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公开(公告)号：CN102060193B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201010565132.0
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具备：使基板浮起的基板浮起部件；沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。
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公开(公告)号：CN1906476B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200580001591.3
申请日：2005-09-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01N21/84
Abstract: 一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板定位在所述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。
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公开(公告)号：CN1825098A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200610008322.6
申请日：2006-02-17
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 加藤洋
Abstract: 相对于通过环形支承部件(5、5)使起模顶杆旋转移动的圆弧状的导向用开口部(8－1)，设置通过往复动作缸(64)等可进退的锁定部件(61)。并且，在起模顶杆移动的时间之外，使锁定部件(61)进入以使其末端的卡合部(61a)与设置在对置位置的卡合块(65)卡合，以形成锁定状态，从而提高保持架主体的刚性。在起模顶杆移动时使锁定部件(61)退回，以形成解锁状态，从而使起模顶杆可以移动。
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公开(公告)号：CN1906476A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200580001591.3
申请日：2005-09-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01N21/84
Abstract: 一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板定位在所述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。
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公开(公告)号：CN102060193A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010565132.0
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 一种基板输送装置，其是使基板浮起而对基板进行输送的单轴输送方式的基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具备：使基板浮起的基板浮起部件；沿着上述基板浮起部件的一侧部配置的导向装置；基板保持机构，该基板保持机构对在上述基板浮起部件上浮起的所述基板的一侧部进行保持；输送机构，该输送机构中设置有上述基板保持机构，该输送机构在上述导向装置上行走而使上述基板在输送方向移动；基板支撑机构，该基板支撑机构配置在上述基板浮起部件的位于与上述输送机构相反一侧的另一侧部，该基板支撑机构与上述基板的另一侧部的下表面接触来支撑上述基板的另一侧部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1608961B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200410085642.2
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 一种基板输送装置，其特征在于，具有：以非接触状态使基板(3)浮起的基板浮起部件(1、11、16)；保持在该基板浮起部件(1、11、16)上浮起的所述基板(3)的端部进行输送的输送机构；和基板支撑机构(49)，设置在与所述基板(3)的输送方向(C)正交的方向的所述基板浮起部件(1、11、16)的两侧部或接近该两侧部的位置，从下面侧支撑从所述基板浮起部件侧部(1、11、16)的两侧部在所述正交方向突出的所述基板(3)的两端部。在使基板在基板浮起部件上浮起进行输送时，可以水平地输送基板并且使其不接触基板浮起部件。
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公开(公告)号：CN100516771C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200610001075.7
申请日：2006-01-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 加藤洋
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明将点光直接照射在被检测体上，稳定地检测出高精度的坐标位置。在被检测体检查装置的摆动保持架上(9)上承载玻璃基板(8)，并设置有可在该玻璃基板(8)的表面上沿X轴方向移动的导向杆(40)。在导向杆(40)上设置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射点光的激光头(44)，并使该激光头(44)可通过第二带(42)沿Y轴方向移动。点光的光束以角度α照射。在进行宏观观察时，通过操作部使导向杆(40)与激光头(44)沿X轴和Y轴方向移动，从而使玻璃基板(8)上的点光移动到缺陷上。以此时各电动机的驱动量作为位置信息，通过坐标检测部求出坐标数据。使具有显微镜功能的观察部移动到坐标位置，以进行缺陷的微观观察。
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公开(公告)号：CN101055256A
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200710091066.6
申请日：2007-04-06
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 加藤洋
IPC: G01N21/88 , H01L21/66 , G01R31/308
CPC classification number: G06T7/001 , G01N21/9501 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明提供一种缺陷检查装置。缺陷检查装置(1)构成为具有沿一轴方向进行扫描而取得被检查体的表面图像的照相机(25)，照相机(25)的输出被交接给控制部(3)的图像取入电路(31)。图像取入电路(31)在接收到摄像开始触发的位置、获取开始像素位置和获取结束像素位置划分获取由照相机(25)取入的图像数据，从而仅生成缺陷区域的图像，并进行图像处理等。根据本缺陷检查装置，能够从基板等被检查体尽早地提取出必要的信息，迅速地实施检查。
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公开(公告)号：CN1808055A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610001075.7
申请日：2006-01-16
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 加藤洋
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明将点光直接照射在被检测体上，稳定地检测出高精度的坐标位置。在被检测体检查装置的摆动保持架(9)上承载玻璃基板(8)，并设置有可在该玻璃基板(8)的表面上沿X轴方向移动的导向杆(40)。在导向杆(40)上设置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射点光的激光头(44)，并使该激光头(44)可通过第二带(42)沿Y轴方向移动。点光的光束以角度α照射。在进行宏观观察时，通过操作部使导向杆(40)与激光头(44)沿X轴和Y轴方向移动，从而使玻璃基板(8)上的点光移动到缺陷上。以此时各电动机的驱动量作为位置信息，通过坐标检测部求出坐标数据。使具有显微镜功能的观察部移动到坐标位置，以进行缺陷的微观观察。
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公开(公告)号：CN1608961A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410085642.2
申请日：2004-10-14
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 一种基板输送装置，其特征在于，具有：以非接触状态使基板(3)浮起的基板浮起部件(1、11、16)；保持在该基板浮起部件(1、11、16)上浮起的所述基板(3)的端部进行输送的输送机构；和基板支撑机构(49)，设置在与所述基板(3)的输送方向(C)正交的方向的所述基板浮起部件(1、11、16)的两侧部或接近该两侧部的位置，从下面侧支撑从所述基板浮起部件侧部(1、11、16)的两侧部在所述正交方向突出的所述基板(3)的两端部。在使基板在基板浮起部件上浮起进行输送时，可以水平地输送基板并且使其不接触基板浮起部件。
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