨粒2～20份，发泡剂2～5份，增塑剂3～6份，扩链交联剂1～6份，催化剂0.03～0.07份，其中，磁性粒子为羰基铁粉和/或四氧化三铁。本发明以磁性粒子作为载体，在预结构化过程中的定向磁场作用下，形成与磁场线方向一致的磁链串将磨料、发泡剂等物质夹持在磁链串内，硫化后最终形成磁性粒子、磨粒和气孔定向排布且能够发生固相芬顿反应的磁流变弹性体，可运用于硬脆光电材料研磨、抛光加工，有效的提高了加工效率，能够实现粗精抛光同步实现，获得高质量的加工表面。
-
公开(公告)号：CN107014332B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201710232870.5
申请日：2017-04-11
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种圆盘刀刃口磨损的检测方法及装置。本发明提出的刃口磨损的检测装置，包括工作台，滚子轴承，底座，加紧螺母，橡胶垫片，L型气道块，气体流量计，气道块导轨。根据孔口流量特性及流量连续性方程，在压力差相同的情况下，当小空处流通截面发生变化时，气流量也随之变化。当圆盘刀的侧面和外圆柱面与L型气道块的两侧面贴合时，磨损的圆盘刀刃口与L型气道块的垂直角落处形成空隙，通过结构设置将此空隙变为气体流经管道的一部分。当圆盘刀刃口磨损更严重时，此处的空隙就会更大，管道内流量发生变化而在气体流量计上显示，记录此刻的刃口位置和气流量，旋转工作台对整个圆盘刀进行检测。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115533738A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211084919.4
申请日：2022-09-06
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供一种固相反应的研磨块，所述研磨块包括如下重量份数的组分：磨料15～35份，粘结剂45～60份，液体弹珠15～25份；所述研磨块还包括分布在研磨块内的气孔；所述液体弹珠包括外壁与芯部；所述外壁为疏水纳米磁性颗粒，所述芯部为反应液或润滑液；所述研磨块中液体弹珠和磨料定向排布于粘结剂中。在研磨半导体晶片过程中，在摩擦作用下研磨块中定向排布在磨料附近的液体弹珠在机械力的作用下破碎，其内部的液体逐渐释放出来，与被研磨半导体晶面表面发生固相反应生成钝化层，并且液体弹珠会因机械作用而形成凹坑能起到容屑的作用，提高了固相反应研磨盘的自锐性，研磨后得到低表面粗糙度的半导体晶片。
-
公开(公告)号：CN115194564A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210769741.0
申请日：2022-07-01
Applicant: 广东工业大学
IPC: B24B1/00 , B24B29/02 , B24B41/047 , B24B7/22 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及超精密抛光技术领域，更具体地，涉及一种半导体晶片磁控研磨和抛光一体盘及其使用方法，包括金属基体、若干磁流变弹性体、磁场发生装置、磁场隔离板、底座，若干磁流变弹性体均装设于所述金属基体中，所述磁场发生装置装设于所述底座且位于磁流变弹性体下方，所述磁场隔离板可拆卸安装于金属基体与底座之间，金属基体与底座可拆卸连接。本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种半导体晶片磁控研磨和抛光一体盘，可实现一个工具盘能够满足晶片研磨和抛光两种工艺要求，在确保研磨质量与抛光质量的同时，可有效地减小更换工具盘和工件安装的时间，实现半导体晶片高效平坦化加工。
-
公开(公告)号：CN109290623A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811230028.9
申请日：2018-10-22
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有润滑油导流微沟槽的横剪刀，包括刀具本体，刀具本体的侧面竖直方向上开有输油槽，且刀具本体的侧面横向方向上开有与输油槽连通的储油槽；储油槽设于输油槽的下方，刀具本体的侧面竖直方向上开有用于给刀具本体的刀刃输送润滑油的导流槽，导流槽与储油槽相连通，导流槽设于储油槽的下方，且导流槽的输出端与刀具本体的刀刃相接触。在工作时，润滑油通过输油槽流入储油槽内，并且储油槽内的润滑油同时向多个导流槽内输送，可实现自动化供油的目的，无需人工供油，也无需另外设置一套专门的润滑剂储存、使用和废弃处理的物流系统，极大地简化了供油的结构，提高了供油的效率。
-
公开(公告)号：CN108274306A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201711412761.8
申请日：2017-12-24
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种高效高精度陶瓷球的磁流变抛光装置，包括外圈筒(1)，所述外圈筒(1)的内部设有内圈套筒(2)，所述内圈套筒(2)内设有磁铁(6)，所述内圈套筒(2)的外径上设有若干保持架(4)，所述保持架(4)上设有球容纳结构(3)，所述外圈筒(1)与所述保持架(4)之间，所述内圈套筒(2)与所述保持架(4)之间均设有磁流变抛光液空间(10)，所述球容纳结构(3)与所述磁流变抛光液空间(10)贯通设置。本发明装置填充的磁流变抛光液产生可自锐更新磨粒的磁流变抛光垫(5)，以此打磨抛光保持架(4)中的陶瓷球。其结构简单紧凑，成本低，加工效率高，能获得高表面质量和形状精度且无亚表面损伤的超精密陶瓷球。
-
公开(公告)号：CN106903494A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201710117933.2
申请日：2017-03-01
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23P19/00
CPC classification number: B23P19/00 , B23P19/001 , B23P2700/50
Abstract: 发明公开了一种换热管装芯装置，包括芯料运输装置、安装台、顶压装置和控制装置，所述安装台设于所述芯料运输装置的尾端，所述顶压装置设于所述安装台的上方而将换热管顶压于安装台上或将换热管从安装台上松开；所述芯料运输装置包括机架和电机、检测装置以及可旋转安装于机架上的至少两组传送轮装置，所述传送轮装置包装上轮和下轮，且上轮和下轮之间设有用于芯料通过的间隙。还提供一种换热管装芯装置的控制方法。发明保证芯料能自动且精准地插装到换热管内，并且在两组传送轮装置的限位作用下，使得芯料能被拉直，整个安装过程不会造成芯料变形堆积和断面损坏，以及管体凹陷弯曲，具有自动装配、装配效率和精度高的有益效果。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
87
records
(took 0.031 seconds)
