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公开(公告)号：CN100368794C
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN02821929.5
申请日：2002-11-05
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/958 , G01N21/88
CPC classification number: G01N21/95607
Abstract: 本发明的基板检查装置具备：固定台，载置被检查体；门型臂，设置成跨越载置于该固定台上的所述被检查体；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。
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公开(公告)号：CN100374898C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200410004095.0
申请日：2004-02-09
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中，通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像，并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内，传送该成像的像，通过垂直延长镜筒内的转像光学系统，向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像，利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。
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公开(公告)号：CN1582393A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN02821929.5
申请日：2002-11-05
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/958 , G01N21/88
CPC classification number: G01N21/95607
Abstract: 本发明的基板检查装置具备：固定台，载置被检查体；门型臂，设置成跨越载置于该固定台上的所述被检查体；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。
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公开(公告)号：CN1521529A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN200410004095.0
申请日：2004-02-09
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中，通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像，并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内，传送该成像的像，通过垂直延长镜筒内的转像光学系统，向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像，利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。
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