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公开(公告)号：CN101407283B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN200810176658.2
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G51/03 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN100485369C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN02822085.4
申请日：2002-11-05
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/84
CPC classification number: B65G49/067 , B65G49/061 , B65G2249/045
Abstract: 本发明提供保持装置，其设有：放置玻璃基板(1)的保持本体(4)；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构(10)；在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构(10)。
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公开(公告)号：CN100483115C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN03800734.7
申请日：2003-05-27
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01N21/958 , G01N2021/9513 , G01N2201/021
Abstract: 在台架(1)上利用起重器(19)的伸缩动作能够使基板支架(5)在升起方向上进行摇动，若通过摇动使基板支架(5)升起，则基板支架(5)在直线导向器(15)的铰链(10)上所设置的移动块(14)上进行滑动，从基座(3)的边缘部分(11)向前方推出，同时使基板支架(5)的作为下端侧的边缘从台架(1)的基座(3)的边缘部分(11)向下降低。
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公开(公告)号：CN101412472A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810178322.X
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G49/06 , B65G47/74 , B65G47/24 , H01L21/677 , H01L21/68
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN101038260A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710088352.7
申请日：2007-03-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/896 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部(6)，该浮起平台部(6)使基板(1)浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置(9)，其保持基板(1)的端部，在使基板(1)在浮起平台部(6)上方浮起的状态下对基板(1)进行搬运；检查部，其对由第1基板搬运装置(9)搬运来的基板(1)进行检查；以及第2基板搬运装置(8)，其在浮起平台部(6)的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体(8b)，该旋转体(8b)被设置成可以出没于浮起平台部(6)的搬运面，并支撑基板(1)的背面，以将基板(1)搬入到浮起平台部(6)内。
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公开(公告)号：CN1906476A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200580001591.3
申请日：2005-09-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01N21/84
Abstract: 一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板定位在所述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。
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公开(公告)号：CN101407284A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810177914.X
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G51/03 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN101407283A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810176658.2
申请日：2003-04-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G51/03 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/04 , H01L21/67784
Abstract: 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。
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公开(公告)号：CN100374898C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200410004095.0
申请日：2004-02-09
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中，通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像，并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内，传送该成像的像，通过垂直延长镜筒内的转像光学系统，向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像，利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。
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公开(公告)号：CN1582393A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN02821929.5
申请日：2002-11-05
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/958 , G01N21/88
CPC classification number: G01N21/95607
Abstract: 本发明的基板检查装置具备：固定台，载置被检查体；门型臂，设置成跨越载置于该固定台上的所述被检查体；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。
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